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本发明涉及硅基片的湿法制绒装置技术领域，尤其为一种硅基片的湿法制绒装置及方法，包括润湿压印结构，润湿压印结构一侧设置有装板送料结构，润湿压印结构一端设置有冲洗干燥结构，润湿压印结构包括液箱，液箱底端固定连通有导管，导管底端固定连通有润液筒，...
该专利属于江苏迈睿科半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏迈睿科半导体科技有限公司授权不得商用。

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