下载一种液冷碳化硅反射镜结构的技术资料

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一种液冷碳化硅反射镜结构,属于碳化硅反射镜技术领域。解决了现有技术中,高功率激光应用情况下,反射镜温度迅速升高,且热变形较大的技术问题。本发明的液冷碳化硅反射镜结构,包括碳化硅基体、出口插头、腔体密封板、入口密封板、入口插头、出口密封板和冷...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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