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本发明公开一种用于晶圆盒运输车的行程限位解锁装置,涉及半导体加工技术领域。该装置包括:立板,所述立板前表面上端设置有上盖板,所述上盖板上表面连接有按钮导向柱,所述按钮导向柱上端连接有按钮,按钮下端连接有伸缩杆,连接柱侧面通过高等螺丝一轴接在...该专利属于沈阳富创精密设备股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过沈阳富创精密设备股份有限公司授权不得商用。
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