【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于稀土金属靶材领域，尤其是涉及一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置。
技术介绍
1、传统稀土金属靶材坯体的制备方法大致为：先用稀土金属熔融后，经真空甩带炉制片，粉碎后经球磨制粉，再进入热压炉进行压制成型，属于传统的粉末冶金制取。此传统冶金的制备方法的缺点是：生产成本高，工序多周期长，并且制成的管状靶材，圆周内表面常常会出现凹凸不平的情况出现，这会影响使用效果。
2、而目前的冶炼浇铸工艺是将金属直接熔融浇铸制取靶材坯料，这种工艺的靶材坯体料加工成靶材的成品率非常低，主要原因体现在靶材的内部结构，并不适合应用于工厂的规模生产。这种制备方法的虽然降低了产品制程，但同时降低了靶材成品的合格率，无法规模生产。
技术实现思路
1、有鉴于此，本专利技术旨在提出一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置及制备方法，与传统粉末冶金工艺相比要大大缩短产品制程和降低成本，与冶炼浇铸工艺相比要大大的提高了靶材成品的良品率。
2、为达到上述目的，本专利技术的技术方案是这样实现的：
<...【技术保护点】
1.一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置，其特征在于：包括真空感应设备和安装在真空感应设备内的轨道组件、转动组件、翻板组件、离心组件；
2.根据权利要求1所述的一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置，其特征在于：所述轨道组件包括轨道架和轨道本体；轨道架和轨道本体均为圆形结构；
3.根据权利要求2所述的一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置，其特征在于：所述转动组件包括转动底板、转动电机、转动滑轮组；转动底板的下表面安装转动滑轮组和转动电机；
4.根据权利要求3所述的一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置，其特征在于：所述转动滑轮组至少设置4组，每...
【技术特征摘要】
1.一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置，其特征在于：包括真空感应设备和安装在真空感应设备内的轨道组件、转动组件、翻板组件、离心组件；
2.根据权利要求1所述的一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置，其特征在于：所述轨道组件包括轨道架和轨道本体；轨道架和轨道本体均为圆形结构；
3.根据权利要求2所述的一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置，其特征在于：所述转动组件包括转动底板、转动电机、转动滑轮组；转动底板的下表面安装转动滑轮组和转动电机；
4.根据权利要求3所述的一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置，其特征在于：所述转动滑轮组至少设置4组，每一组转动滑轮组至少设有两个同轴设置滑轮本体；每一个混轮本体的圆周表面设有一个限位槽；限位槽与轨道本体的限位条相对应，实现对转动滑轮组的限位。
5.根据权利要求1所述的一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置，其特征在于：所述翻板组件包括翻板电机、驱动翻板齿轮、从动翻板齿轮、翻转板、一号卡盘；
6.根据权利要求5所述的一种稀土金...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨培生，林平，杨树峰，郭树一，窦金健，
申请(专利权)人：中天捷晟天津新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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