本发明专利技术公开了一种无反射声波滤波器单元、无反射声波滤波器及制作方法。无反射声波滤波器单元包括声波谐振器及电阻，所述声波谐振器与电阻并联构成串联支路，所述声波谐振器与电阻串联构成并联支路，将无反射支路设置在滤波器的端口处，即可实现该端口的无反射效果。由本发明专利技术提出的无反射支路，在吸收带外反射信号的同时提高了带外的抑制。该结构实现的无反射滤波器在实物尺寸，电学性能以及工艺实现上均优于传统结构的无反射滤波器。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及射频微机电器件领域，具体涉及一种无反射声波滤波器单元、无反射声波滤波器及制作方法。
技术介绍
1、随着移动通信的发展，射频前端对声波滤波器有着巨大的需求，该技术可以使通讯信号精确过滤。声波滤波器可以消除附近信号的干扰、降低射频的失真、提升射频链路的可靠性、降低系统的功耗、增强电路的灵敏度以及优化射频设备的性能，使得其在射频前端中发挥着不可替代的作用。
2、在电子行业中，声波滤波器被广泛应用于手机和平板电脑等移动通信设备。随着5g时代的推进更高通信频段的开放和使用让市场对体声波滤波技术的需求不断增加。声波滤波器由于其高品质因数（q），高频率，微体积及适于批量生产等优点，被广泛应用与6g以下频段（sub-6g）。
3、随着市场需求的增加，在特定的条件下需要全频段无反射或低反射的滤波器以减少滤波器对前置电路的影响。传统的无反射滤波器结构复杂，尺寸庞大，不利于实际应用中的推广。
技术实现思路
1、为了克服现有技术存在的缺点与不足，本专利技术第一目的是提供一种无反射声波滤波器单元，特别是一种单片集成的无反射声波滤波器单元；
2、本专利技术的第二目的是提供一种单片集成的无反射声波滤波器；
3、本专利技术的第三目的是提供一种单片集成的无反射声波滤波器单元的制作方法。
4、本专利技术从无反射基本原理出发，基于传统梯形声波滤波器提出一种新结构的无反射声波滤波器的改进方法，实现反射滤波器的单端口无反射及双端口无反射。
>5、本专利技术第一目的采用如下技术方案：6、一种无反射声波滤波器单元，包括串联或并联连接的声波谐振器及电阻；
7、声波谐振器与电阻串联，构成并联支路，此时声波谐振器的串联谐振点导纳值随着串联电阻的电阻值增大而减小；
8、声波谐振器与电阻并联，构成串联支路，此时声波谐振器的并联谐振点导纳值随着并联电阻的电阻值增大而增大。
9、进一步，所述声波谐振器包括第一金属层、压电层及第二金属层，在与第二金属层的同一平面设置电阻层。
10、进一步，声波谐振器与电阻串联，则电阻层与第二金属层直接连接；声波谐振器与电阻并联，则电阻层与第一金属层通过压电层通孔连接，且电阻层与第二金属层直接连接。
11、进一步，所述声波谐振器为体声波谐振器、声表面波谐振器或兰姆波谐振器，所述电阻层的金属为铬或铂。
12、进一步，串联支路的电阻阻值50-200欧姆之间.
13、进一步，并联支路的电阻阻值在100-300欧姆之间。
14、本专利技术的第二目的采用如下技术方案实现：
15、一种无反射声波滤波器，包括声波谐振器网络及无反射支路，所述无反射支路设置在所述声波谐振器网络需要吸收反射的端口，所述无反射支路由所述的无反射声波滤波器单元构成，所述无反射支路包括并联支路及串联支路。
16、进一步，所述声波谐振器网络使用无反射支路实现单端口或双端口无反射滤波器。
17、进一步，所述无反射支路中的串联支路与声波谐振器网络的单端口或双端口连接，实现单端口或双端口无反射滤波器。
18、本专利技术的第三目的采用如下技术方案实现：
19、一种单片集成的无反射声波滤波器单元的制作方法，包括：
20、在硅片上制备第一金属层，图形化刻蚀第一金属层；
21、制备压电层与第二金属层，具体是采用mocvd或mbe的方法生长压电层与第二金属层；
22、图形化刻蚀第二金属层；
23、图形化刻蚀压电层，制作焊盘通孔形成压电层通孔；
24、制备电阻层并图形化；
25、制备金属焊盘层；
26、声波谐振器的背部释放。
27、本专利技术的有益效果：
28、1）本专利技术提出的无反射结构具有普适性，可以应用于大部分声波滤波器结构中，调整端口电路结构即可将有反射的电路转变为无反射电路，原理简单，电路改进容易实现。
29、2）本专利技术突破了传统无反射滤波器固定的几种结构，创造性的提出由声波滤波器单元构成的无反射支路，只需在声波滤波器的端口处改动电路即连接无反射支路，可实现某一端口的无反射。
30、3）本专利技术提出的无反射滤波器仅需在声波滤波器制作过程中增加一步工艺流程，对声波滤波器面积变动不大，相较与传统通过pcb版搭建无反射滤波器，制作简单，使用面积小，有很大的实用意义。
31、4）本专利技术提出的无反射滤波器在实物尺寸，插入损耗，带外抑制，矩形度等性能上均优于传统结构的无反射滤波器。
32、5）传统无反射结构的带外吸收反射部分不参与滤波，功能单一，而本专利技术提出的无反射端口结构不仅吸收带外的信号反射同时提高了带外抑制，从而提升滤波器的选择性。
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【技术保护点】
1.一种无反射声波滤波器单元，其特征在于，包括串联或并联连接的声波谐振器及电阻；
2.根据权利要求1所述的无反射声波滤波器单元，其特征在于，所述声波谐振器为体声波谐振器、声表面波谐振器或兰姆波谐振器，所述电阻层的金属为铬或铂。
3.根据权利要求1所述的无反射声波滤波器单元，其特征在于，串联支路的电阻阻值50-200欧姆之间。
4.根据权利要求1所述的无反射声波滤波器单元，其特征在于，并联支路的电阻阻值在100-300欧姆之间。
5.一种无反射声波滤波器，其特征在于，包括声波谐振器网络及无反射支路，所述无反射支路设置在所述声波谐振器网络需要吸收反射的端口，所述无反射支路由权利要求1-4任一项所述的无反射声波滤波器单元构成，所述无反射支路包括并联支路及串联支路。
6.根据权利要求5所述的无反射声波滤波器，其特征在于，所述声波谐振器网络使用无反射支路实现单端口或双端口无反射滤波器。
7.根据权利要求5所述的无反射声波滤波器，其特征在于，所述无反射支路中的串联支路与声波谐振器网络的单端口或双端口连接，实现单端口或双端口无反射滤波器。
8.一种基于权利要求1-4任一项所述的无反射声波滤波器单元的制作方法，其特征在于，包括：
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【技术特征摘要】
1.一种无反射声波滤波器单元，其特征在于，包括串联或并联连接的声波谐振器及电阻；
2.根据权利要求1所述的无反射声波滤波器单元，其特征在于，所述声波谐振器为体声波谐振器、声表面波谐振器或兰姆波谐振器，所述电阻层的金属为铬或铂。
3.根据权利要求1所述的无反射声波滤波器单元，其特征在于，串联支路的电阻阻值50-200欧姆之间。
4.根据权利要求1所述的无反射声波滤波器单元，其特征在于，并联支路的电阻阻值在100-300欧姆之间。
5.一种无反射声波滤波器，其特征在于，包括声波谐振器网络及无反射支路，所述无...
【专利技术属性】
技术研发人员：朱浩慎，许霄彤，钟跃鹏，冯文杰，车文荃，薛泉，
申请(专利权)人：华南理工大学，
类型：发明
国别省市：
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