【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅基片的湿法制绒装置，具体为一种硅基片的湿法制绒装置及方法。
技术介绍
1、硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，硅片表面通过制成绒面，可降低光线的反射，提高其对光能的吸收，从而转换更多的太阳能为电能，以化学溶液湿法制绒为例。
2、部分的硅基片通过化学方法把还原性较强的金属颗粒(如银等)沉积在硅基片表面，在用氢氟酸为主的化学液中，造成金属颗粒周围的氧化硅被腐蚀下去的催化化学反应，上述对硅基片单面的浸泡式腐蚀方式，会导致硅基片绒面的平整度不足，提供一种硅基片的湿法制绒装置，可提高硅基片的表面腐蚀的均匀度，从而提高硅基片绒面的平整度，因此，针对上述问题提出一种硅基片的湿法制绒装置及方法。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种硅基片的湿法制绒装置，可提高硅基片的表面腐蚀的均匀度，从而提高硅基片绒面的平整度。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
3、一种硅基片的湿法制绒装置，包括润湿压印结构，所述润湿压印结构一侧设置有装板送料结构，所述润湿压印结构一端设置有冲洗干燥结构，所述润湿压印结构包括液箱，所述液箱底端固定连通有导管，所述导管底端固定连通有润液筒，所述润液筒底部设置有柔性辊，所述柔性辊前端、后端均固定设置有卡杆，所述液箱顶端固定设置有橡胶环，所述液箱顶端设置有盖框，所述盖框内部固定设置有滤尘网，所述液箱前端支架、后端支架均与装配架固定设置，所述装板送料结构包括步进电机，所
4、优选的，所述盖框环边底部开设有与橡胶环嵌合对应的环槽，所述盖框与橡胶环嵌合滑动设置，所述盖框底端与液箱顶端贴合接触。
5、优选的，所述润液筒包括筒体，所述筒体底端内部嵌合固定设置有润液弧垫，所述柔性辊顶端弧面与润液弧垫贴合接触。
6、优选的，位于前端设置的所述卡杆杆部与装配架一端内板嵌合接触，所述步进电机前端与装配架前端支板固定设置。
7、优选的，所述电动滑轨装置底端与装配架底端内壁固定设置，所述连接板顶端内部开设有柱槽，所述装载板底部固定设置的柱块与连接板顶部设置的柱槽嵌合滑动设置，所述装载板底端与连接板顶端贴合接触。
8、优选的，所述卡盘顶端设置的内槽内壁固定设置有硅胶层，所述装载板与卡盘的内槽内壁硅胶层嵌合压触放置，所述卡盘与圆盘嵌合接触。
9、优选的，所述导孔底端固定连通的管道内嵌合设置有负压泵装置，所述冲洗管底端固定连通有雾化管头，所述冲洗管顶端管道与加压泵固定连通，所述输气管顶部管道与电热丝加热装置以及氮气输送管固定连通。
10、一种硅基片的湿法制绒方法：
11、s1、装板输料工序：将硅基片嵌合压装在硅胶衬环内部，硅胶衬环对硅基片的压触卡装具有较好的柔性限位作用。通过装载板底部固定设置的柱块与连接板顶部设置的柱槽嵌合滑动放置进行装载。电动滑轨装置在外部控制器的启动下带动配套滑台、连接板以及装载板主体从右向左滑动；
12、s2、润湿压触腐蚀工序：步进电机启动带动左侧设置的齿轮转动，由于柔性辊后端设置的卡杆与装配架端面转动设置，通过齿牙皮带与齿轮的啮合接触设置，可带动左、中以及右侧设置的三个柔性辊转动，柔性辊外侧凸出设置有微小的半圆棉块，柔性辊在转动时凸出设置的微小的半圆棉块与润液弧垫压触蘸取化学液，随后继续转动通过凸出设置的微小的半圆棉块与硅基片顶部表面点触落液。右侧设置的液箱内部添加的化学液为含有易还原的金属离子化学液、刻蚀扩孔化学液及表面活性剂的混合液，中间设置的液箱内部添加的化学液为刻蚀扩孔化学液及表面活性剂的混合液，左侧设置的液箱内部添加的化学液为氢氟酸、硝酸、磷酸和表面活性剂的混合液，可形成对硅基片顶部表面的分批次点液用于提高对硅基片腐蚀的均匀度；
13、s3、清洁干燥工序：将步骤s2得到的装载板卡装嵌合放置在卡盘顶端内部，可起到较好的柔性限位作用，驱动电机启动带动柱杆、卡盘以及装载板以较低角速度转动，冲洗管底端固定连通有雾化管头，冲洗管顶端管道与加压泵固定连通用于对冲洗液进行加压雾化喷覆，可覆盖硅基片的顶部区域，在硅基片表面形成表面水幕，其中冲洗液按顺序批次分别为碱溶液、rca一号化学液、rca二号化学液以及去离子水，输气管顶部管道与电热丝加热装置以及氮气输送管固定连通，可对清洗处理后的硅基片进行热流吹拂烘干，清洁干燥过程中导孔底端固定连通的管道内嵌合设置的负压泵装置均启动，可通过导孔以及连通管道对冲洗液以及烘干用的热氮气进行回收。
14、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
15、本专利技术中，柔性辊在转动时凸出设置的微小的半圆棉块与润液弧垫压触蘸取化学液，随后继续转动通过凸出设置的微小的半圆棉块与硅基片顶部表面点触落液，右侧设置的液箱内部添加的化学液为含有易还原的金属离子化学液、刻蚀扩孔化学液及表面活性剂的混合液，中间设置的液箱内部添加的化学液为刻蚀扩孔化学液及表面活性剂的混合液，左侧设置的液箱内部添加的化学液为氢氟酸、硝酸、磷酸和表面活性剂的混合液，可形成对硅基片顶部表面的分批次点液用于提高对硅基片腐蚀的均匀度。
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1.一种硅基片的湿法制绒装置，包括润湿压印结构(1)，其特征在于：所述润湿压印结构(1)一侧设置有装板送料结构(2)，所述润湿压印结构(1)一端设置有冲洗干燥结构(3)，所述润湿压印结构(1)包括液箱(11)，所述液箱(11)底端固定连通有导管(12)，所述导管(12)底端固定连通有润液筒(13)，所述润液筒(13)底部设置有柔性辊(14)，所述柔性辊(14)前端、后端均固定设置有卡杆(15)，所述液箱(11)顶端固定设置有橡胶环(16)，所述液箱(11)顶端设置有盖框(17)，所述盖框(17)内部固定设置有滤尘网(18)，所述液箱(11)前端支架、后端支架均与装配架(19)固定设置，所述装板送料结构(2)包括步进电机(21)，所述卡杆(15)前端外侧固定设置有齿轮(22)，所述齿轮(22)外侧与齿牙皮带(23)啮合接触，所述步进电机(21)底部设置有电动滑轨装置(24)，所述电动滑轨装置(24)顶部与配套滑台(25)嵌合滑动设置，位于前端、后端设置的所述配套滑台(25)内侧之间固定设置有连接板(26)，所述连接板(26)顶端贴合接触有装载板(27)，所述装载板(27)顶端固定设
2.根据权利要求1所述一种硅基片的湿法制绒装置，其特征在于：所述盖框(17)环边底部开设有与橡胶环(16)嵌合对应的环槽，所述盖框(17)与橡胶环(16)嵌合滑动设置，所述盖框(17)底端与液箱(11)顶端贴合接触。
3.根据权利要求1所述一种硅基片的湿法制绒装置，其特征在于：所述润液筒(13)包括筒体(131)，所述筒体(131)底端内部嵌合固定设置有润液弧垫(132)，所述柔性辊(14)顶端弧面与润液弧垫(132)贴合接触。
4.根据权利要求1所述一种硅基片的湿法制绒装置，其特征在于：位于前端设置的所述卡杆(15)杆部与装配架(19)一端内板嵌合接触，所述步进电机(21)前端与装配架(19)前端支板固定设置。
5.根据权利要求1所述一种硅基片的湿法制绒装置，其特征在于：所述电动滑轨装置(24)底端与装配架(19)底端内壁固定设置，所述连接板(26)顶端内部开设有柱槽，所述装载板(27)底部固定设置的柱块与连接板(26)顶部设置的柱槽嵌合滑动设置，所述装载板(27)底端与连接板(26)顶端贴合接触。
6.根据权利要求1所述一种硅基片的湿法制绒装置，其特征在于：所述卡盘(37)顶端设置的内槽内壁固定设置有硅胶层，所述装载板(27)与卡盘(37)的内槽内壁硅胶层嵌合压触放置，所述卡盘(37)与圆盘(33)嵌合接触。
7.根据权利要求1所述一种硅基片的湿法制绒装置，其特征在于：所述导孔(35)底端固定连通的管道内嵌合设置有负压泵装置，所述冲洗管(38)底端固定连通有雾化管头，所述冲洗管(38)顶端管道与加压泵固定连通，所述输气管(39)顶部管道与电热丝加热装置以及氮气输送管固定连通。
8.根据权利要求1-7所述一种硅基片的湿法制绒方法，包括以下步骤：
...【技术特征摘要】
1.一种硅基片的湿法制绒装置，包括润湿压印结构(1)，其特征在于：所述润湿压印结构(1)一侧设置有装板送料结构(2)，所述润湿压印结构(1)一端设置有冲洗干燥结构(3)，所述润湿压印结构(1)包括液箱(11)，所述液箱(11)底端固定连通有导管(12)，所述导管(12)底端固定连通有润液筒(13)，所述润液筒(13)底部设置有柔性辊(14)，所述柔性辊(14)前端、后端均固定设置有卡杆(15)，所述液箱(11)顶端固定设置有橡胶环(16)，所述液箱(11)顶端设置有盖框(17)，所述盖框(17)内部固定设置有滤尘网(18)，所述液箱(11)前端支架、后端支架均与装配架(19)固定设置，所述装板送料结构(2)包括步进电机(21)，所述卡杆(15)前端外侧固定设置有齿轮(22)，所述齿轮(22)外侧与齿牙皮带(23)啮合接触，所述步进电机(21)底部设置有电动滑轨装置(24)，所述电动滑轨装置(24)顶部与配套滑台(25)嵌合滑动设置，位于前端、后端设置的所述配套滑台(25)内侧之间固定设置有连接板(26)，所述连接板(26)顶端贴合接触有装载板(27)，所述装载板(27)顶端固定设置有硅胶衬环(28)，所述硅胶衬环(28)内部嵌合压触设置有硅基片(29)，所述冲洗干燥结构(3)包括垫板(31)，所述垫板(31)顶端固定设置有驱动电机(32)，所述垫板(31)顶端与圆盘(33)底端支板固定设置，所述圆盘(33)顶端固定设置有挡环板(34)，所述圆盘(33)内部开设有导孔(35)，所述驱动电机(32)主轴末端固定设置有柱杆(36)，所述柱杆(36)顶端固定设置有卡盘(37)，所述挡环板(34)顶部支板内部嵌合固定设置有冲洗管(38)以及输气管(39)。
2.根据权利要求1所述一种硅基...
【专利技术属性】
技术研发人员：仇建明，仲明飞，
申请(专利权)人：江苏迈睿科半导体科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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