【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体和工业自动化，具体为一种低温测试流道制冷方法及装置。
技术介绍
1、现有的一种低温测试流道制冷装置及方法是通过制冷系统将导热液并行输送至水平放置的预温区与测试区，实现对该区域的制冷；生产通过机械手将芯片产品依次放入低温预温区，经过一段时间预温后，机械手再将产品转移至低温测试区。该装置及方法存在以下不足；
2、制冷系统将导热液并行输送方式存在不同区域温差较大问题
3、芯片在低温区域转移搬运过程需要机械手运动空间较大，导致设备体积较大，成本较高。
4、芯片转移过程容易损伤压裂，造成二次伤害问题
5、另外一种生产测试所用的低温环境主要制冷方法是采用液氮制冷该装置及方法存在以下不足；
6、液氮制冷的低温测试装置设计制造成本较高；
7、制冷所需要的液氮是易消耗品，储存搬运管理成本较高；
8、生产车间液氮使用的安全风险问题；
9、为解决上述问题，本专利技术特提供一种低温测试流道制冷装置及方法以解决上述问题。
技术实现思路
1、针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种低温测试流道制冷装置及方法，解决了目前生产测试所用的低温环境主要制冷方法是采用液氮制冷，存在着液氮制冷的低温测试装置设计制造成本较高；制冷所需要的液氮是易消耗品，储存搬运管理成本较高和生产车间液氮使用的安全风险高的问题。
2、为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方案予以实现：一种低温测试流道制冷方法，通过
3、制冷装置是分别在垂直放置ab两组预温区流道与测试区流道表面布置芯片产品定向轨道，当产品定向轨道入口依次进入，利用产品自身重力作用，产品一颗挨着一颗进入预温区定向轨道进行低温预温，经过一段时间低温浸泡预温；
4、根据先进先出的原则，使每颗产品温度充分与环境温度一致，预温区定向轨道末端的分离机构将会释放一颗产品进入测试区定向轨道，产品在低温测试区轨道内进行低温测试。
5、优选的，所述制冷机供液输入管的端部安装有装置供液分流块，所述装置供液分流块外部分别连接有a组低温测试流道和b组低温测试流道，所述a组低温测试流道和b组低温测试流道的输出端连接有a组低温预温流道装置，所述a组低温预温流道装置的另一端连接有b组低温预温流道装置，所述b组低温预温流道装置的顶部安装有制冷机回液输出管。
6、优选的，所述a组测试流道上接口和a组测试流道下接口分别开设于a组低温测试流道的上下两端，所述b组测试流道上接口和b组测试流道下接口分别开设于b组低温测试流道的上下两端，所述a组低温预温流道装置和b组低温预温流道装置的底部分别安装有a组低温测试轨道装置和b组低温测试轨道装置，所述a组低温测试流道安装于a组低温测试轨道装置中，所述b组低温测试流道安装于b组低温测试轨道装置中。
7、优选的，所述装置供液分流块与a组测试流道下接口之间安装有a组测试流道供液管，所述装置供液分流块与b组测试流道下接口之间安装有b组测试流道供液管。
8、优选的，所述a组低温预温流道装置的底端外壁安装有a组预温流道供液管，所述a组预温流道供液管的另一端安装有a组流道供液转接块，所述a组流道供液转接块的外壁安装有a组测试流道回液管和b组测试流道回液管，所述a组测试流道回液管与a组测试流道上接口相连接，所述b组测试流道回液管与b组测试流道上接口相连接。
9、优选的，所述a组低温预温流道装置的顶部安装有a组预温流道回液管，所述b组低温预温流道装置的底部外表面安装有b组预温流道供液管，所述a组预温流道回液管与b组预温流道供液管之间安装有a组至b组供液输入管。
10、优选的，所述a组预温流道回液管与b组预温流道供液管的端部分别安装有a组流道回液转接块和b组流道供液转接块，所述a组至b组供液输入管的两端分别与a组流道回液转接块和b组流道供液转接块固定安装。
11、优选的，所述b组低温预温流道装置的顶端安装有b组预温流道回液管，所述b组预温流道回液管的端部安装有装置回液转接块，所述制冷机回液输出管安装在装置回液转接块的外表面。
12、优选的，所述a组预温流道上接口和a组预温流道下接口分别开设于a组低温预温流道装置的两端，所述a组预温流道供液管与a组预温流道下接口相连接，a组预温流道回液管和a组预温流道上接口相连接，所述b组预温流道上接口和b组预温流道下接口分别开设于b组低温预温流道装置的两端，所述b组预温流道供液管与b组预温流道下接口相连接，所述b组预温流道回液管与b组预温流道上接口相连接。
13、本专利技术公开了一种低温测试流道制冷装置及方法，其具备的有益效果如下：
14、该低温测试流道制冷装置及方法，制冷液通过制冷机供液输入管进入到该装置内部，然后通过装置供液分流块进行分流，一部分制冷液通过a组测试流道供液管进入到a组低温测试流道中，另一部分制冷液通过b组测试流道供液管进入到b组低温测试流道中，以此实现分流制冷，然后两组分流的制冷液分别通过a组测试流道回液管和b组测试流道回液管汇总至a组预温流道供液管中，然后从下端进入到a组低温预温流道装置内部，然后通过a组低温预温流道装置顶端的a组至b组供液输入管流至b组低温预温流道装置中，然后从b组低温预温流道装置顶端的制冷机回液输出管流出，最终回流至制冷机系统中，以此实现冷却液循环，从而解决了传统的生产测试所制造的低温环境采用液氮制冷所存在的设计制造成本高、存储运输管理成本高和安全性差的问题。
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1.一种低温测试流道制冷方法，通过制冷系统将导热液串行输送至垂直制冷放置的AB两组预温区流道与测试区流道，利用热管原理将导热液的温度充分传送AB两组预温区流道与测试区流道，实现温度一致性；
2.根据权利要求1所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：包括制冷机供液输入管（1），其特征在于，所述制冷机供液输入管（1）的端部安装有装置供液分流块（2），所述装置供液分流块（2）外部分别连接有A组低温测试流道（5）和B组低温测试流道（9），所述A组低温测试流道（5）和B组低温测试流道（9）的输出端连接有A组低温预温流道装置（15），所述A组低温预温流道装置（15）的另一端连接有B组低温预温流道装置（16），所述B组低温预温流道装置（16）的顶部安装有制冷机回液输出管（22）。
3.根据权利要求2所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述A组测试流道上接口和A组测试流道下接口分别开设于A组低温测试流道（5）的上下两端，所述B组测试流道上接口和B组测试流道下接口分别开设于B组低温测试流道（9）的上下两端，所述A组低温预温流道装置（15）和B组低温预温流道装置（
4.根据权利要求3所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述装置供液分流块（2）与A组测试流道下接口之间安装有A组测试流道供液管（3），所述装置供液分流块（2）与B组测试流道下接口之间安装有B组测试流道供液管（7）。
5.根据权利要求4所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述A组低温预温流道装置（15）的底端外壁安装有A组预温流道供液管（11），所述A组预温流道供液管（11）的另一端安装有A组流道供液转接块（13），所述A组流道供液转接块（13）的外壁安装有A组测试流道回液管（6）和B组测试流道回液管（10），所述A组测试流道回液管（6）与A组测试流道上接口相连接，所述B组测试流道回液管（10）与B组测试流道上接口相连接。
6.根据权利要求5所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述A组低温预温流道装置（15）的顶部安装有A组预温流道回液管（19），所述B组低温预温流道装置（16）的底部外表面安装有B组预温流道供液管（12），所述A组预温流道回液管（19）与B组预温流道供液管（12）之间安装有A组至B组供液输入管（17）。
7.根据权利要求6所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述A组预温流道回液管（19）与B组预温流道供液管（12）的端部分别安装有A组流道回液转接块（18）和B组流道供液转接块（14），所述A组至B组供液输入管（17）的两端分别与A组流道回液转接块（18）和B组流道供液转接块（14）固定安装。
8.根据权利要求6所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述B组低温预温流道装置（16）的顶端安装有B组预温流道回液管（20），所述B组预温流道回液管（20）的端部安装有装置回液转接块（21），所述制冷机回液输出管（22）安装在装置回液转接块（21）的外表面。
9.根据权利要求8所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述A组预温流道上接口和A组预温流道下接口分别开设于A组低温预温流道装置（15）的两端，所述A组预温流道供液管（11）与A组预温流道下接口相连接，A组预温流道回液管（19）和A组预温流道上接口相连接。
10.根据权利要求9所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述B组预温流道上接口和B组预温流道下接口分别开设于B组低温预温流道装置（16）的两端，所述B组预温流道供液管（12）与B组预温流道下接口相连接，所述B组预温流道回液管（20）与B组预温流道上接口相连接。
...【技术特征摘要】
1.一种低温测试流道制冷方法，通过制冷系统将导热液串行输送至垂直制冷放置的ab两组预温区流道与测试区流道，利用热管原理将导热液的温度充分传送ab两组预温区流道与测试区流道，实现温度一致性；
2.根据权利要求1所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：包括制冷机供液输入管（1），其特征在于，所述制冷机供液输入管（1）的端部安装有装置供液分流块（2），所述装置供液分流块（2）外部分别连接有a组低温测试流道（5）和b组低温测试流道（9），所述a组低温测试流道（5）和b组低温测试流道（9）的输出端连接有a组低温预温流道装置（15），所述a组低温预温流道装置（15）的另一端连接有b组低温预温流道装置（16），所述b组低温预温流道装置（16）的顶部安装有制冷机回液输出管（22）。
3.根据权利要求2所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述a组测试流道上接口和a组测试流道下接口分别开设于a组低温测试流道（5）的上下两端，所述b组测试流道上接口和b组测试流道下接口分别开设于b组低温测试流道（9）的上下两端，所述a组低温预温流道装置（15）和b组低温预温流道装置（16）的底部分别安装有a组低温测试轨道装置（4）和b组低温测试轨道装置（8），所述a组低温测试流道（5）安装于a组低温测试轨道装置（4）中，所述b组低温测试流道（9）安装于b组低温测试轨道装置（8）中。
4.根据权利要求3所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述装置供液分流块（2）与a组测试流道下接口之间安装有a组测试流道供液管（3），所述装置供液分流块（2）与b组测试流道下接口之间安装有b组测试流道供液管（7）。
5.根据权利要求4所述的一种低温测试流道制冷装置，其特征在于：所述a组低温预温流道装置（15）的底端外壁安装有a组预温流道供液管（11），所述a组预温流道供液管（11）的另一端安装有a组流道供液转接块（13），所述a组流道供液...
【专利技术属性】
技术研发人员：王体，
申请(专利权)人：深圳市诺泰芯装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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