【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置。
技术介绍
1、磷化铟晶片是一种重要的半导体材料,它使光学系统能够提供数据中心、移动回程、地铁和长途应用所需的性能，磷化铟晶片在生产加工时，需要对磷化铟晶片的外侧进行抛光，从而就需要用到磷化铟晶片的抛光设备，在抛光中，就需要用到磷化铟晶片的抛光液，这样经过抛光设备便于抛光，抛光液在加工时，就需要用到磷化铟晶片抛光液配料制备装置。
2、现有磷化铟晶片抛光液配料制备装置在配液的时候，两种混合的抛光物料不能有效均匀的混合在一起，这样在配料制备时，容易出现两种不能均匀混合，而造成在抛光时，造成磷化铟晶片损伤的问题。
技术实现思路
1、本技术公开一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，旨在解决现有磷化铟晶片抛光液配料制备装置在配液的时候，两种混合的抛光物料不能有效均匀的混合在一起，这样在配料制备时，容易出现两种不能均匀混合，而造成在抛光时，造成磷化铟晶片损伤的技术问题。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，包括搅拌混合机构和抛光液配料罐体，所述搅拌混合机构安装固定在抛光液配料罐体的上端中间位置上，所述抛光液配料罐体的左端设置有左侧配料进管，所述抛光液配料罐体的右端设置有右侧配料进管，所述抛光液配料罐体的下端设置有电磁阀门，所述电磁阀门的下端设置有中间匀流管，所述中间匀流管的下端设置有底部箱体，所述底部箱体的外端设置有排料阀门管，所述底部箱体的下端设
4、通过设置有安装底板结构，从而便于通过螺钉固定在指定位置上，而后左侧配料进管可以接收第一磷化铟晶片抛光液配料物料，从而汇入到抛光液配料罐体中，右侧配料进管则可以接收第二磷化铟晶片抛光液配料物料，从而汇入到抛光液配料罐体中，抛光液配料罐体中的物料因搅拌混合机构有效搅拌混合，电磁阀门打开时，则便于排放抛光液配料罐体中的磷化铟晶片抛光液，这样在经过中间匀流管有效匀流混合，从而在输送到底部箱体中，打开排料阀门管时，则便于排放到指定容器中。
5、在一个优选的方案中，所述安装底板包括金属圆板、上侧凸柱和外侧方块，所述金属圆板的上端设置有上侧凸柱，所述金属圆板的两端设置有外侧方块，所述金属圆板通过上侧凸柱连接在底部箱体上。
6、通过设置有安装底板结构，从而便于安装放置使用。
7、在一个优选的方案中，所述右侧配料进管包括外侧斜管、上侧管和上侧法兰环，所述上侧法兰环的下端设置有上侧管，所述上侧管的下端设置有外侧斜管，所述外侧斜管连接在抛光液配料罐体上。
8、通过设置有右侧配料进管结构，从而便于接收外部抛光液进行输送使用。
9、在一个优选的方案中，所述中间匀流管包括下侧匀流板、上侧匀流板和管体外壳，所述管体外壳的内部上侧设置有上侧匀流板，所述上侧匀流板的下方位于管体外壳上设置有下侧匀流板，所述管体外壳的上端连接在电磁阀门上，所述管体外壳的下端连接在底部箱体上。
10、通过设置有中间匀流管结构，从而便于匀流混合使用。
11、在一个优选的方案中，所述搅拌混合机构包括联轴器、驱动电机、外侧端杆和中间主杆，所述驱动电机的输出轴下端设置有联轴器，所述联轴器的下端设置有中间主杆，所述中间主杆的外侧设置有外侧端杆，所述驱动电机连接在抛光液配料罐体上。
12、通过设置有搅拌混合机构结构，这样便于搅拌混合使用。
13、在一个优选的方案中，所述左侧配料进管和右侧配料进管的结构相同，且所述左侧配料进管和右侧配料进管对称设置在抛光液配料罐体上。
14、通过设置有左侧配料进管和右侧配料进管结构，从而便于将两种抛光液输送到抛光液配料罐体中进行混合配料制备。
15、在一个优选的方案中，所述中间匀流管和底部箱体通过螺钉连接，且所述中间匀流管和底部箱体的连接处贯通。
16、通过设置有中间匀流管结构，从而便于匀流混合，并且可以输送到底部箱体中进行存储。
17、由上可知，一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，包括搅拌混合机构和抛光液配料罐体，所述搅拌混合机构安装固定在抛光液配料罐体的上端中间位置上，所述抛光液配料罐体的左端设置有左侧配料进管，所述抛光液配料罐体的右端设置有右侧配料进管，所述抛光液配料罐体的下端设置有电磁阀门，所述电磁阀门的下端设置有中间匀流管，所述中间匀流管的下端设置有底部箱体，所述底部箱体的外端设置有排料阀门管，所述底部箱体的下端设置有安装底板，所述搅拌混合机构、电磁阀门和排料阀门管通过连接线与外部控制器电性连接。本技术提供的磷化铟晶片抛光液配料制备装置具有匀流混合抛光液进行配料制备的技术效果。
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1.一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，包括搅拌混合机构(2)和抛光液配料罐体(4)，其特征在于，所述搅拌混合机构(2)安装固定在抛光液配料罐体(4)的上端中间位置上，所述抛光液配料罐体(4)的左端设置有左侧配料进管(1)，所述抛光液配料罐体(4)的右端设置有右侧配料进管(3)，所述抛光液配料罐体(4)的下端设置有电磁阀门(5)，所述电磁阀门(5)的下端设置有中间匀流管(6)，所述中间匀流管(6)的下端设置有底部箱体(7)，所述底部箱体(7)的外端设置有排料阀门管(8)，所述底部箱体(7)的下端设置有安装底板(9)，所述搅拌混合机构(2)、电磁阀门(5)和排料阀门管(8)通过连接线与外部控制器电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，其特征在于，所述安装底板(9)包括金属圆板(91)、上侧凸柱(92)和外侧方块(93)，所述金属圆板(91)的上端设置有上侧凸柱(92)，所述金属圆板(91)的两端设置有外侧方块(93)，所述金属圆板(91)通过上侧凸柱(92)连接在底部箱体(7)上。
3.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶片抛光液配料
4.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，其特征在于，所述中间匀流管(6)包括下侧匀流板(61)、上侧匀流板(62)和管体外壳(63)，所述管体外壳(63)的内部上侧设置有上侧匀流板(62)，所述上侧匀流板(62)的下方位于管体外壳(63)上设置有下侧匀流板(61)，所述管体外壳(63)的上端连接在电磁阀门(5)上，所述管体外壳(63)的下端连接在底部箱体(7)上。
5.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，其特征在于，所述搅拌混合机构(2)包括联轴器(21)、驱动电机(22)、外侧端杆(23)和中间主杆(24)，所述驱动电机(22)的输出轴下端设置有联轴器(21)，所述联轴器(21)的下端设置有中间主杆(24)，所述中间主杆(24)的外侧设置有外侧端杆(23)，所述驱动电机(22)连接在抛光液配料罐体(4)上。
6.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，其特征在于，所述左侧配料进管(1)和右侧配料进管(3)的结构相同，且所述左侧配料进管(1)和右侧配料进管(3)对称设置在抛光液配料罐体(4)上。
7.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，其特征在于，所述中间匀流管(6)和底部箱体(7)通过螺钉连接，且所述中间匀流管(6)和底部箱体(7)的连接处贯通。
...【技术特征摘要】
1.一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，包括搅拌混合机构(2)和抛光液配料罐体(4)，其特征在于，所述搅拌混合机构(2)安装固定在抛光液配料罐体(4)的上端中间位置上，所述抛光液配料罐体(4)的左端设置有左侧配料进管(1)，所述抛光液配料罐体(4)的右端设置有右侧配料进管(3)，所述抛光液配料罐体(4)的下端设置有电磁阀门(5)，所述电磁阀门(5)的下端设置有中间匀流管(6)，所述中间匀流管(6)的下端设置有底部箱体(7)，所述底部箱体(7)的外端设置有排料阀门管(8)，所述底部箱体(7)的下端设置有安装底板(9)，所述搅拌混合机构(2)、电磁阀门(5)和排料阀门管(8)通过连接线与外部控制器电性连接。
2.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，其特征在于，所述安装底板(9)包括金属圆板(91)、上侧凸柱(92)和外侧方块(93)，所述金属圆板(91)的上端设置有上侧凸柱(92)，所述金属圆板(91)的两端设置有外侧方块(93)，所述金属圆板(91)通过上侧凸柱(92)连接在底部箱体(7)上。
3.根据权利要求1所述的一种磷化铟晶片抛光液配料制备装置，其特征在于，所述右侧配料进管(3)包括外侧斜管(31)、上侧管(32)和上侧法兰环(33)，所述上侧法兰环(33)的下端设置有上侧管(32)，所述上侧管(32)的下端设置有外侧斜管(31)，所述外侧斜管(31)...
【专利技术属性】
技术研发人员：李国庆，
申请(专利权)人：北京上鼎嘉成科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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