【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于硅烷废气处理，更具体地，涉及一种硅烷废气处理系统。
技术介绍
1、电池生产制程处理工艺中，会产生的酸碱废气，有机废气，硅烷废气等废气。其中硅烷即硅与氢的化合物，是一系列化合物的总称，包括甲硅烷(sih4)、乙硅烷(si2h6)和一些更高级的硅氢化合物。目前应用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷简称做硅烷。
2、硅烷是强还原剂，与重金属卤化物激烈反应，与氯、溴发生爆炸性反应，与四氯化碳激烈反应。因此对硅烷不能使用氟里昂灭火剂。硅烷不溶于乙醇、乙醚、苯、氯仿和四氯化硅。不与润滑油、脂肪反应。对几乎所有的金属无腐蚀性。有时，玻璃中的碱成分也能分解硅烷。溶解在二硫化碳中的硅烷遇到空气也可发生爆炸。
3、因此需要增加除尘机构，但硅烷尾气处理时产生的大量烟尘，容易阻塞管道和影响后续的氨气处理，若简单连接除尘机构也会因尾气量波动而不能达到除尘机构的最大利用率，浪费能源成本。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是针对现有技术中存在的不足，解决现有的硅烷尾气处理时会产生大量烟...
【技术保护点】
1.一种硅烷废气处理系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述控制端能够控制两个所述喷淋洗涤塔任一或全部启闭。
3.根据权利要求2所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，还包括跳线，所述跳线的两端分别与所述第三总管和所述第四总管连接。
4.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述硅烷燃烧塔包括：
5.根据权利要求4所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述进气管的排入口与水平方向的夹角为0～30度，所述进气管的排入口倾斜向下。
6.根据权利要求1所述的硅烷废气...
【技术特征摘要】
1.一种硅烷废气处理系统，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述控制端能够控制两个所述喷淋洗涤塔任一或全部启闭。
3.根据权利要求2所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，还包括跳线，所述跳线的两端分别与所述第三总管和所述第四总管连接。
4.根据权利要求1所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述硅烷燃烧塔包括：
5.根据权利要求4所述的硅烷废气处理系统，其特征在于，所述进气管的排入口与水平方向的夹角为0～30度，所述进气管的排入口倾斜向下。
6.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：潘丹丹，吕增强，程界勇，丁梁陈，吕海燕，
申请(专利权)人：马鞍山艾瑞斯环保科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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