【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种隔热结构及反应炉。
技术介绍
1、在硅片加工工艺中，使用的炉管为一端开口一端封闭的盲管。上述盲管在使用过程中会产生压差。为了减小炉管内外的压力差，避免压差过大导致反应炉管破损的问题，目前常用的方案是将盲管结构改为两端开口的通管形式的炉管本体，然后利用尾端盖对炉管本体的一端进行封盖。该尾端盖与炉管本体之间设置有密封结构，以保证炉管本体的密封。
2、上述密封结构一般为橡胶材质，在反应过程中，炉管本体中的热量会通过热辐射和热传导的方式对密封结构造成影响，使其碳化损坏。为了解决上述问题，在炉管本体的内部空间与尾端盖之间设置一种隔热装置，用以隔绝炉管本体中大部分的热量，防止其传递至尾端盖及其密封结构处。
3、但是上述隔热装置一般直接放置于炉管本体中，其与炉管本体内部底壁的接触面积较大，在反应过程中，如硼反应过程中，会产生副产物，如硼酸，硼酸会附着在炉管本体内部底壁和隔热装置之间，使两者粘附，造成隔热装置难以拆卸的问题。
4、因此，亟需一种隔热结构及反应炉，以解决以上问题。
技术实现思路
1、根据本技术的一个方面，目的在于提供一种隔热结构，该隔热结构能够减少炉管内部空间传递至尾端盖的热量，且能够解决由于反应过程中的副产物的粘附作用导致隔热结构难以拆卸的问题。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、隔热结构，所述隔热结构设置于炉管内部，所述隔热结构包括：
4、隔热部，阻隔于炉管的内部
5、支撑部，所述隔热部通过所述支撑部与所述炉管的内壁接触，所述支撑部与所述炉管的接触面积小于所述隔热部与所述炉管的内壁直接接触的接触面积。
6、作为本技术提供的隔热结构的优选方案，所述支撑部包括多个支撑件，多个所述支撑件设置于所述隔热部底部的边缘。
7、作为本技术提供的隔热结构的优选方案，所述支撑件与所述炉管的内壁之间为线接触或面接触或点接触。
8、作为本技术提供的隔热结构的优选方案，所述隔热部内部形成填充空间，和所述填充空间中填充有隔热材料。
9、作为本技术提供的隔热结构的优选方案，所述隔热部开设有填充孔，所述填充孔连通所述填充空间，所述隔热材料能够自所述填充孔填充至所述填充空间。
10、作为本技术提供的隔热结构的优选方案，所述隔热部设有避让部。
11、作为本技术提供的隔热结构的优选方案，所述隔热结构还包括安装部，所述安装部至少凸设于所述隔热部的一侧。
12、作为本技术提供的隔热结构的优选方案，所述隔热部的底部与所述炉管内底壁共同限定出用于避让抽气管的避让空间。
13、作为本技术提供的隔热结构的优选方案，所述隔热部为一体式结构或分体式结构。
14、根据本技术的另一个方面，目的在于提供一种反应炉，所述反应炉包括炉管和如上述方案任一项所述的隔热结构，所述炉管的尾部安装有尾端盖，所述隔热结构设置于所述炉管内，阻隔于所述炉管的内部空间与所述尾端盖之间。
15、本技术的有益效果：
16、本技术提供的隔热结构设置于炉管内部，包括隔热部和支撑部。该隔热部设置于炉管内，阻隔于该炉管的内部空间与尾端盖之间。也就是说，该隔热部能够隔绝炉管内的热量，防止大量热量直接传递至尾端盖位置，进而对尾端盖与炉管之间的密封件进行保护，防止密封件高温损坏。该隔热部通过该支撑部与该炉管的内壁间接接触，该支撑部与该炉管的内壁的接触面积小于该隔热部与该炉管的内壁直接接触的接触面积。也就是说，通过设置支撑部，能够减小隔热结构与炉管的内壁的接触面积，反应过程中产生的副产物仅会聚集在支撑部的底部，有效减小了副产物的粘结面积，解决了由于反应过程中的副产物的粘附作用导致隔热结构难以拆卸的问题。
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1.隔热结构，其特征在于，所述隔热结构包括：
2.根据权利要求1所述的隔热结构，其特征在于，所述支撑部(200)包括多个支撑件(210)，多个所述支撑件(210)设置于所述隔热部(100)底部的边缘处。
3.根据权利要求2所述的隔热结构，其特征在于，所述支撑件(210)与所述炉管的内壁之间为线接触或面接触或点接触。
4.根据权利要求1所述的隔热结构，其特征在于，所述隔热部(100)内部形成填充空间，所述填充空间中填充有隔热材料。
5.根据权利要求4所述的隔热结构，其特征在于，所述隔热部(100)开设有填充孔(121)，所述填充孔(121)连通所述填充空间，所述隔热材料通过所述填充孔(121)填充至所述填充空间。
6.根据权利要求1所述的隔热结构，其特征在于，所述隔热部(100)设有避让部(122)。
7.根据权利要求6所述的隔热结构，其特征在于，所述隔热结构还包括安装部(400)，所述安装部(400)至少凸设于所述隔热部(100)的一侧。
8.根据权利要求1所述的隔热结构，其特征在于，所述隔热部(
9.根据权利要求1所述的隔热结构，其特征在于，所述隔热部(100)为一体式结构或分体式结构。
10.反应炉，其特征在于，所述反应炉包括炉管和如权利要求1-9任一项所述的隔热结构，所述炉管的尾部安装有尾端盖，所述隔热结构阻隔于所述炉管的内部空间与所述尾端盖之间。
...【技术特征摘要】
1.隔热结构，其特征在于，所述隔热结构包括：
2.根据权利要求1所述的隔热结构，其特征在于，所述支撑部(200)包括多个支撑件(210)，多个所述支撑件(210)设置于所述隔热部(100)底部的边缘处。
3.根据权利要求2所述的隔热结构，其特征在于，所述支撑件(210)与所述炉管的内壁之间为线接触或面接触或点接触。
4.根据权利要求1所述的隔热结构，其特征在于，所述隔热部(100)内部形成填充空间，所述填充空间中填充有隔热材料。
5.根据权利要求4所述的隔热结构，其特征在于，所述隔热部(100)开设有填充孔(121)，所述填充孔(121)连通所述填充空间，所述隔热材料通过所述填充孔(121)填充至所述填充空间。...
【专利技术属性】
技术研发人员：易术，屈亚运，肖阳，朱太荣，林佳继，
申请(专利权)人：拉普拉斯新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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