【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体加工，具体为一种用于晶圆盒运输车的行程限位解锁装置。
技术介绍
1、目前在半导体加工领域，晶圆的生产需要在不同的工站进行加工，在各工站的转运过程中，需要将晶圆放置在晶圆盒内，晶圆盒运输车是一种常见的晶圆盒转运设备。晶圆盒通常放置在晶圆装载机上，将晶圆盒运输车移动至晶圆装载机正前方，通过标准接口进行对接，晶圆盒运输车需要在前后工位处分别动作，将晶圆盒从晶圆装载机上取下进行转运；在此过程中，需要保证晶圆盒运输车的取放装置在前后工位进行取放动作时，设备应处于相对稳定的状态，保证取放的稳定。当前设备方案无限位装置，在取放晶圆盒时需人工辅助对取放装置进行固定，再对晶圆盒进行取放动作，在取放工位稳定性相对较差，需要多次定位方可完成动作。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本专利技术提供了一种用于晶圆盒运输车的行程限位解锁装置。
2、具体技术方案如下：
3、一种用于晶圆盒运输车的行程限位解锁装置，包括：立板，所述立板前表面上端设置有上盖板，所述上盖板上表面...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆盒运输车的行程限位解锁装置，其特征在于，包括：立板（5），所述立板（5）前表面上端设置有上盖板（4），所述上盖板（4）上表面左端插入连接有按钮导向柱（3），按钮导向柱（3）顶端内部设有限位腔，将圆柱销（25）安装在按钮导向柱（3）的限位腔的顶端，所述圆柱销（25）为圆筒结构，上端开口设有外凸沿，下端开口设有内凸沿，上端插接有按钮（1），所述按钮（1）下端连接有伸缩杆（6），所述伸缩杆（6）上端外侧套接有圆柱销（25），在圆柱销（25）与伸缩杆（6）之间设有压缩弹簧（26），压缩弹簧（26）套接在伸缩杆（6），所述压缩弹簧（26）下端与圆柱销（25）的内...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆盒运输车的行程限位解锁装置，其特征在于，包括：立板（5），所述立板（5）前表面上端设置有上盖板（4），所述上盖板（4）上表面左端插入连接有按钮导向柱（3），按钮导向柱（3）顶端内部设有限位腔，将圆柱销（25）安装在按钮导向柱（3）的限位腔的顶端，所述圆柱销（25）为圆筒结构，上端开口设有外凸沿，下端开口设有内凸沿，上端插接有按钮（1），所述按钮（1）下端连接有伸缩杆（6），所述伸缩杆（6）上端外侧套接有圆柱销（25），在圆柱销（25）与伸缩杆（6）之间设有压缩弹簧（26），压缩弹簧（26）套接在伸缩杆（6），所述压缩弹簧（26）下端与圆柱销（25）的内凸沿抵接，压缩弹簧（26）上端与按钮（1）抵接，所述伸缩杆（6）下端穿过按钮导向柱（3）和上盖板（4）后与连接柱（7）连接，所述连接柱（7）侧面通过高等螺丝一（8）轴接在活动板（9）侧面，所述活动板（9）中间设置有转接板（11），所述转接板（11）与立板（5）固定连接，所述活动板（9）与转接板（11）通过转轴（10）实现转动连接，所述立板（5）前表面下端右侧连接有滑块转接板（22），所述滑块转接板（22）右端连接有滑块（20），所述滑块（20）内部插入连接有直线导轨（19），直线导轨（19）在滑块（20）内滑动，所述直线导轨（19）前端连接有端盖一（18），所述直线导轨（19）后端连接有端盖二（21），所述端盖一（18）与端盖二（21）之间连接有呈l型的限位转接板（16），所述限位转接板（1...
【专利技术属性】
技术研发人员：蔡连旭，
申请(专利权)人：沈阳富创精密设备股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。