【技术实现步骤摘要】
本技术涉及夹持组件的，特别是涉及一种晶圆清洗腔夹持组件。
技术介绍
1、晶圆清洗腔夹持组件是安装清洗机内部夹持晶圆，以便后续晶圆进行清洗的辅助机构，经检索公告号为cn214203657u的专利文件中，提供了一种半导体晶圆清洗用夹持装置，包括底座，所述底座的顶端对称设置有立板一和立板二，所述立板一的上部内侧设置有槽口，所述槽口内转动设置有转块，所述转块的内部设置有内腔，所述内腔内设置有压缩弹簧，所述压缩弹簧的另一端设置有连接杆，所述连接杆的另一端设置有夹持半圆盘一，所述立板二的上部内侧与所述转块相对称的位置设置有固定杆，所述固定杆的端部设置有与所述夹持半圆盘一相匹配的夹持半圆盘二，所述夹持半圆盘一与所述夹持半圆盘二的内部均设置有夹持卡槽，所述夹持卡槽内均设置有转动辊，所述夹持半圆盘一与所述夹持半圆盘二的内壁均设置有若干刷毛，所述转块远离所述连接杆的一端设置有插口，所述立板一上设置有与所述插口相对应的插孔，所述插口内设置有插杆，所述插杆贯穿插孔并延伸至所述立板一的外侧但其使用过程中发现，上述装置需要工作人员手动调节夹持半圆盘一的位置进行晶圆的安装固定，费时费力，同时插杆在弹簧的反作用力下容易从插口内脱落，导致夹持半圆盘一的固定不稳定，导致装置整体的使用效果较差，固提供一种晶圆清洗腔夹持组件解决上述问题。
技术实现思路
1、为解决上述技术问题，本技术提供一种既避免了人工手动固定晶圆，又提高了晶圆夹持固定的稳定性，提高其整体使用效果的晶圆清洗腔夹持组件。
2、本技术的一种晶圆清
3、优选的，动力机构包括电机、第一齿轮、第二齿轮、转动轴和两组第二固定块，电机固定在清洗机主体的后端中部，电机的输出端与第一齿轮连接，并且第一齿轮与第二齿轮啮合传动连接，第二齿轮固定在转动轴的中部，并且转动轴与两组第二固定块转动连接，转动轴可驱动传动机构，并且两组第二固定块分别对称固定在清洗机主体后端的左右两侧；通过电机带动第一齿轮转动，第一齿轮与第二齿轮啮合传动连接，从而使得转动轴转动，并通过转动轴驱动传动机构，使得传动机构带动弧形夹持块移动，为弧形夹持块的移动提供动力。
4、优选的，传动机构包括多组链轮、两组链条、两组螺套、两组螺杆、两组连接块和两组滑动杆，多组链轮分别固定在转动轴的左右两端以及两组螺套上，同侧的两组链轮之间通过链条传动连接，并且螺套与第一固定块转动连接，螺杆与螺套螺装连接，连接块固定在螺杆的外侧端，并且滑动杆固定在连接块内侧端的前侧，滑动杆与第一固定块滑动连接，并且螺杆和滑动杆的内侧端均与弧形夹持块连接；通过转动轴带动链轮转动，同侧的两组链轮之间通过链条传动连接，从而使得两组螺套同时转动，并使得螺杆在连接块和滑动杆的配合使用下，带动弧形夹持块向内侧移动，通过两组弧形夹持块的配合完成晶圆的加持固定，为弧形夹持块的移动传递动力。
5、优选的，还包括两组直角加强块，两组直角加强块分别对称固定在第一固定块的外侧端，并且两组直角加强块分别与两组螺套转动连接；通设置直角加强块，确保螺套转动时的稳定性，提高装置的结构强度。
6、优选的，还包括两组橡胶垫，两组橡胶垫分别固定在两组弧形夹持块的内侧壁上；通过设置橡胶垫，增加弧形夹持块与晶圆之间的摩擦力，进一步提高弧形夹持块对晶圆夹持固定时的稳定性。
7、优选的，电机为消音电机；通过设置消音电机，减小噪音污染，提高装置的使用稳定性。
8、优选的，第一齿轮与第二齿轮之间涂有润滑油；通过涂抹润滑油，减小第一齿轮与第二齿轮之间的摩擦损耗，提高装置的使用寿命。
9、与现有技术相比本技术的有益效果为：通过动力机构驱动传动机构，使得传动机构带动两组弧形夹持块向内侧移动，并且通过两组弧形夹持块的配合使用实现对晶圆的夹持固定，既避免了人工手动固定晶圆，又提高了晶圆夹持固定的稳定性，提高了装置整体的使用效果。
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1.一种晶圆清洗腔夹持组件，包括清洗机主体(1)和两组弧形夹持块(2)，清洗机主体(1)内部设置有清洗腔，两组弧形夹持块(2)均为清洗机主体(1)的清洗腔内，其特征在于，还包括动力机构、传动机构和两组第一固定块(3)，动力机构安装在清洗机主体(1)的后端，动力机构用于驱动传动机构，传动机构安装在第一固定块(3)上，传动机构用于带动弧形夹持块(2)左右移动，并且两组第一固定块(3)对称安装在清洗机主体(1)清洗腔后端的左右两侧。
2.如权利要求1所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，动力机构包括电机(4)、第一齿轮(5)、第二齿轮(6)、转动轴(7)和两组第二固定块(8)，电机(4)固定在清洗机主体(1)的后端中部，电机(4)的输出端与第一齿轮(5)连接，并且第一齿轮(5)与第二齿轮(6)啮合传动连接，第二齿轮(6)固定在转动轴(7)的中部，并且转动轴(7)与两组第二固定块(8)转动连接，转动轴(7)可驱动传动机构，并且两组第二固定块(8)分别对称固定在清洗机主体(1)后端的左右两侧。
3.如权利要求1所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，传动机构包
4.如权利要求3所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，还包括两组直角加强块(15)，两组直角加强块(15)分别对称固定在第一固定块(3)的外侧端，并且两组直角加强块(15)分别与两组螺套(11)转动连接。
5.如权利要求1所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，还包括两组橡胶垫(16)，两组橡胶垫(16)分别固定在两组弧形夹持块(2)的内侧壁上。
6.如权利要求2所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，电机(4)为消音电机。
7.如权利要求2所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，第一齿轮(5)与第二齿轮(6)之间涂有润滑油。
...【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗腔夹持组件，包括清洗机主体(1)和两组弧形夹持块(2)，清洗机主体(1)内部设置有清洗腔，两组弧形夹持块(2)均为清洗机主体(1)的清洗腔内，其特征在于，还包括动力机构、传动机构和两组第一固定块(3)，动力机构安装在清洗机主体(1)的后端，动力机构用于驱动传动机构，传动机构安装在第一固定块(3)上，传动机构用于带动弧形夹持块(2)左右移动，并且两组第一固定块(3)对称安装在清洗机主体(1)清洗腔后端的左右两侧。
2.如权利要求1所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，动力机构包括电机(4)、第一齿轮(5)、第二齿轮(6)、转动轴(7)和两组第二固定块(8)，电机(4)固定在清洗机主体(1)的后端中部，电机(4)的输出端与第一齿轮(5)连接，并且第一齿轮(5)与第二齿轮(6)啮合传动连接，第二齿轮(6)固定在转动轴(7)的中部，并且转动轴(7)与两组第二固定块(8)转动连接，转动轴(7)可驱动传动机构，并且两组第二固定块(8)分别对称固定在清洗机主体(1)后端的左右两侧。
3.如权利要求1所述的一种晶圆清洗腔夹持组件，其特征在于，传动机构包括多组链轮(9)、两组链条(10)、两组螺套(11)、两...
【专利技术属性】
技术研发人员：王亮，邵淑兰，章晓丹，史小旖，
申请(专利权)人：众芯联达半导体科技大连有限公司，
类型：新型
国别省市：
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