下载平行度测试系统及其平行度测试方法的技术资料

文档序号:39962336

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本申请提供一种消除自准直仪光斑重合影响的平行度测试系统及其平行度测试方法,涉及光学测试技术领域。所述平行度测试系统包括:自准直仪;至少两个待测平面,以将所述自准直仪发出的光反射回所述自准直仪;光路转变件,能够分别贴合于两个所述待测平面上,以...
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