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本技术公开了一种PECVD分区域双面镀膜载板，包括：至少一个放置单元，所述放置单元为钨丝十字交叉结构，所述钨丝十字交叉结构包括在外框之间嵌入拉紧的形成阵列排布的十字交叉型状的钨丝，用于放置承载件，所述钨丝通过张紧装置与所述外框进行紧固，所述...
该专利属于捷造科技（宁波）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过捷造科技（宁波）有限公司授权不得商用。

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