【技术实现步骤摘要】
本技术属于尾气的回收利用装置的，具体涉及电解法生产三氟化氮阴极尾气回收利用装置。
技术介绍
1、三氟化氮(nf3)是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体，具有非常优良的蚀刻速率和选择性，在被蚀刻物表面不留任何残留物质，同时也是非常良好的清洗剂。目前nf3工业化生产中电解法较为常见，其工艺为：在一定温度下，在电解槽中电解熔融的氟化氢铵阳极生成三氟化氮。
2、电解法生产三氟化氮生产过程中阴极尾气的主要成份为氢气、氮气、氟化氢和氨气。现有处置方式为经吸附装置吸收氟化氢和氨气后，将主要成分为氢气和氮气的混合气体排空。氢气作为一种能源来看，热值较高，可达143×103kj/kg，同时燃烧产物只有水，不会造成污染，是最干净的能源。现有的电解法生产三氟化氮生产过程中尾气的氢气浪费严重，有效利用率低。
3、cn112316713a公开了一种三氟化氮制备过程中的阴极尾气提氢系统及方法，阴极尾气的尾气依次经过缓冲罐ⅰ、碱洗塔ⅰ、罗茨风机、缓冲罐ⅱ、裂解塔、还原塔、碱洗塔ⅱ、碱洗塔ⅲ、水洗塔、缓冲罐ⅲ预处理工段；压缩机、脱氧塔、冷却器...
【技术保护点】
1.一种电解法生产三氟化氮阴极尾气回收利用装置，其特征在于：包括吸附装置(2)、一级增压器(3)、二级增压器(5)、鼓风机(9)、燃烧器(10)，所述的吸附装置(2)与一级增压器(3)连接，所述的一级增压器(3)与冷凝器a(4)连接，所述的冷凝器a(4)与二级增压器(5)连接，所述的二级增压器(5)与缓冲罐(6)连接，所述的缓冲罐(6)与脱水塔(7)连接，所述的脱水塔(7)与鼓风机(9)连接，所述的鼓风机(9)与燃烧器(10)连接，所述的燃烧器(10)与节能器(11)连接，所述的节能器(11)与冷凝器b(12)连接，所述的冷凝器b(12)与引风机(14)连接；所述的燃...
【技术特征摘要】
1.一种电解法生产三氟化氮阴极尾气回收利用装置，其特征在于：包括吸附装置(2)、一级增压器(3)、二级增压器(5)、鼓风机(9)、燃烧器(10)，所述的吸附装置(2)与一级增压器(3)连接，所述的一级增压器(3)与冷凝器a(4)连接，所述的冷凝器a(4)与二级增压器(5)连接，所述的二级增压器(5)与缓冲罐(6)连接，所述的缓冲罐(6)与脱水塔(7)连接，所述的脱水塔(7)与鼓风机(9)连接，所述的鼓风机(9)与燃烧器(10)连接，所述的燃烧器(10)与节能器(11)连接，所述的节能器(11)与冷凝器b(12)连接，所述的冷凝器b(12)与引风机(14)连接；所述的燃烧器(10)上设置有蒸汽管路(18)，蒸汽管路(18)与电解装置(1)连接。
2.根据权利要求1所述的电解法生产三氟化氮阴极尾气回收利用装置，其特征在于：所述的吸附装置(2)与电解装置(1)连接，电解装置(1)上还设置有三氟化氮管路(20)。
3.根据权利要求1所述的电解法生产三氟化氮阴极尾气回收利用装置，其特征在于：所述的吸附装置(2)与一级增压器(3)连接的管路上设置有应急放空管路(17)。
4.根据权利要求1所述的电解法生产三氟化氮阴极尾气回收利用装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：魏绣瑾，窦兆丁，王绪坡，崔同超，吴凯，达布力干，靳宇，苏宇鹏，娄浩，
申请(专利权)人：南大光电乌兰察布有限公司，
类型：新型
国别省市：
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