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本技术公开了一种物镜透射波前检验装置,包括:安装于光学平台上的干涉仪;标准平面参考镜,其安装于干涉仪出射端口;二维调整架,其安装于光学平台上,物镜安装于二维调整架上;五维调整架,其安装于光学平台上;标准球面反射镜,其安装于五维调整架的迎光面...该专利属于睿励科学仪器(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过睿励科学仪器(上海)有限公司授权不得商用。
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