【技术实现步骤摘要】
本技术涉及机械领域，尤其涉及一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备。
技术介绍
1、目前晶圆机器人的应用范围非常广泛，它可以应用于半导体制造、光电子制造、生物医药等领域。在半导体制造领域，晶圆机器人可以大大提高半导体制造的效率和质量，减少人工操作的误差和成本。在光电子制造领域，晶圆机器人可以应用于光刻、薄膜沉积等工艺中，以提高制造的精度和效率。在生物医药领域，晶圆机器人可以应用于细胞培养、药物筛选等工作中，以提高实验的精度和效率。
2、虽然晶圆机器人做为各个领域不可缺少的，但是因其本身的贵重程度，晶圆机器人的搬运工作通常是人工作业，人工搬运的安全性较低，不能很好的保护晶圆机器人。
3、为此，我们设计了一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备。
技术实现思路
1、本技术的目的是为了解决方便搬运晶圆机器人而提出的一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备，包括机器人、底板和靠板，所述底板上开设有用来滑动的第一滑槽，所述靠板上设有用于高度调节的皮带，所述靠板上设有用来驱动皮带的电机，所述靠板上设有用来抓取机器人的机械爪，所述靠板上设有用于提供电力的第二蓄电池。
4、优选地，所述底板呈矩形且底部设有多个用于移动的万向轮，所述底板一端设有用于限制的挡板，所述万向轮在底板上固定连接，所述第一滑槽呈条形且对称设置在底板上。
5、优选地，所述靠板呈矩形且
6、优选地，所述皮带上对称设有用来固定的第一固定轴且一端贯穿第二滑槽，所述皮带在第一固定轴上滑动连接，所述皮带上设有啮齿，所述电机与靠板固定连接且通过输出端与第一固定轴同轴固定。
7、优选地，所述第二滑槽内设有机械臂且滑动连接，所述机械臂一端设有与皮带相适配的啮齿轮，所述机械臂上设有提供动力的第一蓄电池且固定连接，所述机械臂另一端与机械爪固定连接，所述机械臂上设有调节松紧的第二固定轴。
8、优选地，所述第二蓄电池呈矩形与靠板固定连接，所述电机通过输出轴与第二蓄电池固定连接。
9、本技术的有益效果为：
10、1、本技术通过第一滑槽和第二滑槽，为了能让搬运设备能正常调节，在底板上对称开设第一滑槽，并且是前后走向，让搬运设备更靠近晶圆机器人，方便夹取搬运，而在底板上方的靠板上，也对称设置了第二滑槽，只不过第二滑槽是固定在靠板上，并且一端是在第一滑槽内滑动的，从而使靠板在底板上滑动，而在第二滑槽内则设有夹取机构。
11、2、本技术通过皮带和机械臂，在第二滑槽周围由皮带包裹且皮带高于第二滑槽，在其内里设有啮齿，而机械臂的一端设置了与皮带上啮齿相适配的啮齿轮，并且啮齿轮底部设有滑块在第二滑槽内滑动，从而保证了机械臂夹取过程中的稳定性。
12、3、本技术通过电机和第二蓄电池，为了能通过皮带来调节机械臂的高度，在靠板的顶部设置了电机，并且电机的输出端是直接与第一固定轴转动连接的，而为了保持机械臂始终拥有电力，在靠板背面设置了第二蓄电池，并且与电机固定连接。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备，包括机器人（1）、底板（2）和靠板（4），其特征在于，所述底板（2）上开设有用来滑动的第一滑槽（3），所述靠板（4）上设有用于高度调节的皮带（11），所述靠板（4）上设有用来驱动皮带（11）的电机（8），所述靠板（4）上设有用来抓取机器人（1）的机械爪（7），所述靠板（4）上设有用于提供电力的第二蓄电池（13）。
2.根据权利要求1所述的一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备，其特征在于，所述底板（2）呈矩形且底部设有多个用于移动的万向轮，所述底板（2）一端设有用于限制的挡板，所述万向轮在底板（2）上固定连接，所述第一滑槽（3）呈条形且对称设置在底板（2）上。
3.根据权利要求1所述的一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备，其特征在于，所述靠板（4）呈矩形且通过第二滑槽（10）在第一滑槽（3）内滑动连接，所述第二滑槽（10）呈条形且对称设于靠板（4）外壁，所述皮带（11）包裹第二滑槽（10）且滑动连接，所述第二滑槽（10）上设有用于放置机器人（1）的承载板（12）且固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种可靠型半
5.根据权利要求3所述的一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备，其特征在于，所述第二滑槽（10）内设有机械臂（6）且滑动连接，所述机械臂（6）一端设有与皮带（11）相适配的啮齿轮，所述机械臂（6）上设有提供动力的第一蓄电池（5）且固定连接，所述机械臂（6）另一端与机械爪（7）固定连接，所述机械臂（6）上设有调节松紧的第二固定轴（14）。
6.根据权利要求1所述的一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备，其特征在于，所述第二蓄电池（13）呈矩形与靠板（4）固定连接，所述电机（8）通过输出轴与第二蓄电池（13）固定连接。
...【技术特征摘要】
1.一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备，包括机器人（1）、底板（2）和靠板（4），其特征在于，所述底板（2）上开设有用来滑动的第一滑槽（3），所述靠板（4）上设有用于高度调节的皮带（11），所述靠板（4）上设有用来驱动皮带（11）的电机（8），所述靠板（4）上设有用来抓取机器人（1）的机械爪（7），所述靠板（4）上设有用于提供电力的第二蓄电池（13）。
2.根据权利要求1所述的一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备，其特征在于，所述底板（2）呈矩形且底部设有多个用于移动的万向轮，所述底板（2）一端设有用于限制的挡板，所述万向轮在底板（2）上固定连接，所述第一滑槽（3）呈条形且对称设置在底板（2）上。
3.根据权利要求1所述的一种可靠型半导体晶圆机器人搬运设备，其特征在于，所述靠板（4）呈矩形且通过第二滑槽（10）在第一滑槽（3）内滑动连接，所述第二滑槽（10）呈条形且对称设于靠板（4）外壁，所述皮带（11）包裹第二滑槽（10）且滑动连接，所述第二滑槽（10）上设有用...
【专利技术属性】
技术研发人员：高井峰，袁颖，
申请(专利权)人：远峰高端装备苏州有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。