【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光学产品检验，具体来说，是一种物镜透射波前检验装置。
技术介绍
1、目前，众多光学设备制造商使用的光学配件多采用外协定制，比如半导体膜厚测量领域光机中使用的物镜，设备厂商希望对外协产品在到货后，能高效快速的进行透射波前检测，以尽快将产品用到设备端。高性能斐索激光干涉仪(以下简称干涉仪)能够满足高效快速的检测需求，可测量的物镜关键指标，如pv、rms、球差、慧差、像散和高阶等。实现这一测量，除了必须的干涉仪，还需一套装置搭建物镜测试辅助测量光路，辅助测量光路以干涉仪作为测量光源，该装置可将被测物镜准确切入干涉仪的辅助测量光路中，可获得较高的测量精度和测量重复性。专利号为cn201822275360.9的中国专利提出的方案能实现物镜透射波前的高效测试，但过程仍不够简化，干涉仪端在测量中仍需要更换使用两套参考镜，一套标准平面参考镜和一套标准球面参考镜，并没有解决不同外径物镜夹具的通用化，使用的五维调节架也较多，从操作简化和成本降低方面考虑，有着进一步优化空间，设备厂商希望检验有限的物镜参数，但需要操作快捷，测量可靠。
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【技术保护点】
1.一种物镜透射波前检验装置，包括安装于光学平台(41)上的干涉仪(10)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种物镜透射波前检验装置，其特征在于：所述二维调整架(24)安装有用于固定物镜(23)的物镜夹具(22)。
3.根据权利要求2所述的一种物镜透射波前检验装置，其特征在于：所述物镜夹具(22)包括：
4.根据权利要求3所述的一种物镜透射波前检验装置，其特征在于：所述夹持件设为尼龙球头螺钉(221)，所述尼龙球头螺钉(221)螺纹连接主体座(222)并抵靠物镜(23)外周侧。
5.根据权利要求3所述的一种...
【技术特征摘要】
1.一种物镜透射波前检验装置，包括安装于光学平台(41)上的干涉仪(10)，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的一种物镜透射波前检验装置，其特征在于：所述二维调整架(24)安装有用于固定物镜(23)的物镜夹具(22)。
3.根据权利要求2所述的一种物镜透射波前检验装置，其特征在于：所述物镜夹具(22)包括：
4.根据权利要求3所述的一种物镜透射波前检验装置，其特征在于：所述夹持件...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙思华，陆杨扬，熊金磊，朱强铭，
申请(专利权)人：睿励科学仪器上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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