一种推片装置制造方法及图纸

本申请公开了一种推片装置，涉及半导体材料退火装片技术领域，包括推片件；推片件可贴着石英管的内壁活动伸入石英管中，且伸入的一端设有供材料片卡入的卡槽。通过在推片件活动伸入石英管的一端设置供材料片插入的卡槽，能够对材料片起到定位作用，进而可以通过转动推片件或转动石英管以调整材料片的角度，从而能够很好地规避豁口结构，而且对于对两个材料片的装入情况来说，不仅能够顺利地将两个材料片装入石英管，也能够很好地控制两个材料片之间的夹角关系，提高了装片效率。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及半导体材料退火装片，尤其涉及一种推片装置。

技术介绍

1、半导体材料闭管退火是半导体材料电学性能优化的重要工序之一，工序中，需要对石英管进行装片操作。如图1所示，常见的石英管(100)为防止管塞掉落砸碎材料片(200)，会设计豁口结构(101)，而豁口结构(101)的设计会影响到退火装片操作，使得在装片的过程中，需要将材料片(200)以规避豁口结构的状态送入，然而现有的装片用工具只能简单地将材料片(200)推入石英管中(100)，无法灵活调整材料片(200)的角度以规避豁口结构(101)，导致装片效率低；特别对于需要装入两个材料片(200)且第一个材料片(201)与第二个材料片(202)在石英管(100)中分布角度有一定要求的情况，装片效率更低。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请的目的是提供一种推片装置，以提升装片效率。

2、为达到上述技术目的，本申请提供了一种推片装置，包括推片件；

3、所述推片件可贴着石英管的内壁活动伸入石英管中，且伸入的一端设有供材料片卡入的卡槽。...

【技术保护点】

1.一种推片装置，其特征在于，包括推片件(1)；

2.根据权利要求1所述的一种推片装置，其特征在于，所述推片件(1)呈棒状。

3.根据权利要求1所述的一种推片装置，其特征在于，所述卡槽(11)为开设于所述推片件(1)的一端上的凹槽部；

4.根据权利要求2所述的一种推片装置，其特征在于，所述推片件(1)的长度为400mm～1000mm，直径为5mm～30mm。

5.根据权利要求3所述的一种推片装置，其特征在于，所述卡槽(11)的深度为1mm～10mm，宽度为1mm～30mm；

6.根据权利要求1所述的一种推片装置，其特征在于，所述...

【技术特征摘要】

1.一种推片装置，其特征在于，包括推片件(1)；

2.根据权利要求1所述的一种推片装置，其特征在于，所述推片件(1)呈棒状。

3.根据权利要求1所述的一种推片装置，其特征在于，所述卡槽(11)为开设于所述推片件(1)的一端上的凹槽部；

4.根据权利要求2所述的一种推片装置，其特征在于，所述推片件(1)的长度为400mm～1000mm，直径为5mm～30mm。

5.根据权利要求3所述的一种推片装置，其特征在于，所述卡槽(11)的深度为1mm～10mm，宽度为1mm～30mm；

6.根据权利要求1所述的一种推片装置，其特征在于，所述卡槽(11)与材料...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴强强，付勇，王鑫，刘荣，崔强鑫，汪明龙，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：