【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种片上集成结构及方法，尤其是一种单行载流子光电二极管片上集成结构及方法。
技术介绍
1、在无线通信领域，随着人工智能(ai)、虚拟现实(vr)、大数据、物联网、超高清视频等技术的发展，对网络带宽和数据传输率需求日益增长，在可预见的未来，基于5g的网络带宽将难以满足这些新兴技术的海量数据交换需求。因此，人们将目光转向载波频率更高的太赫兹(terahertz，thz)频段，理论上，thz无线局域网可以提供高达数百gbps甚至数tbps的数据传输速率。
2、目前，研究人员已经开发出载波频率数百ghz的通信链路，实现了单通道50gbps以上的传输速率。这种thz频段通信链路，发射端一般由激光器、信号放大器、光学组合器、信号调制器、混频器等组成，由这些分立器件构成的发射端系统结构复杂、体积庞大，且信号在传输过程中存在较大的损耗，需要对信号进行多次放大，从而增加了整体功耗。
3、随着研究的深入，硅基激光器、光学组合器、信号调制器等相继被设计和制备出来，被应用于无线通信发射端，以降低系统的复杂度和功耗。然而，发...
【技术保护点】
1.一种单行载流子光电二极管片上集成结构，其特征是，所述片上集成结构包括：
2.根据权利要求1所述的单行载流子光电二极管片上集成结构，其特征是：沿光信号在光波导内的传播方向上，所述槽体的截面形状为梯形；
3.根据权利要求1所述的单行载流子光电二极管片上集成结构，其特征是：反射膜厚度为所述反射膜所在槽体深度的2％-20％；
4.根据权利要求2所述的单行载流子光电二极管片上集成结构，其特征是：在沿光信号在光波导内的传播方向上，所述槽体的前后两侧壁均呈倾斜分布，且所述槽体的侧壁与槽体底面的夹角θ为17°～45°。
5.根据权利...
【技术特征摘要】
1.一种单行载流子光电二极管片上集成结构，其特征是，所述片上集成结构包括：
2.根据权利要求1所述的单行载流子光电二极管片上集成结构，其特征是：沿光信号在光波导内的传播方向上，所述槽体的截面形状为梯形；
3.根据权利要求1所述的单行载流子光电二极管片上集成结构，其特征是：反射膜厚度为所述反射膜所在槽体深度的2％-20％；
4.根据权利要求2所述的单行载流子光电二极管片上集成结构，其特征是：在沿光信号在光波导内的传播方向上，所述槽体的前后两侧壁均呈倾斜分布，且所述槽体的侧壁与槽体底面的夹角θ为17°～45°。
5.根据权利要求1所述的单行载流子光电二极管片上集成结构，其特征是：所述单行载流子光电二极管单元采用倒装焊方式集成于硅基单元上，其中，
【专利技术属性】
技术研发人员：尹一鸣，郝沁汾，蒋成涛，尹小杰，
申请(专利权)人：无锡芯光互连技术研究院有限公司，
类型：发明
国别省市：
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