本发明专利技术公开了一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，包括如下步骤：步骤1：棱镜在冷加工阶段面型加工成凹面，使镀膜后受应力的影响补偿凸起的面型差；步骤2：冷加工完成后，在棱镜直角面镀减反介质膜，减少入射和出射面反射达到提高透过率；步骤3：棱镜斜面镀分束消偏振介质膜；步骤4：棱镜胶合，棱镜胶合不使用整面胶合方案，使分束介质膜空气入射；步骤5：通过分光光谱仪和光斑测试仪测试棱镜各项性能，判定指标是否达到要求。该高精度消偏振光学棱镜制作方法，实现了光束波长透反高陡度分离和消除偏振，并且保持了棱镜高面型精度。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学元器件，具体为一种高精度消偏振光学棱镜制作方法。
技术介绍
1、光学棱镜，目前主要应用于干涉仪、激光通信、航空航天、医疗、经纬仪等领域，使用波段350-1600nm，棱镜主要分色散棱镜、反射棱镜、旋转棱镜、偏移棱镜，但在某些高精密设备仪器内，在光源不明确ps光比例或要求在不改变光束偏振情况下则需要使用消偏振棱镜。
2、目前技术难点主要在棱镜是使用两个三角棱镜胶合起来的，光束经过斜面介质分束膜前，光需要经过胶合胶水入射后到达介质分束膜，因入射介质发生改变，导致光束ps光分离，消除偏振难度非常大，并且斜面介质膜一般是大角度45°入射，在要求光束波长透反高陡度分离情况下并实现透射和反射消除偏振更是难上加难。若反射光应用距离较远，还需要高面型精度，但在为了实现棱镜消偏振、光束透反分离则需要在棱镜表面镀上100-20000nm介质膜，介质膜因应力的影响导致面型变化非常大。在完成光束波长透反高陡度分离并且还需要消除偏振的情况下还要保证面型精度，更是将工艺难度上升更高的一个台阶。
3、故亟需设计一种高精度消偏振光学棱镜制作方法。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，以解决上述
技术介绍
中提出的技术问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，包括如下步骤：
3、步骤1：棱镜在冷加工阶段面型加工成凹面，使镀膜后受应力的影响补偿凸起的面型差；
>4、步骤2：冷加工完成后，在棱镜直角面镀减反介质膜，减少入射和出射面反射达到提高透过率；5、步骤3：棱镜斜面镀分束消偏振介质膜，通过光学薄膜设计软件计算出所需蒸镀的膜层层数和厚度达到光学指标效果，利用蒸发镀机或磁控溅射机使用高低折射率材料来回叠加不同膜厚实现光谱要求；
6、步骤4：棱镜胶合，棱镜胶合不使用整面胶合方案，使分束介质膜空气入射，其主要内容为，制作棱镜胶合固定治具，在第一个三角棱镜大面表面四周手动涂抹uv胶水，胶水进胶量需＜0.5mm，胶水涂抹后将第二个三角棱镜通过治具对位胶合在第一个三角棱镜大面形成一个正立方体，通过uv灯照射胶水使胶水固化结合，然后使用烤箱进行烘烤；
7、步骤5：通过分光光谱仪和光斑测试仪测试棱镜各项性能，判定指标是否达到要求。
8、优选的，所述步骤(1)中主要工序为冷加工工序，固定夹具和磨盘需按预设参数设计，前期需试镀介质膜测试表面会凸出多少高度，然后调整棱镜冷加工参数。
9、优选的，所述步骤(2)中主要内容为通过光学薄膜设计软件计算出所需蒸镀的膜层厚度，使反射率r≤0.2％，使用蒸镀机通过电子枪的作用高温熔化所需镀的膜材，在棱镜表面蒸镀上预设定的膜材达到减少棱镜表面反射的作用，提高入射和出射的透过率。
10、优选的，所述步骤(3)中成膜结束后通过反射测试仪测试表面光谱情况判定指标是否合格。
11、优选的，所述主要参数为透过率波段和反射率波段反射值需要在合格范围内，p光和s光蓝移＜0.5nm，透过率反射率≥95％，列：t790-850 t≥95％r770-750r≥95％@45°入射&p光s光都需要满足。
12、优选的，所述步骤(4)中只胶合棱镜四周0.5mm区域，烤箱为85±5℃烘烤2h使胶水完全结合。
13、优选的，所述步骤(5)中主要测试指标有：1、表面透过面型和反射面型、2、透反波段透过率和反射率3、光斑传输形变量、4、外观。
14、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：该一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，实现了光束波长透反高陡度分离和消除偏振，并且保持了棱镜高面型精度，本工艺可实现棱镜指标，ps光消偏振蓝移≤0.5nm，高陡度透反分离，透过率反射率达995％以上，棱镜表面面型≤1/10pv@623.8nm。
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【技术保护点】
1.一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于：所述步骤(1)中主要工序为冷加工工序，固定夹具和磨盘需按预设参数设计，前期需试镀介质膜测试表面会凸出多少高度，然后调整棱镜冷加工参数。
3.根据权利要求1所述的一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于：所述步骤(2)中主要内容为通过光学薄膜设计软件计算出所需蒸镀的膜层厚度，使反射率R≤0.2％，使用蒸镀机通过电子枪的作用高温熔化所需镀的膜材，在棱镜表面蒸镀上预设定的膜材达到减少棱镜表面反射的作用，提高入射和出射的透过率。
4.根据权利要求1所述的一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于：所述步骤(3)中成膜结束后通过反射测试仪测试表面光谱情况判定指标是否合格。
5.根据权利要求4所述的一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于：所述主要参数为透过率波段和反射率波段反射值需要在合格范围内，P光和S光蓝移＜0.5nm，透过率反射率≥95％，列：T790-850 T≥95％R770-750R≥95％@45°入射&P光S光都需要满足。
6.根据权利要求1所述的一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于：所述步骤(4)中只胶合棱镜四周0.5mm区域，烤箱为85±5℃烘烤2H使胶水完全结合。
7.根据权利要求1所述的一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于：所述步骤(5)中主要测试指标有：1、表面透过面型和反射面型、2、透反波段透过率和反射率3、光斑传输形变量、4、外观。
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【技术特征摘要】
1.一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于，包括如下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于：所述步骤(1)中主要工序为冷加工工序，固定夹具和磨盘需按预设参数设计，前期需试镀介质膜测试表面会凸出多少高度，然后调整棱镜冷加工参数。
3.根据权利要求1所述的一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于：所述步骤(2)中主要内容为通过光学薄膜设计软件计算出所需蒸镀的膜层厚度，使反射率r≤0.2％，使用蒸镀机通过电子枪的作用高温熔化所需镀的膜材，在棱镜表面蒸镀上预设定的膜材达到减少棱镜表面反射的作用，提高入射和出射的透过率。
4.根据权利要求1所述的一种高精度消偏振光学棱镜制作方法，其特征在于：所述步骤(3)中成膜结束后通过反射...
【专利技术属性】
技术研发人员：尹高明，
申请(专利权)人：东莞市德俊光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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