PECVD分区域双面镀膜载板制造技术

本技术公开了一种PECVD分区域双面镀膜载板，包括：至少一个放置单元，所述放置单元为钨丝十字交叉结构，所述钨丝十字交叉结构包括在外框之间嵌入拉紧的形成阵列排布的十字交叉型状的钨丝，用于放置承载件，所述钨丝通过张紧装置与所述外框进行紧固，所述放置单元的边缘上还设置孔洞式载板识别器。本技术的优点是：交叉式设计能有效地预防双面镀膜产生的边缘效应，解决由边缘效应导致的色差问题，提升生产良率与电池转换效率；有利于精准定位，实现自动化精准放片，提高子载板整体的可靠性能。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及hjt电池，具体涉及一种pecvd分区域双面镀膜载板。

技术介绍

1、随着科技发展、能源枯竭等问题促进了太阳能电池技术的发展，特别是高效电池的开发应用越来越受重视，高效电池通常采用本征非晶硅层a-si：h(i)钝化的硅基异质结太阳电池(hjt电池)，硅基异质结太阳电池不仅有高性能转化效率、开路电压的特点，还具有低温度系数、无光致衰减(lid)、无电致衰减(pid)、低的制备工艺温度等应用优势；对于hjt电池而言，非晶硅起到钝化、形成p-n结的关键作用，对于hjt电池的转换效率起到决定性作用，因此，制备性能优异的非晶硅薄膜是获得高效hjt电池的关键技术。

2、现有技术中的hjt电池非晶硅薄膜主要使用pecvd设备制作，pecvd(plasmaenhanced chemical vapor deposition)指等离子增强化学气相沉积，由于异质结电池性能对硅片表面洁净度、摩擦等要求极高，因而pecvd载板对异质结电池的有至关重要的影响；传统pecvd载板为平板式结构，在平板式载板四周边框内部采用凹槽式或卡点式限位，硅片和载板接触面积较大本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种PECVD分区域双面镀膜载板，其特征在于，包括：至少一个放置单元，所述放置单元为钨丝十字交叉结构，所述钨丝十字交叉结构包括在外框之间嵌入拉紧的形成阵列排布的十字交叉型状的钨丝，用于放置承载件，所述钨丝通过张紧装置与所述外框进行紧固，所述放置单元的边缘上还设置孔洞式载板识别器。

2.根据权利要求1所述的PECVD分区域双面镀膜载板，其特征在于，所述钨丝的直径为0.2mm。

3.根据权利要求1所述的PECVD分区域双面镀膜载板，其特征在于，所述张紧装置通过设置于所述外框上的定位孔进行钨丝定位。

4.根据权利要求1所述的PECVD分区域双面镀膜载板，...

【技术特征摘要】

1.一种pecvd分区域双面镀膜载板，其特征在于，包括：至少一个放置单元，所述放置单元为钨丝十字交叉结构，所述钨丝十字交叉结构包括在外框之间嵌入拉紧的形成阵列排布的十字交叉型状的钨丝，用于放置承载件，所述钨丝通过张紧装置与所述外框进行紧固，所述放置单元的边缘上还设置孔洞式载板识别器。

2.根据权利要求1所述的pecvd分区域双面镀膜载板，其特征在于，所述钨丝的直径为0.2mm。

3.根据权利要求1所述的pecvd分区域双面镀膜载板，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘长见，请求不公布姓名，程飞，吴博，
申请(专利权)人：捷造科技宁波有限公司，
类型：新型
国别省市：