System.ArgumentOutOfRangeException: 索引和长度必须引用该字符串内的位置。 参数名: length 在 System.String.Substring(Int32 startIndex, Int32 length) 在 zhuanliShow.Bind() 还原炉底盘物料分配装置制造方法及图纸_技高网

还原炉底盘物料分配装置制造方法及图纸

技术编号:39951946 阅读:5 留言:0更新日期:2024-01-08 23:22
本申请提供还原炉底盘物料分配装置,涉及还原炉领域。还原炉底盘物料分配装置,包括:底盘,所述底盘的顶部设置有密封架,且底盘的中心处嵌设有进料粗管;所述密封架的上方设置有顶架,所述顶架和密封架之间设置有驱动组件,且密封架的内腔设置有调节组件;所述顶架的一侧连通有第一密封筒,所述第一密封筒和顶架的内腔设置有加压组件,且密封架内腔的上方设置有导流组件。该还原炉底盘物料分配装置,根据实际需求,对还原炉内硅棒上多晶硅的生长空间进行适应性调节,利于各硅棒上多晶硅的生长工作,同时也能对进入还原炉内的物料进行导流处理,进一步减少物料浪费的同时,再次提高多晶硅的生产效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及还原炉,具体而言,涉及还原炉底盘物料分配装置


技术介绍

1、目前,多晶硅的制备多采用改良西门子法,即从还原炉底部的底盘上设置的喷嘴向还原炉内通入三氯氢硅和氢气,然后在通电的硅棒上进行气相沉积反应生成多晶硅;硅棒通过设置于电极上而实现通电,电极一般呈蜂窝状或同心圆排布于底盘上。

2、在物料进入还原炉内后,物料在通电状态的硅棒上沉淀附着,随着时间推移,生长出的多晶硅会越来越多,而硅棒的直径也会越来越大,由于传统还原炉内的硅棒位置,基本为固定式设置,不能根据实际需求,对还原炉内硅棒上多晶硅的生长空间进行适应性调节,导致各硅棒上的多晶硅之间发生粘连影响,增多无定型硅的析出量,浪费物料的同时,也降低多晶硅的生产效率;

3、且一般还原炉底盘物料进口分布在底盘多个地方,出口在底盘中心,会导致物料大量从进口进去,出口出来,不能对进入还原炉内的物料进行导流处理,导致物料与硅棒之间不能充分发生沉淀反应,进一步造成物料大量浪费,再次导致其生产效率低下。


技术实现思路

1、本申请旨在至少解决现有技术中存在不能根据实际需求,对还原炉内硅棒上多晶硅的生长空间进行适应性调节,同时也不能对进入还原炉内的物料进行导流处理的技术问题。为此,本申请提出还原炉底盘物料分配装置。

2、根据本申请实施例的还原炉底盘物料分配装置,包括:底盘,所述底盘的顶部设置有密封架,且底盘的中心处嵌设有进料粗管;

3、所述密封架的上方设置有顶架,所述顶架和密封架之间设置有驱动组件,且密封架的内腔设置有调节组件;

4、所述顶架的一侧连通有第一密封筒,所述第一密封筒和顶架的内腔设置有加压组件,且密封架内腔的上方设置有导流组件。

5、优选的,所述驱动组件包括双头电机,所述双头电机固定在密封架和顶架之间,且双头电机的一根输出轴内嵌设有电动推杆,所述电动推杆的活塞杆固定连接有卡头,且卡头远离电动推杆的一侧设置有卡座,所述卡座的底部固定连接有短型丝杆,且短型丝杆的表壁螺纹连接有丝杆套。

6、优选的,所述调节组件包括t型导轨,所述t型导轨开设在底盘顶部的四周,且进料粗管四周的底端均开设有t型滑槽,所述丝杆套外壁的四周均固定连接有与密封架和进料粗管滑动配合的长型细杆,且长型细杆的底部固定连接有与t型滑槽滑动配合的t型滑块,所述t型滑块的外侧铰接有支臂;

7、且支臂的另一侧铰接有与t型导轨滑动配合的t型滑座,所述t型滑座的顶部固定连接有与密封架配合使用的一级电极硅棒。

8、优选的,所述加压组件包括大转轮,所述大转轮固定在双头电机的另一根输出轴上,且大转轮顶部的一侧固定连接有转头,且转头的表壁转动连接有连杆,所述连杆的另一侧铰接有与第一密封筒滑动配合的活塞,且第一密封筒的出口连通有加压管,所述加压管的末端连通有环形储气管,且环形储气管的三个出口连通有角管,所述环形储气管顶部的两端均连通有泄压管,且泄压管上设置有泄压阀。

9、优选的,所述导流组件包括第二密封筒,三组所述第二密封筒连通在角管的末端上,且第二密封筒的内腔滑动连接有与密封架滑动配合的t型滑杆,三组所述t型滑杆的外表面套设有与第二密封筒配合使用的缓冲弹簧,且t型滑杆的底部固定连接有导流罩,所述导流罩底部的中心处开设有缓存槽,且导流罩底部的四周均开设有与缓存槽和进料粗管配合使用的导流槽。

10、优选的,所述进料粗管远离t型滑槽的四周均开设有与一级电极硅棒配合使用的均流孔,且均流孔沿进料粗管的中轴线呈向下倾斜状态分布。

11、优选的,所述进料粗管的底端连通有进料细管,且进料细管的入口连通有进料头,所述进料头的内腔固定连接有隔板,且进料头内腔的两侧分别设置有氢气通道和三氯氢硅通道。

12、优选的,所述底盘靠近t型导轨的一侧开设有排气口,且排气口的底端连通有排气支管。

13、优选的,所述排气支管的外端连通有集气总管,且集气总管的三个出口连通有尾气排放管。

14、优选的,所述密封架四周的底部均开设有取料口,且取料口上设置有取料门。

15、本申请的有益效果是:在对多晶硅生产时,先控制驱动组件的电动推杆开启并对卡头的行程位置进行调节,使卡头下移卡至卡座上并连为一体后,再由双头电机提供统一驱动来源,并带动短型丝杆上的丝杆套进行升降位移,再由升降位移的丝杆套带动调节组件的若干组长型细杆通过若干组支臂带动若干组t型滑座上的一级电极硅棒随之位移调节,对若干组一级电极硅棒的间距位置实现适应性调节效果,以防一级电极硅棒上沉淀附着的多晶硅直径逐步增大,导致其发生粘连,减少无定型硅的产生,为多晶硅提供充足生长空间,减少物料浪费的同时,也提高多晶硅的生产效率,在物料进入还原炉时,先由加压组件的大转轮带动连杆上的活塞在第一密封筒内进行往复做功并产生加压气体,并由加压管供入环形储气管内进行暂存,再由三组角管供入导流组件的三组第二密封筒的上方空腔内,在压强力作用下,迫使三组t型滑杆带动导流罩下移至预定高度,并由缓存槽和导流槽的配合,对进料粗管喷出的物料气体进行下压扰流至若干组一级电极硅棒区域,使其与物料气体充分接触并发生沉淀反应,进一步减少物料浪费的同时,再次提高多晶硅的生产效率。

16、本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出,部分将从下面的描述中变得明显,或通过本申请的实践了解到。

本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,包括:底盘(1),所述底盘(1)的顶部设置有密封架(2),且底盘(1)的中心处嵌设有进料粗管(3);

2.根据权利要求1所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述驱动组件(5)包括双头电机(51),所述双头电机(51)固定在密封架(2)和顶架(4)之间,且双头电机(51)的一根输出轴内嵌设有电动推杆(52),所述电动推杆(52)的活塞杆固定连接有卡头(53),且卡头(53)远离电动推杆(52)的一侧设置有卡座(54),所述卡座(54)的底部固定连接有短型丝杆(55),且短型丝杆(55)的表壁螺纹连接有丝杆套(56)。

3.根据权利要求2所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述调节组件(6)包括T型导轨(61),所述T型导轨(61)开设在底盘(1)顶部的四周,且进料粗管(3)四周的底端均开设有T型滑槽(62),所述丝杆套(56)外壁的四周均固定连接有与密封架(2)和进料粗管(3)滑动配合的长型细杆(63),且长型细杆(63)的底部固定连接有与T型滑槽(62)滑动配合的T型滑块(64),所述T型滑块(64)的外侧铰接有支臂(65);

4.根据权利要求2所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述加压组件(8)包括大转轮(81),所述大转轮(81)固定在双头电机(51)的另一根输出轴上,且大转轮(81)顶部的一侧固定连接有转头,且转头的表壁转动连接有连杆(82),所述连杆(82)的另一侧铰接有与第一密封筒(7)滑动配合的活塞(83),且第一密封筒(7)的出口连通有加压管(84),所述加压管(84)的末端连通有环形储气管(85),且环形储气管(85)的三个出口连通有角管(86),所述环形储气管(85)顶部的两端均连通有泄压管(87),且泄压管(87)上设置有泄压阀。

5.根据权利要求4所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述导流组件(9)包括第二密封筒(91),三组所述第二密封筒(91)连通在角管(86)的末端上,且第二密封筒(91)的内腔滑动连接有与密封架(2)滑动配合的T型滑杆(92),三组所述T型滑杆(92)的外表面套设有与第二密封筒(91)配合使用的缓冲弹簧(93),且T型滑杆(92)的底部固定连接有导流罩(94),所述导流罩(94)底部的中心处开设有缓存槽(95),且导流罩(94)底部的四周均开设有与缓存槽(95)和进料粗管(3)配合使用的导流槽(96)。

6.根据权利要求1所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述进料粗管(3)远离T型滑槽(62)的四周均开设有与一级电极硅棒(67)配合使用的均流孔(11),且均流孔(11)沿进料粗管(3)的中轴线呈向下倾斜状态分布。

7.根据权利要求1所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述进料粗管(3)的底端连通有进料细管(12),且进料细管(12)的入口连通有进料头(13),所述进料头(13)的内腔固定连接有隔板,且进料头(13)内腔的两侧分别设置有氢气通道和三氯氢硅通道。

8.根据权利要求1所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述底盘(1)靠近T型导轨(61)的一侧开设有排气口(14),且排气口(14)的底端连通有排气支管(15)。

9.根据权利要求8所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述排气支管(15)的外端连通有集气总管(16),且集气总管(16)的三个出口连通有尾气排放管(17)。

10.根据权利要求1所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述密封架(2)四周的底部均开设有取料口,且取料口上设置有取料门(18)。

...

【技术特征摘要】

1.还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,包括:底盘(1),所述底盘(1)的顶部设置有密封架(2),且底盘(1)的中心处嵌设有进料粗管(3);

2.根据权利要求1所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述驱动组件(5)包括双头电机(51),所述双头电机(51)固定在密封架(2)和顶架(4)之间,且双头电机(51)的一根输出轴内嵌设有电动推杆(52),所述电动推杆(52)的活塞杆固定连接有卡头(53),且卡头(53)远离电动推杆(52)的一侧设置有卡座(54),所述卡座(54)的底部固定连接有短型丝杆(55),且短型丝杆(55)的表壁螺纹连接有丝杆套(56)。

3.根据权利要求2所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述调节组件(6)包括t型导轨(61),所述t型导轨(61)开设在底盘(1)顶部的四周,且进料粗管(3)四周的底端均开设有t型滑槽(62),所述丝杆套(56)外壁的四周均固定连接有与密封架(2)和进料粗管(3)滑动配合的长型细杆(63),且长型细杆(63)的底部固定连接有与t型滑槽(62)滑动配合的t型滑块(64),所述t型滑块(64)的外侧铰接有支臂(65);

4.根据权利要求2所述的还原炉底盘物料分配装置,其特征在于,所述加压组件(8)包括大转轮(81),所述大转轮(81)固定在双头电机(51)的另一根输出轴上,且大转轮(81)顶部的一侧固定连接有转头,且转头的表壁转动连接有连杆(82),所述连杆(82)的另一侧铰接有与第一密封筒(7)滑动配合的活塞(83),且第一密封筒(7)的出口连通有加压管(84),所述加压管(84)的末端连通有环形储气管(85),且环形储气管(85)的三个出口连通有角管(86),所述环形储气管(85)顶部的两端均连通有泄压管(87),且泄压管(87)上...

【专利技术属性】
技术研发人员:周正平
申请(专利权)人:内蒙古耀煜新能源科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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