一种真空镀膜机的转架安装结构制造技术

技术编号:39923563 阅读:8 留言:0更新日期:2023-12-30 22:10
本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域,公开了一种真空镀膜机的转架安装结构,包括底座,所述底座上设有转架组件,所述转架组件包括呈相对状分布的侧板,两个所述侧板之间设有螺柱,所述螺柱两端均贯穿侧板,且螺柱外设有套筒,所述套筒端面与侧板相抵,所述螺柱外设有与之相配合的螺帽

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的转架安装结构


[0001]本技术涉及真空镀膜机
,具体为一种真空镀膜机的转架安装结构


技术介绍

[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,
MBE
分子束外延,
PLD
激光溅射沉积,离子束溅射等很多种

主要思路是分成蒸发和溅射两种

[0003]在对真空镀膜机的使用过程中,尤其涉及转架的安装,现有的转架安装及使用较为单一,并不能对其快速安装以及安装料件后进行旋转,实际使用效果不佳,大大降低了装置实用性

[0004]因此,基于上述技术问题,本领域的技术人员有必要研发一种真空镀膜机的转架安装结构


技术实现思路

[0005]本技术目的是提供一种真空镀膜机的转架安装结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题

[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0007]一种真空镀膜机的转架安装结构技术方案,包括底座,所述底座上设有转架组件,所述转架组件包括呈相对状分布的侧板,两个所述侧板之间设有螺柱,所述螺柱两端均贯穿侧板,且螺柱外设有套筒,所述套筒端面与侧板相抵,所述螺柱外设有与之相配合的螺帽

[0008]优选的,两个所述侧板外边缘均设有定位圈,所述侧板下方设有转动组件,所述转动组件包括呈矩形状分布的定位座,每个所述定位座上均设有定位轮,且定位轮外边缘设有限位圈,所述限位圈与定位圈相配合

[0009]优选的,同侧两个所述定位座之间设有传动组件,所述传动组件包括电机,所述电机输出端设有连接轴,且连接轴与其中一个定位轮相连接,所述连接轴上设有主带轮,所述主带轮相对一侧设有副带轮,所述主带轮与副带轮之间设有皮带

[0010]优选的,所述副带轮与另一个所述定位轮通过连接轴相连接

[0011]优选的,所述电机外设有机壳

[0012]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0013]本技术为一种真空镀膜机的转架安装结构,设置的转架组件,采用螺纹连接,使螺帽与螺柱装配,并通过套筒的支撑,即可实现侧板的固定,能够对转架进行快速拆装,并由定位圈与限位圈配合,可实现两个侧板沿定位轮转动,本方案结构新颖,操作简便,方便对料件安装后进行旋转,有利于实际使用

附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构示意图;
[0015]图2为图1中转架结构示意图;
[0016]图3为图1中转动组件结构示意图

[0017]附图标记中:
1、
底座;
11、
定位座;
12、
定位轮;
13、
限位圈;
21、
侧板;
211、
定位圈;
22、
螺柱;
23、
套筒;
24、
螺帽;
3、
机壳;
31、
电机;
32、
主带轮;
33、
副带轮;
34、
皮带

具体实施方式
[0018]下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例,为了使本技术的目的

技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及具体实施例,对本技术进行进一步详细描述

应理解,此处所描述的具体实施例仅被配置为解释本技术,并不被配置为限定本技术

对于本领域技术人员来说,本技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施

下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本技术的示例来提供对本技术更好的理解

[0019]请参阅图1‑3所示,本技术提供一种真空镀膜机的转架安装结构技术方案:包括底座1,底座1上设置有转架组件,转架组件包括呈相对状分布的侧板
21
,两个侧板
21
之间设置有螺柱
22
,螺柱
22
两端均贯穿侧板
21
,且螺柱
22
外设置有套筒
23
,套筒
23
端面与侧板
21
相抵,螺柱
22
外设置有与之相配合的螺帽
24
,两个侧板
21
外边缘均设置有定位圈
211
,侧板
21
下方设置有转动组件,转动组件包括呈矩形状分布的定位座
11
,每个定位座
11
上均设置有定位轮
12
,且定位轮
12
外边缘设置有限位圈
13
,限位圈
13
与定位圈
211
相配合

[0020]在本实施方式中,将螺柱
22
上套装套筒
23
,并依次在两端套入侧板
21
,旋拧螺帽
24
即可完成安装,安装后的转架上,可安装料件,安装后,将两个侧板
21
转入定位轮
12
上,使定位圈
211
与限位圈
13
相抵,转动侧板
21
即可实现旋转

[0021]请参阅图1‑3所示,进一步的,同侧两个定位座
11
之间设置有传动组件,传动组件包括电机
31
,电机
31
外设置有机壳3,电机
31
输出端设置有连接轴,且连接轴与其中一个定位轮
12
相连接,连接轴上设置有主带轮
32
,主带轮
32
相对一侧设置有副带轮
33
,主带轮
32
与副带轮
33
之间设置有皮带
34
,副带轮
33
与另一个定位轮
12
通过连接轴相连接

[0022]在本实施方式中,启动电机
31
,电机
31
驱动主带轮
32
转动,通过皮带
34
传动,即可带动副带轮
23
与主带轮
22
同步运行,即可使两个定位轮
12
转动,带动侧板
21
实现自动转动

[0023]以上所述,仅为本技术较佳的具体实施方式,但本技术的保护范围并不局限于此,任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内,根据本技术的技术方本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种真空镀膜机的转架安装结构,其特征在于,包括底座
(1)
,所述底座
(1)
上设有转架组件,所述转架组件包括呈相对状分布的侧板
(21)
,两个所述侧板
(21)
之间设有螺柱
(22)
,所述螺柱
(22)
两端均贯穿侧板
(21)
,且螺柱
(22)
外设有套筒
(23)
,所述套筒
(23)
端面与侧板
(21)
相抵,所述螺柱
(22)
外设有与之相配合的螺帽
(24)。2.
根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的转架安装结构,其特征在于:两个所述侧板
(21)
外边缘均设有定位圈
(211)
,所述侧板
(21)
下方设有转动组件,所述转动组件包括呈矩形状分布的定位座
(11)
,每个所述定位座
(11)
上均设有定位轮
(12)
,且定位轮
(12)
外...

【专利技术属性】
技术研发人员:贾建国
申请(专利权)人:昆山英利悦电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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