【技术实现步骤摘要】
本申请涉及芯片封装的，涉及一种减薄机设备，特别是减薄机设备的内部绕线结构。
技术介绍
1、随着半导体产业的不断进步及发展，国内对各种半导体设备的需求越来越大，集成电路芯片封装趋势是向更小型化，更高密度，更高性能，更多功能的方向发展，同时对设备的稳定性及设备尺寸大小都提出了更高的要求。在晶圆减薄过程中，因为工作台一直在进行回转动作，因此各工位的水气管路，真空管路及各类管线一直处于移动状态，为保证这些管线的使用寿命，都会使用拖链进行保护，而减薄机工作台一直进行回转动作，因此普通拖链无法满足，必须使用旋转拖链，但这就导致设备的整机尺寸增大，占用面积增大的问题，而且所有管线集中在拖链中，维修更换不方便，增加了设备的修护成本。因此非常有必要设计一种更合理的设备内部绕线方法。
2、在晶圆减薄过程中，因为工作台一直在进行回转动作，因此各工位的水气管路，真空管路及各类管线一直处于移动状态，为保证这些管线的使用寿命，都会使用拖链进行保护，拖链跟随旋转盘做回转运动。
3、然而，使用旋转拖链，导致设备的整机尺寸增大，占用面积增大的问题，而且所有管线集中在拖链中，维修更换不方便，增加了设备的修护成本。
技术实现思路
1、本专利技术针对上述缺点，旨在解决如何能减小设备尺寸，同时方便更换的技术问题。基于此，本专利技术有必要针对上述技术问题，将减薄机的内部就进行优化，提供一种减薄机设备。
2、本专利技术提出了一种减薄机设备，所述减薄机设备至少包括基座以及固定于所述基座上的驱动
3、所述驱动部包括驱动电机，所述驱动电机容纳且固定在基座的内部，带动旋转部旋转；
4、所述旋转部包括旋转盘和旋转环，所述旋转环固定在旋转盘的底面，且容纳于基座的内部，所述旋转环与旋转盘同步旋转；
5、所述固定部位于旋转环的外周，且固定部固定在基座的内部；
6、管线部的出口端固定在旋转环上，管路和电线的入口端固定在固定部上，所述出口端随旋转部同步转动。
7、在另一个实施例，所述驱动部还包括皮带，所述驱动电机通过皮带带动旋转盘的转动，所述驱动电机控制所述旋转盘旋转90°、180°、270°后返回0°。
8、在另一个实施例，所述旋转部还包括中心轴，所述旋转盘具有中心孔，所述中心轴安装在旋转盘的中心孔内，所述旋转盘围绕中心轴旋转。
9、在另一个实施例，所述旋转部还包括连接板，所述连接板的一端与旋转环固定连接，所述连接板的另一端具有与连接板本体垂直的平面连接部，所述平面连接部固定在旋转盘的底面，所述旋转环通过连接板固定在旋转盘上。
10、在另一个实施例，所述旋转部包括四个连接板，四个连接板均匀分布在旋转盘和旋转环之间。
11、在另一个实施例，所述固定部包括固定圆环、固定板和至少一个加强板，每个所述固定板设置在固定圆环下方，所述固定圆环通过固定板固定在基座上，所述加强板设置在固定圆环的外侧，所述管线部位于所述固定圆环的内侧且安装于固定板的上方。
12、在另一个实施例，所述固定圆环具有直线段和弧线段，所述固定板水平焊接在固定圆环下方，所述固定管板上还设置有固定件，所述固定圆环通过固定件固定在基座上。
13、在另一个实施例，所述管线部包括电线、管路、骨架板及压板，所述电线和管路分别位于骨架板的两侧，所述管线部的入口端和出口端通过压板分别固定在固定圆环的内侧和旋转环的外侧。
14、在另一个实施例，所述管线部还包括中间段，所述中间段与固定圆环和旋转环均不接触，所述中间段的长度根据旋转盘转动范围及基座内部空间直径确定。
15、在另一个实施例，所述旋转环上还设置有管路接头，所述管线部出口端的管路和电线连接到管路接头。
16、上述减薄机设备，由于管路电线在设备内部，减小设备尺寸，在原来基础上缩小了体积；同时管路电线不在拖链中，暴露在外，更换方便。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种减薄机设备，其特征在于，所述减薄机设备至少包括基座以及固定于所述基座上的驱动部、旋转部、固定部和管线部；其中，
2.根据权利要求1所述的减薄机设备，其特征在于，所述驱动部还包括皮带，所述驱动电机通过皮带带动旋转盘的转动，所述驱动电机控制所述旋转盘旋转90°、180°、270°后返回0°。
3.根据权利要求1所述的减薄机设备，其特征在于，所述旋转部还包括中心轴，所述旋转盘具有中心孔，所述中心轴安装在旋转盘的中心孔内，所述旋转盘围绕中心轴旋转。
4.根据权利要求3所述的减薄机设备，其特征在于，所述旋转部还包括连接板，所述连接板的一端与旋转环固定连接，所述连接板的另一端具有与连接板本体垂直的平面连接部，所述平面连接部固定在旋转盘的底面，所述旋转环通过连接板固定在旋转盘上。
5.根据权利要求4所述的减薄机设备，其特征在于，所述旋转部包括四个连接板，四个连接板均匀分布在旋转盘和旋转环之间。
6.根据权利要求1所述的减薄机设备，其特征在于，所述固定部包括固定圆环、固定板和至少一个加强板，所述固定板设置在固定圆环下方，所述固定
7.根据权利要求6所述的减薄机设备，其特征在于，所述固定圆环具有直线段和弧线段，所述固定板水平焊接在固定圆环下方，所述固定板上还设置有固定件，所述固定圆环通过固定件固定在基座上。
8.根据权利要求7所述的减薄机设备，其特征在于，所述管线部包括电线、管路、骨架板及压板，所述电线和管路分别位于骨架板的两侧，所述管线部的入口端和出口端通过压板分别固定在固定圆环的内侧和旋转环的外侧。
9.根据权利要求8所述的减薄机设备，其特征在于，所述管线部还包括中间段，所述中间段与固定圆环和旋转环均不接触，所述中间段的长度根据旋转盘转动范围及基座内部空间直径确定。
10.根据权利要求9所述的减薄机设备，其特征在于，所述旋转环上还设置有管路接头，所述管线部出口端的管路和电线连接到管路接头。
...【技术特征摘要】
1.一种减薄机设备，其特征在于，所述减薄机设备至少包括基座以及固定于所述基座上的驱动部、旋转部、固定部和管线部；其中，
2.根据权利要求1所述的减薄机设备，其特征在于，所述驱动部还包括皮带，所述驱动电机通过皮带带动旋转盘的转动，所述驱动电机控制所述旋转盘旋转90°、180°、270°后返回0°。
3.根据权利要求1所述的减薄机设备，其特征在于，所述旋转部还包括中心轴，所述旋转盘具有中心孔，所述中心轴安装在旋转盘的中心孔内，所述旋转盘围绕中心轴旋转。
4.根据权利要求3所述的减薄机设备，其特征在于，所述旋转部还包括连接板，所述连接板的一端与旋转环固定连接，所述连接板的另一端具有与连接板本体垂直的平面连接部，所述平面连接部固定在旋转盘的底面，所述旋转环通过连接板固定在旋转盘上。
5.根据权利要求4所述的减薄机设备，其特征在于，所述旋转部包括四个连接板，四个连接板均匀分布在旋转盘和旋转环之间。
6.根据权利要求1所述的减薄机设备，其特征在于，所述固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺东葛，谢贵久，赵壮壮，金豪，黄卫国，
申请(专利权)人：北京中电科电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：
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