【技术实现步骤摘要】
本公开的实施例一般涉及石英管加工领域，并且更具体地，涉及一种薄壁石英管底盘加工装置及方法。
技术介绍
1、随着半导体行业的一度走红，石英制品的加工被再次推上了高潮，就目前壁薄石英筒类精密加工器件而言，目前大多采用底板固定加工，由于壁厚较薄，与底板之间的蜡层粘合力不足，长时间加工时脱盘破损概率非常大，产品报废率约为15％，脱盘的主要原因为产品壁厚较薄，小于5mm，上盘粘接面较少，加工中心加工时间长，加工切削油会腐蚀蜡层，最终导致加工完成后产品存在脱盘风险。
技术实现思路
1、为解决上述提出的技术问题，本专利技术提供一种薄壁石英管的底盘加工装置及方法，增大了待加工石英管与加工装置间的粘接面积和强度，简单方便，成本低，极大地降低了产品报废率，避免了脱盘破损情况的发生。
2、本专利技术的第一部分，提供了一种薄壁石英管的底盘加工装置，包括：底盘，其作为对待加工的薄壁石英管进行固定的底座；和固定环，其安装于底盘之上，在内周侧固定待加工的薄壁石英管，底盘和固定环之间，以及底盘和待加工的薄壁石英管之间可涂抹粘接蜡粘接固定，固定环内周壁与待加工的薄壁石英管的外周壁之间可填充粘接蜡粘接固定。
3、进一步的，固定环内周壁与待加工的薄壁石英管的外周壁之间具有4～6mm的间隙。
4、进一步的，固定环的厚度为10～11mm。
5、进一步的，固定环的壁厚为10～11mm。
6、本专利技术的第二部分，提供了一种薄壁石英管的底盘加工方法，采用上述的加工装置
7、进一步的，选用内径比待加工的石英管外径大、外径比待加工的底盘直径小的固定环，将固定环底部涂抹粘接蜡，粘接在底盘上，固定环的圆心与底盘的圆心重合；将待加工的薄壁石英管底部涂抹粘接蜡并放置在固定环内，与底盘粘接，待加工的薄壁石英管、固定环和底盘的圆心重合；在固定环的内周面与待加工的薄壁石英管的外周面的间隙处，灌入粘接蜡至蜡油与固定环的上表面平齐，将固定环的内周面与待加工的薄壁石英管外周壁间的间隙填满；待粘接蜡凝固后，对待加工的薄壁石英管进行加工。
8、进一步的，得到加工后的薄壁石英管、固定环和底盘的结合体，将结合体放进电烤炉中加热，粘接蜡融化至固定环和底盘从结合体脱落，整体加工完成。
9、本专利技术的有益效果为：
10、增大了薄壁石英管与底盘加工装置之间的粘接面积，成本低，操作简单，避免了薄壁石英管加工过程中脱盘破损情况的发生。
11、应当理解，
技术实现思路
部分中所描述的内容并非旨在限定本公开的实施例的关键或重要特征，亦非用于限制本公开的范围。本公开的其它特征将通过以下的描述变得容易理解。
【技术保护点】
1.一种薄壁石英管的底盘加工装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，
5.一种使用如权利要求1所述的加工装置对薄壁石英管的底盘加工方法，其特征在于，所述加工方法包括：
6.根据权利要求5所述的加工方法，其特征在于，包括以下步骤：
7.根据权利要求6所述的加工方法，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种薄壁石英管的底盘加工装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，
3.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，
4.根据权利要求1所述的加工装置，其特征在于，
【专利技术属性】
技术研发人员：陈富伦，刘明伟，李志尚，刘波涛，骆守兵，张东，
申请(专利权)人：连云港太平洋润辉光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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