平行度测试系统及其平行度测试方法技术方案

技术编号:39962336 阅读:32 留言:0更新日期:2024-01-09 00:08
本申请提供一种消除自准直仪光斑重合影响的平行度测试系统及其平行度测试方法,涉及光学测试技术领域。所述平行度测试系统包括:自准直仪;至少两个待测平面,以将所述自准直仪发出的光反射回所述自准直仪;光路转变件,能够分别贴合于两个所述待测平面上,以改变两个所述待测平面反射回所述自准直仪上的光斑位置;其中通过比对贴合所述光路转变件前、后的所述自准直仪上的光斑位置信息,能够得出两个所述待测平面之间的平行度,解决了十字光斑部分重合导致无法识别平行度数值的技术缺陷,提高了平行度测试的范围和精度。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及光学测试,具体涉及一种平行度测试系统及其平行度测试方法


技术介绍

1、自准直仪测量两块镜片平行度时,通过测量两个十字光斑的位置偏差,得到两块镜片的平行度,由于十字光斑本身有宽度,当十字光斑有部分重合时(实际两块镜片并没有平行),自准直仪便没有读数,不能识别此时两块镜片的平行度。而对于双面反射平板的平行度有借助自准直仪进行平行度测试的方式,但在平行度接近时,也不能消除十字光斑重合的影响,从而影响测试范围和测试准确度,无法满足预期的平行度测试需求。


技术实现思路

1、有鉴于此,本说明书实施例提供一种平行度测试系统及其平行度测试方法,解决了十字光斑部分重合导致无法识别平行度数值的技术缺陷,提高了平行度测试的范围和精度。

2、本说明书实施例提供以下技术方案:

3、一方面,提供了一种平行度测试系统,包括:

4、自准直仪;

5、至少两个待测平面,以将所述自准直仪发出的光反射回所述自准直仪;

6、光路转变件,能够分别贴合于两个所述待测平面上,以改变两个本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种平行度测试系统,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的平行度测试系统,其特征在于,所述光路转变件包括楔板;

3.根据权利要求1所述的平行度测试系统,其特征在于,两个所述待测平面包括第一待测平面与第二待测平面;其中

4.根据权利要求3所述的平行度测试系统,其特征在于,当所述第一待测平面与所述第二待测平面均朝向所述自准直仪设置时,所述平行度测试系统还包括第一透镜与第二透镜;

5.根据权利要求4所述的平行度测试系统,其特征在于,所述平行度测试系统还包括挡光件,设置于所述第一透镜与第二透镜之间。

6.根据权利要求3所述的平...

【技术特征摘要】

1.一种平行度测试系统,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的平行度测试系统,其特征在于,所述光路转变件包括楔板;

3.根据权利要求1所述的平行度测试系统,其特征在于,两个所述待测平面包括第一待测平面与第二待测平面;其中

4.根据权利要求3所述的平行度测试系统,其特征在于,当所述第一待测平面与所述第二待测平面均朝向所述自准直仪设置时,所述平行度测试系统还包括第一透镜与第二透镜;

5.根据权利要求4所述的平行度测试系统,其特征在于,所述平行度测试系统还包括挡光件,设置于所述第一透镜与第二透镜之间。

6.根据权利要求3所述的平行度测试系统,其特征在于,当所述第一待测平面朝向所述自准直仪设置,且所述第二待测平面背向所述自准直仪设置时,所述平行度测试系统还包括双面反射镜;

7.根据权利要求6所述的平行度...

【专利技术属性】
技术研发人员:请求不公布姓名请求不公布姓名
申请(专利权)人:智慧星空上海工程技术有限公司
类型:发明
国别省市:

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