【技术实现步骤摘要】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种设计图形坏点检测方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种设计图形坏点检测方法，其特征在于：分析检查到的区别点，设置区别标准值，比较区别点的区别值和区别标准值，选择区别值大于区别标准值的区别点，神经网络模型重新采集该区别点的设计图形数据，通过神经网络模型得到新的第二光刻胶轮廓。
3.如权利要求2所述的一种设计图形坏点检测方法，其特征在于：设置区别极限值，区别极限值大于区别标准值，进一步筛选选择的区别点，过滤区别值大于区别极限值的区别点。
4.如权利要求3所述的一种设计图形坏点检测方法，其特征在于：将筛选后的区别点进行分类，每类区别点中分别选择至少部分作为候选点，神经网络模型按预设权重重新采集该候选点的设计图形数据，通过神经网络模型得到新的第二光刻胶轮廓。
5.一种设计图形光刻布线方法，其特征在于：包括以下步骤：
6.如权利要求5所述的一种设计图形光刻布线方法，其特征在于：基于坏点对设计图形的影响值进行排序，设置影响预设值，获取大于影响预设值的严重坏点；
7.如权利要求6所述的一种设计
8.如权利要求7所述的一种设计图形光刻布线方法，其特征在于：将新的设计图形迭代设计图形坏点检测方法，得到新的设计图形中的坏点；
9.一种设计图形光刻布线系统，用于实现如权利要求5-8任一项所述设计图形光刻布线方法，其特征在于，包括：
10.一种存储介质，包括存储器、处理器及存储在存储器上并可在处理器上运行的计算机程序，其特征在于：所述处理器执行所述计算机程序时，实现如权利要求5-8中任一项所述的设计图形光刻布线方法。
...【技术特征摘要】
1.一种设计图形坏点检测方法，其特征在于：包括以下步骤：
2.如权利要求1所述的一种设计图形坏点检测方法，其特征在于：分析检查到的区别点，设置区别标准值，比较区别点的区别值和区别标准值，选择区别值大于区别标准值的区别点，神经网络模型重新采集该区别点的设计图形数据，通过神经网络模型得到新的第二光刻胶轮廓。
3.如权利要求2所述的一种设计图形坏点检测方法，其特征在于：设置区别极限值，区别极限值大于区别标准值，进一步筛选选择的区别点，过滤区别值大于区别极限值的区别点。
4.如权利要求3所述的一种设计图形坏点检测方法，其特征在于：将筛选后的区别点进行分类，每类区别点中分别选择至少部分作为候选点，神经网络模型按预设权重重新采集该候选点的设计图形数据，通过神经网络模型得到新的第二光刻胶轮廓。
5.一种设计图形光刻布线方法，其特征在于：包括以下步骤：
6.如权利要...
【专利技术属性】
技术研发人员：张生睿，俞宗强，施伟杰，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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