下载一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置及制备方法的技术资料

文档序号:39943812

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本发明提供了一种稀土金属管状靶材坯体的生产装置及制备方法,包括真空感应设备和安装在真空感应设备内的轨道组件、转动组件、翻板组件、离心组件;所述轨道组件通过若干支柱安装至真空感应设备的底部;所述转动组件安装至轨道组件上,且能够在轨道组件上转动...
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