【技术实现步骤摘要】
本技术属于真空镀膜，具体为一种真空镀膜设备用保护装置。
技术介绍
1、在诸如真空镀膜设备、半导体设备、太阳能薄膜电池等高端设备上，都需要通过绝缘电极将电源输出引入到真空室内部的放电装置上，为了保证放电的稳定运行，需要对放电装备进行绝缘固定和支撑，常规绝缘多为绝缘层和单层屏蔽层的设计，存在绝缘性能差，难以满足高压的使用条件，并且由于绝缘防护有限，绝缘寿命也普遍较低，基于此原因，本申请提出一种真空镀膜设备用保护装置用于对高压电极的绝缘保护。
技术实现思路
1、针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种真空镀膜设备用保护装置，有效的解决了现有的真空镀膜设备中的高压电极绝缘性不好而影响使用效果和使用寿命的问题。
2、为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种真空镀膜设备用保护装置，包括真空镀膜高压电极本体，所述真空镀膜高压电极本体由绝缘保护陶瓷外套体、高压电极棒和高压线缆构成，高压电极棒固定连接于绝缘保护陶瓷外套体内部的中间位置并向绝缘保护陶瓷外套体的顶端延伸，高压线缆固定连接于高压电极棒的底端并向绝缘保护陶瓷外套体的底端延伸，绝缘保护陶瓷外套体的底端设置有螺纹连接段，螺纹连接段内部的两侧分别设置有进气通道和排气通道，绝缘保护陶瓷外套体的顶端固定设置有第一绝缘凸环和第二绝缘凸环，绝缘保护陶瓷外套体内部的顶端由内至外依次开设有绝缘气腔内层、绝缘气腔中层和绝缘气腔外层，绝缘气腔中层的顶端延伸至第一绝缘凸环的内部，绝缘气腔外层的顶端延伸至第二绝缘凸环的内部，绝缘保护陶瓷外套
3、优选的，所述绝缘保护陶瓷外套体的内部设置有位于绝缘气腔内层和绝缘气腔中层之间的绝缘内膜层一以及位于绝缘气腔中层和绝缘气腔外层之间的绝缘内膜层二，高压电极棒和高压线缆与绝缘保护陶瓷外套体之间设置有绝缘橡胶套，螺纹连接段的顶端固定设置有密封垫圈。
4、优选的，所述进气通道和排气通道的底端均开设有螺纹安装槽和锥形槽，锥形槽位于螺纹安装槽的顶端，螺纹安装槽内部的顶端设置有o型密封圈，螺纹安装槽的内部设置有螺纹连接塞头，螺纹连接塞头底端的中间位置开设有内六角扳手槽，螺纹连接塞头顶端的中间位置固定设置有与锥形槽相匹配的橡胶密封锥。
5、与现有技术相比，本技术的有益效果是：
6、（1）、在工作中，通过设置有绝缘保护陶瓷外套体、第一绝缘凸环、第二绝缘凸环、绝缘气腔内层、绝缘气腔中层、绝缘气腔外层、汇流气腔、绝缘内膜层一、绝缘内膜层二和绝缘橡胶套，能够实现对高压电极棒的绝缘保护，避免高压电极棒释放电弧和提前放电，从而避免高电压击穿真空镀膜设备的其它零部件，提高其工作的稳定性和安全性，进而提高使用效果和使用寿命；
7、（2）、通过设置有进气通道和排气通道，从而能够实现进气和排气操作，通过设置有螺纹安装槽、锥形槽、o型密封圈、螺纹连接塞头和橡胶密封锥，能够提高进气通道和排气通道端口处的密封性，避免发生漏气的情况。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备用保护装置，包括真空镀膜高压电极本体（1），其特征在于：所述真空镀膜高压电极本体（1）由绝缘保护陶瓷外套体（2）、高压电极棒（3）和高压线缆（4）构成，高压电极棒（3）固定连接于绝缘保护陶瓷外套体（2）内部的中间位置并向绝缘保护陶瓷外套体（2）的顶端延伸，高压线缆（4）固定连接于高压电极棒（3）的底端并向绝缘保护陶瓷外套体（2）的底端延伸，绝缘保护陶瓷外套体（2）的底端设置有螺纹连接段（5），螺纹连接段（5）内部的两侧分别设置有进气通道（6）和排气通道（7），绝缘保护陶瓷外套体（2）的顶端固定设置有第一绝缘凸环（8）和第二绝缘凸环（9），绝缘保护陶瓷外套体（2）内部的顶端由内至外依次开设有绝缘气腔内层（10）、绝缘气腔中层（11）和绝缘气腔外层（12），绝缘气腔中层（11）的顶端延伸至第一绝缘凸环（8）的内部，绝缘气腔外层（12）的顶端延伸至第二绝缘凸环（9）的内部，绝缘保护陶瓷外套体（2）内部的中间位置开设有与进气通道（6）、排气通道（7）、绝缘气腔内层（10）、绝缘气腔中层（11）和绝缘气腔外层（12）连通的汇流气腔（13），进气通道（6）、排气通道（7）
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用保护装置，其特征在于：所述绝缘保护陶瓷外套体（2）的内部设置有位于绝缘气腔内层（10）和绝缘气腔中层（11）之间的绝缘内膜层一（14）以及位于绝缘气腔中层（11）和绝缘气腔外层（12）之间的绝缘内膜层二（15），高压电极棒（3）和高压线缆（4）与绝缘保护陶瓷外套体（2）之间设置有绝缘橡胶套（16），螺纹连接段（5）的顶端固定设置有密封垫圈（17）。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜设备用保护装置，其特征在于：所述进气通道（6）和排气通道（7）的底端均开设有螺纹安装槽（18）和锥形槽（19），锥形槽（19）位于螺纹安装槽（18）的顶端，螺纹安装槽（18）内部的顶端设置有O型密封圈（20），螺纹安装槽（18）的内部设置有螺纹连接塞头（21），螺纹连接塞头（21）底端的中间位置开设有内六角扳手槽（22），螺纹连接塞头（21）顶端的中间位置固定设置有与锥形槽（19）相匹配的橡胶密封锥（23）。
...【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备用保护装置，包括真空镀膜高压电极本体（1），其特征在于：所述真空镀膜高压电极本体（1）由绝缘保护陶瓷外套体（2）、高压电极棒（3）和高压线缆（4）构成，高压电极棒（3）固定连接于绝缘保护陶瓷外套体（2）内部的中间位置并向绝缘保护陶瓷外套体（2）的顶端延伸，高压线缆（4）固定连接于高压电极棒（3）的底端并向绝缘保护陶瓷外套体（2）的底端延伸，绝缘保护陶瓷外套体（2）的底端设置有螺纹连接段（5），螺纹连接段（5）内部的两侧分别设置有进气通道（6）和排气通道（7），绝缘保护陶瓷外套体（2）的顶端固定设置有第一绝缘凸环（8）和第二绝缘凸环（9），绝缘保护陶瓷外套体（2）内部的顶端由内至外依次开设有绝缘气腔内层（10）、绝缘气腔中层（11）和绝缘气腔外层（12），绝缘气腔中层（11）的顶端延伸至第一绝缘凸环（8）的内部，绝缘气腔外层（12）的顶端延伸至第二绝缘凸环（9）的内部，绝缘保护陶瓷外套体（2）内部的中间位置开设有与进气通道（6）、排气通道（7）、绝缘气腔内层（10）、绝缘气腔中层（11）和绝缘气腔外层（12）连通的汇流气腔（13），进气通道（6）、排气通...
【专利技术属性】
技术研发人员：是旺道，是文斌，
申请(专利权)人：江苏新合力传热设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。