下载一种硅烷废气处理系统的技术资料

文档序号:40008151

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本发明公开了一种硅烷废气处理系统,包括:至少两个硅烷燃烧塔,两个硅烷燃烧塔的进气端通过第一总管连接多个废气排放嘴,至少两个除尘器,两个除尘器的进气端通过第二总管连接两个硅烷燃烧塔,至少两个喷淋洗涤塔,两个喷淋洗涤塔的进气端通过第三总管连接两...
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