一种液冷碳化硅反射镜结构制造技术

一种液冷碳化硅反射镜结构，属于碳化硅反射镜技术领域。解决了现有技术中，高功率激光应用情况下，反射镜温度迅速升高，且热变形较大的技术问题。本发明专利技术的液冷碳化硅反射镜结构，包括碳化硅基体、出口插头、腔体密封板、入口密封板、入口插头、出口密封板和冷却液。该反射镜的镜体采用碳化硅材料，并在背面设有液冷通道，在高功率激光辐照的情况下，基于碳化硅材料的高导热性，将镜面热量迅速传导至背面，进而通过冷却液的高粘热性带走热量，因此能够抑制镜面的温升，减小镜体的温度梯度，从而保证反射镜能维持较高的面形精度，且该反射镜结构紧凑可靠，冷却效率高，尤其适用于高功率高斯激光的光学系统中。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于碳化硅反射镜，具体涉及一种液冷碳化硅反射镜结构，尤其适用于高功率激光应用情况。

技术介绍

1、激光发射望远镜负责将高功率激光扩束并发射至目标，光学反射镜是激光发射望远镜的核心部件。随着激光器技术，特别是光纤激光器技术的进步，激光发射功率不断提高，作用在光学反射镜上的激光功率密度可达数十kw/cm2，这样高强度的激光入射会导致反射镜温度迅速升高，使镜体产生较大的温度梯度并产生热变形，反射镜的面形精度会急剧下降，最终导致激光发射望远镜的出射光束质量退化，严重影响系统的光学性能。

技术实现思路

1、本专利技术的目的是解决现有技术中，高功率激光应用情况下，反射镜温度迅速升高，且热变形较大的技术问题，提供一种液冷碳化硅反射镜结构，该液冷碳化硅反射镜结构，通过冷却液在碳化硅反射镜内的循环流动，将碳化硅反射镜吸收的热量带走，从而抑制碳化硅反射镜温升，提高碳化硅反射镜的面形精度，进而保证系统光束质量。

2、本专利技术解决上述技术问题采取的技术方案如下。

3、本专利技术提供一种液冷碳化硅反本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种液冷碳化硅反射镜结构，其特征在于，包括碳化硅基体(1)、出口插头(2)、腔体密封板(3)、入口密封板(4)、入口插头(5)、出口密封板(6)和冷却液(7)；

2.根据权利要求1所述的一种液冷碳化硅反射镜结构，其特征在于，所述镜体的精度优于2nm，最内层的圆环形筋板的圆柱度优于0.005mm。

3.根据权利要求1所述的一种液冷碳化硅反射镜结构，其特征在于，所述轻量化腔结构由从内至外依次设置的四个圆环形筋板组成，位于最内层的为第一个圆环形筋板，第二个圆环形筋板与第一个圆环形筋板之间设有六个第一立筋板，均分出六个扇形腔，第三个圆环形筋板与第二个圆环形筋板之间设有...

【技术特征摘要】

1.一种液冷碳化硅反射镜结构，其特征在于，包括碳化硅基体(1)、出口插头(2)、腔体密封板(3)、入口密封板(4)、入口插头(5)、出口密封板(6)和冷却液(7)；

2.根据权利要求1所述的一种液冷碳化硅反射镜结构，其特征在于，所述镜体的精度优于2nm，最内层的圆环形筋板的圆柱度优于0.005mm。

3.根据权利要求1所述的一种液冷碳化硅反射镜结构，其特征在于，所述轻量化腔结构由从内至外依次设置的四个圆环形筋板组成，位于最内层的为第一个圆环形筋板，第二个圆环形筋板与第一个圆环形筋板之间设有六个第一立筋板，均分出六个扇形腔，第三个圆环形筋板与第二个圆环形筋板之间设有十二个第二立筋板，均分出十二个扇形腔，第四个圆环形筋板与第三个圆环形筋板之间设有十八个第三立筋板，均分出十八个扇形腔，且第一立筋板、第二立筋板和第三立筋板分别有六个在同一条直接线上，其中三条直线将镜体(1-1)的背面均分为三个120°的扇形区域，每个120°的扇形区域对应的第一个圆环形筋板上设有第一通孔，对应的第二个圆环形筋板上设有第二通孔，且第二通孔与第一通孔分别与两个扇形腔连通，且所述两个扇形腔之间的立筋板上设有第三通孔，对应的第二个圆环形筋板和第...

【专利技术属性】
技术研发人员：张岩，王建立，陈宝刚，刘杰，范文强，王洪浩，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：