电压控制电路及半导体设备制造技术

本申请提供一种电压控制电路及半导体设备，涉及电路技术领域，该电路包括：运放模块、调节模块、负载模块及处理模块；所述运放模块的第一输入端连接于所述处理模块，所述运放模块的第二输入端连接于所述调节模块的输出端，所述运放模块的输出端连接于所述调节模块的第一输入端，所述调节模块的第二输入端与所述负载模块连接；所述处理模块连接于所述负载模块，且所述处理模块设置为根据所述负载模块两端的实时电压及额定功率，对所述运放模块的第一输入端的输入电压进行调节，以控制所述负载模块的电流，从而简化了对半导体设备中器件进行温度控制的操作流程，提高了效率，也提高了半导体设备的稳定性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及电路，尤其涉及一种电压控制电路及半导体设备。

技术介绍

1、随着半导体芯片行业的发展，半导体芯片在各行各业的应用也越来越普及，半导体设备中有部分芯片需要在一定的温度条件下，才可以正常工作，从而对温度环境存在一定的要求。

2、相关技术中，在半导体设备中，若某一部件或某一芯片的温度过低、影响其正常工作时，通常只能等待其温度自行升高，该过程可能需要花费较长时间，从而使得半导体设备中温度控制较为繁琐，影响正常的工作效率。由此，如何提高半导体设备中器件温度控制的效率，显得至关重要。

技术实现思路

1、本申请提供一种电压控制电路及半导体设备。

2、根据本申请的第一方面，提供一种电压控制电路，该电路包括：运放模块、调节模块、负载模块及处理模块；所述运放模块的第一输入端连接于所述处理模块，所述运放模块的第二输入端连接于所述调节模块的输出端，所述运放模块的输出端连接于所述调节模块的第一输入端，所述调节模块的第二输入端与所述负载模块连接；所述处理模块连接于所述负载模块，且所述处理模块设置为根据所本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电压控制电路，其特征在于，包括：运放模块、调节模块、负载模块及处理模块；

2.如权利要求1所述的电压控制电路，其特征在于，所述采集单元包括第一采集单元及第二采集单元；

3.如权利要求2所述的电压控制电路，其特征在于，

4.如权利要求1所述的电压控制电路，其特征在于，

5.如权利要求4所述的电压控制电路，其特征在于，所述开关管为三极管。

6.如权利要求5所述的电压控制电路，其特征在于，所述电压控制电路还包括温度调节模块，所述温度调节模块用于调节所述负载模块和/或所述调节元件的温度。

7.如权利要求1所述的电压控...

【技术特征摘要】

1.一种电压控制电路，其特征在于，包括：运放模块、调节模块、负载模块及处理模块；

2.如权利要求1所述的电压控制电路，其特征在于，所述采集单元包括第一采集单元及第二采集单元；

3.如权利要求2所述的电压控制电路，其特征在于，

4.如权利要求1所述的电压控制电路，其特征在于，

5.如权利要求4所述的电压控制电路，其特征在于，所述开关管为三极管。

6.如权利要求5所述的电压控...

【专利技术属性】
技术研发人员：王彦龙，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：新型
国别省市：