六氟化钨尾气处理系统技术方案

本实用新型专利技术涉及尾气吸收技术领域，具体为一种六氟化钨尾气处理系统

【技术实现步骤摘要】
六氟化钨尾气处理系统


[0001]本技术涉及尾气吸收
，具体为一种六氟化钨尾气处理系统
。

技术介绍

[0002]六氟化钨是钨的氟化物中唯一稳定并被工业化生产的品种，它是电子工业中作为金属钨化学气相沉积
( CVD )
工艺的原材料，特别是用它制成的二硅化钨可用作大规模集成电路
( LSI )
中的配线材料
。
通过混合金属的化学气相沉积工艺制得的钨和铼的复合涂层，可用于制造
X
‑
射线的发射电极和太阳能吸收器
。
近年来，随着电子工业的不断发展和进步，对六氟化钨的需求量与日俱增
。
但是在六氟化钨的生产过程中会有部分尾气排出，且尾气中包含
WF6
有毒气体
。
处理过程需要消耗大量的水，并且污水中含有大量的重金属离子，需要达到国家标准后才可排放
。

技术实现思路

[0003]为了解决上述技术问题，本申请提供了一种六氟化钨尾气处理系统包括：
[0004]一级洗涤塔，所述一级洗涤塔设置在尾气处理系统的初段，一级洗涤塔内部设有喷淋盘，喷淋盘的下方设有导流板，一级洗涤塔用于使六氟化钨气体转化为
WO
42
‑
、F
‑
离子；
[0005]反应釜，所述反应釜连接在所述一级洗涤塔后，用于使
WO
42
‑
、F
‑
离子转换为沉淀；
[0006]一级过滤器，所述一级过滤器连接在所述反应釜后，用于沉淀滤出；
[0007]蒸发装置，所述蒸发装置连接在所述一级过滤器后，用于使溶液中的水分蒸出，产出中水；
[0008]所述蒸发装置与所述一级洗涤塔连接，用于使所述蒸发装置产出的中水输送回所述一级洗涤塔中
。
[0009]还包括污水中间储罐，所述污水中间储罐设置在所述一级过滤器与所述蒸发装置之间，所述污水中间储罐与所述一级过滤器
、
蒸发装置分别连接
。
[0010]还包括氯化钙溶解釜，所述氯化钙溶解釜连接在所述污水中间储罐后，所述氯化钙溶解釜还与所述反应釜连接
。
[0011]还包括中水储罐，所述中水储罐连接在所述蒸发装置后
。
[0012]还包括二级洗涤塔，二级洗涤塔设置在一级洗涤塔和反应釜之间，一级洗涤塔通过连接管道与二级洗涤塔相连，连接管道上设有单向阀，二级洗涤塔上设有补药口
。
单向阀只允许液体由一级洗涤塔流向二级洗涤塔
。
[0013]所述反应釜内部设有由搅拌电机驱动的搅拌桨，反应釜上设有加药口一
。
[0014]所述反应釜和污水中间储罐之间设有二级过滤器，导流板上设有通气孔
。
[0015]所述氯化钙溶解釜内设有搅拌装置，氯化钙溶解釜通过氯化钙溶解釜返回管道与反应釜相连
。
[0016]所述中水储罐通过溶解罐连接有回液泵，回液泵通过中水储罐返回管道与一级洗涤塔相连，中水储罐返回管道通过三通连接有补水管道，补水管道与二级洗涤塔相连，蒸发
装置的下方连接有废液出口，溶解罐上设有加药口二
。
[0017]所述一级洗涤塔下方连接有尾气进入管道，一级洗涤塔顶部通过气相进二级洗涤塔管道与二级洗涤塔底部相连，二级洗涤塔上方设有出气管道
。
[0018]工作原理及过程：
[0019]将六氟化钨尾气通入一级洗涤塔，一级洗涤塔与二级洗涤塔相连
。
在一级洗涤塔以及二级洗涤塔内装有
5%
‑
40%
质量浓度的
KOH
溶液，六氟化钨流入一级洗涤塔以及二级洗涤塔内并与其中的
KOH
溶液反应
。
[0020]WF6与
KOH
反应生成
KF
和
K2WO4，反应式如下：
[0021]WF6+8KOH
→
K2WO4+6KF+4H2O
[0022]经过一级洗涤塔与二级洗涤塔的洗涤后，尾气中基本不含六氟化钨，可以排放
。
将吸收了六氟化钨的废水通入到装有浓度为
5%
‑
40%
氯化钙溶液的反应釜中，反应釜中含有
CaCl2溶液，
Ca
2+
与废水中的
WO
42
‑
与
F
‑
发生反应并生成沉淀
。
[0023]污水中的
KF
和
K2WO4与
CaCl2反应生成
CaF2、CaWO4和
KCl
，反应式如下：
[0024]2KF+CaCl2→
2KCl+CaF2↓
[0025]K2WO4+CaCl2→
2KCl+CaWO4↓
[0026]将含有固体
CaF2和
CaWO4的废水通入到一级过滤器中，将其中的
CaF2和
CaWO4固体过滤出来，过滤完成之后的废水存放到污水中间储罐，污水中间储罐中的污水分为两个去向，一是去往氯化钙溶解釜用于氯化钙的溶解，此时污水中不再含有
WO
42
‑
与
F
‑
离子，不会再生成沉淀，可重复此步骤；二是去往蒸发装置，将污水中的
KCl
和少量的
KOH
蒸发结晶出来，形成中水，形成的中水再次通入中水储存罐中，进入洗涤剂溶解釜，用于溶解
KOH
，洗涤剂溶解釜与一级洗涤塔连接，将
KOH
溶液输送到一级洗涤塔中
。
[0027]本申请的有益效果如下：
[0028]1、
本申请缩短了含氟及重金属离子废水处理的工艺流程
、
提高了处理效率，废水不出车间，实现水资源的重复回收利用
。
[0029]2、
本申请中利用污水中间储罐存储污水，将污水稳定均匀的输送到下一装置中，避免大量污水涌入造成效率降低，起到缓冲的作用；同时将污水分流，引入氯化钙溶解釜以及蒸发装置中
。
[0030]3、
本申请通过设置氯化钙溶解釜以及洗涤剂溶解釜，充分将沉淀剂以及洗涤剂溶解，配置所需浓度的溶液
。
[0031]4、
本申请利用蒸发装置，生成中水，实现水资源的循环使用，并且通过蒸馏步骤，降低整个系统中的离子浓度，使得氯化钙溶解釜中的污水能够溶解沉淀剂，避免因离子浓度过高而导致的溶剂不溶解问题
。
[0032]5、
本申请利用多级洗涤塔，充分吸收六氟化钨气体，达到更好的吸收效果
。
附图说明
[0033]此处所说明的附图用来提供对本申请本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种六氟化钨尾气处理系统，其特征在于，包括：一级洗涤塔（1），所述一级洗涤塔（1）设置在尾气处理系统的初段，一级洗涤塔（1）内部设有喷淋盘（
11
），喷淋盘（
11
）的下方设有导流板（
12
），一级洗涤塔（1）用于使六氟化钨气体转化为
WO
42
‑
、F
‑
离子；反应釜（2），所述反应釜（2）连接在所述一级洗涤塔（1）后，用于
WO
42
‑
、F
‑
离子转换为沉淀；一级过滤器（3），所述一级过滤器（3）连接在所述反应釜（2）后，用于沉淀滤出；蒸发装置（6），所述蒸发装置（6）连接在所述一级过滤器（3）后，用于使溶液中的水分蒸出，产出中水；所述蒸发装置（6）与所述一级洗涤塔（1）连接，用于使所述蒸发装置（6）产出的中水输送回所述一级洗涤塔（1）中
。2.
根据权利要求1所述的一种六氟化钨尾气处理系统，其特征在于，还包括污水中间储罐（5），所述污水中间储罐（5）设置在所述一级过滤器（3）与所述蒸发装置（6）之间，所述污水中间储罐（5）与所述一级过滤器（3）
、
蒸发装置（6）分别连接
。3.
根据权利要求2所述的一种六氟化钨尾气处理系统，其特征在于，还包括氯化钙溶解釜（8），所述氯化钙溶解釜（8）连接在所述污水中间储罐（5）后，所述氯化钙溶解釜（8）还与所述反应釜（2）连接
。4.
根据权利要求1所述的一种六氟化钨尾气处理系统，其特征在于，还包括中水储罐（7），所述中水储罐（7）连接在所述蒸发装置（6）后
。5.
根据权利要求4所述的一种六氟化钨尾气处理系统，其特征在于，还包括二级洗涤塔（
27
），二级洗涤塔（
27
）设置在一级洗涤塔（1）和反应釜（2）之间，一级洗涤塔（1）通过连接管道（
22
）与二级洗涤塔（
27
）相连，连接管道（
22
）上设有单向阀（
23

【专利技术属性】
技术研发人员：王杰，王新喜，王大兵，崔同超，刘丙德，王绪波，王庆伟，
申请(专利权)人：南大光电乌兰察布有限公司，
类型：新型
国别省市：