【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机的转架安装结构
[0001]本技术涉及真空镀膜机
,具体为一种真空镀膜机的转架安装结构
。
技术介绍
[0002]真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,
MBE
分子束外延,
PLD
激光溅射沉积,离子束溅射等很多种
。
主要思路是分成蒸发和溅射两种
。
[0003]在对真空镀膜机的使用过程中,尤其涉及转架的安装,现有的转架安装及使用较为单一,并不能对其快速安装以及安装料件后进行旋转,实际使用效果不佳,大大降低了装置实用性
。
[0004]因此,基于上述技术问题,本领域的技术人员有必要研发一种真空镀膜机的转架安装结构
。
技术实现思路
[0005]本技术目的是提供一种真空镀膜机的转架安装结构,以解决上述
技术介绍
中提出的问题
。
[0006]为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:
[0007]一种真空镀膜机的转架安装结构技术方案,包括底座,所述底座上设有转架组件,所述转架组件包括呈相对状分布的侧板,两个所述侧板之间设有螺柱,所述螺柱两端均贯穿侧板,且螺柱外设有套筒,所述套筒端面与侧板相抵,所述螺柱外设有与之相配合的螺帽
。
[0008]优选的,两个所述侧板外边缘均设有定位圈,所述侧板下方设有转动组件,所述转动组件包括呈矩形状分布的定位座,每个所述定位座上均设有定位轮,且定位轮 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种真空镀膜机的转架安装结构,其特征在于,包括底座
(1)
,所述底座
(1)
上设有转架组件,所述转架组件包括呈相对状分布的侧板
(21)
,两个所述侧板
(21)
之间设有螺柱
(22)
,所述螺柱
(22)
两端均贯穿侧板
(21)
,且螺柱
(22)
外设有套筒
(23)
,所述套筒
(23)
端面与侧板
(21)
相抵,所述螺柱
(22)
外设有与之相配合的螺帽
(24)。2.
根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的转架安装结构,其特征在于:两个所述侧板
(21)
外边缘均设有定位圈
(211)
,所述侧板
(21)
下方设有转动组件,所述转动组件包括呈矩形状分布的定位座
(11)
,每个所述定位座
(11)
上均设有定位轮
(12)
,且定位轮
(12)
外...
【专利技术属性】
技术研发人员:贾建国,
申请(专利权)人:昆山英利悦电子有限公司,
类型:新型
国别省市:
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