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本发明涉及一种单行载流子光电二极管片上集成结构及方法。其包括：硅基单元，包括硅衬底以及若干设置于所述硅衬底上光波导单元，其中，光波导单元包括两个用于传播光信号的光波导、用于间隔所述两个光波导的槽体以及设置于所述槽体内的反射膜；单行载流子光电...
该专利属于无锡芯光互连技术研究院有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡芯光互连技术研究院有限公司授权不得商用。

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