一种超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法技术

技术编号:40003577 阅读:24 留言:0更新日期:2024-01-09 04:21
本发明专利技术公开了一种超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法,当光电阴极制作过程中出现蒸钠起漏电且漏电在1‑4分钟上升时超过2000nA时,则需要对光电阴极进行漏电处理,方法包括:当漏电上升超过2000nA时,通过停止蒸镀钠,打开钾电源蒸镀钾1‑2分钟,关闭钾电源后等待1‑2分钟,打开钠电源蒸镀1‑2分钟,打开锑电源让钠、锑共蒸镀,观察光电流上升下降5分格关闭锑电源,等待1分钟后关闭钠电源,进入下一工艺,从而达到处理光电阴极制作过程中蒸钠出现漏电的目的,有效提高了光电阴极制作的成品率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电阴极,具体涉及一种超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法


技术介绍

1、光电阴极是各类微光像增强器的光电转换的关键组成部分,承担着将微弱光电子图像转化为电子的作用,光电阴极制作失败直接影响像增强器各项性能指标,甚至导致微光像增强器出现暗区不能正常工作。灵敏度是评价多碱光电阴极合格与否的关键指标,超二代像增强器通用规范(gjb 7351-2011)规定了光电阴极灵敏度应不小于500μa/lm,反之则光电阴极不合格。超二代像增强器通用规范还对像增强器的成像质量做了严格要求:有效视场内应无明亮的光斑、条纹、发射点等其它形式的缺陷,光电阴极阴影则为该缺陷之一。光电阴极阴影的判断方法是改变光电阴极工作电压由-200v降低至0v,像增强器视场内阴影颜色会加深,则判断阴影来自于多碱光电阴极。

2、如图1所示,多碱光电阴极的制作是在真空环境中进行,主要蒸镀成分是钾、钠、铯、锑,其蒸镀的工艺过程为:蒸镀钾→蒸镀钠→钠锑共同蒸镀→钾钠锑共同蒸镀→表面铯激活。光电阴极制作工艺过程中,会实时通过开关工艺灯的方式检测光电流和漏电流(开启工艺灯本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法,在光电阴极制作工艺过程中通过间隔开关工艺灯的方式检测光电流和漏电流,其特征在于,当蒸镀钠出现漏电现象时,按照以下步骤进行处理:

2.根据权利要求书1所述超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法,其特征在于:

3.根据权利要求书2所述超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法,其特征在于:

4.根据权利要求1所述超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法,其特征在于:

5.根据权利要求1所述超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法,其特征在于:p>

6.根据权...

【技术特征摘要】

1.一种超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法,在光电阴极制作工艺过程中通过间隔开关工艺灯的方式检测光电流和漏电流,其特征在于,当蒸镀钠出现漏电现象时,按照以下步骤进行处理:

2.根据权利要求书1所述超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法,其特征在于:

3.根据权利要求书2所述超二代多碱光电阴极制作时蒸钠出现漏电的处理方法,其特征在于:

4.根据权利要求1所述超二代多碱光电阴极制作时...

【专利技术属性】
技术研发人员:崔万兵伏兵钟梓源李金沙张彦云马怀超曾进能陈坤杨王玲燕许有毅马锦雅杨锦邦李家保方建翠俞江平
申请(专利权)人:北方夜视技术股份有限公司
类型:发明
国别省市:

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