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本申请公开了一种推片装置，涉及半导体材料退火装片技术领域，包括推片件；推片件可贴着石英管的内壁活动伸入石英管中，且伸入的一端设有供材料片卡入的卡槽。通过在推片件活动伸入石英管的一端设置供材料片插入的卡槽，能够对材料片起到定位作用，进而可以通...
该专利属于安徽光智科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽光智科技有限公司授权不得商用。

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