一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板制造技术

技术编号:40514415 阅读:7 留言:0更新日期:2024-03-01 13:31
本技术涉及镀膜机技术领域,公开了一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板,包括母板,所述母板顶部设有延长组件,所述延长组件包括呈相对状分布的上伸板,所述上伸板底部设有下滑条,所述下滑条相对母板上设有与之相适配的上滑槽,所述上伸板外壁上设有滑杆,所述滑杆外设有滑座,所述滑座与母板相连接。由上伸板底部的下滑条沿上滑槽滑出,下伸板顶部的上滑条沿下滑槽滑出,本方案结构新颖,操作简便,能够对修正板的尺寸进行调整,从而适配不同尺寸料件的镀膜,无需拆装更换,提高镀膜效率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及镀膜机,具体为一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板


技术介绍

1、真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,具体包括很多种类,包括真空电阻加热蒸发,电子枪加热蒸发,磁控溅射,mbe分子束外延,pld激光溅射沉积,离子束溅射等很多种。

2、蒸发镀膜的过程中,由于蒸发源到伞架上基板的距离不同,易导致基板上镀膜出现不均匀的问题,现有的处理方式是在伞架与蒸发源之间增加修正板,通过修正板对蒸发源的上方进行部分遮挡,使镀在基板的膜层尽可能的均匀。

3、目前,在对镀膜机的使用过程中,尤其涉及修正板的安装,由于镀膜工件的形状尺寸不同,需要装配不同尺寸的修正板,以此满足遮挡的目的,而该方式费时费力,大大增加了工人的劳动强度,影响镀膜效率,实用性不高,不便于对修正板的尺寸进行调整。

4、因此,基于上述技术问题,本领域的技术人员有必要研发一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板。


技术实现思路

1、本技术目的是提供一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

2、为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:

3、一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板技术方案,包括母板,所述母板顶部设有延长组件,所述延长组件包括呈相对状分布的上伸板,所述上伸板底部设有下滑条,所述下滑条相对母板上设有与之相适配的上滑槽,所述上伸板外壁上设有滑杆,所述滑杆外设有滑座,所述滑座与母板相连接。

4、优选的,所述母板顶部设有安装座,且母板底面设有下延长组件。

5、优选的,所述下延长组件包括呈对称状分布的下伸板,所述下伸板顶部呈对称状设有上滑条,所述母板底面呈对称状设有下滑槽,所述上滑条与下滑槽滑动配合。

6、优选的,所述下伸板上贯穿设有矩形槽,所述矩形槽内壁上设有齿条,所述母板上贯穿设有穿孔,所述穿孔内设有转杆,所述转杆底部设有齿轮,所述齿轮位于矩形槽内,并与齿条相啮合。

7、与现有技术相比,本技术的有益效果是:

8、本技术为一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板,设置的延长组件和下延长组件,由上伸板底部的下滑条沿上滑槽滑出,下伸板顶部的上滑条沿下滑槽滑出,本方案结构新颖,操作简便,能够对修正板的尺寸进行调整,从而适配不同尺寸料件的镀膜,无需拆装更换,提高镀膜效率。

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【技术保护点】

1.一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板,其特征在于,包括母板(1),所述母板(1)顶部设有延长组件,所述延长组件包括呈相对状分布的上伸板(21),所述上伸板(21)底部设有下滑条(22),所述下滑条(22)相对母板(1)上设有与之相适配的上滑槽(12),所述上伸板(21)外壁上设有滑杆(23),所述滑杆(23)外设有滑座(24),所述滑座(24)与母板(1)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板,其特征在于:所述母板(1)顶部设有安装座(14),且母板(1)底面设有下延长组件。

3.根据权利要求2所述的一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板,其特征在于:所述下延长组件包括呈对称状分布的下伸板(31),所述下伸板(31)顶部呈对称状设有上滑条(32),所述母板(1)底面呈对称状设有下滑槽(13),所述上滑条(32)与下滑槽(13)滑动配合。

4.根据权利要求3所述的一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板,其特征在于:所述下伸板(31)上贯穿设有矩形槽(33),所述矩形槽(33)内壁上设有齿条(36),所述母板(1)上贯穿设有穿孔(11),所述穿孔(11)内设有转杆(34),所述转杆(34)底部设有齿轮(35),所述齿轮(35)位于矩形槽(33)内,并与齿条(36)相啮合。

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【技术特征摘要】

1.一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板,其特征在于,包括母板(1),所述母板(1)顶部设有延长组件,所述延长组件包括呈相对状分布的上伸板(21),所述上伸板(21)底部设有下滑条(22),所述下滑条(22)相对母板(1)上设有与之相适配的上滑槽(12),所述上伸板(21)外壁上设有滑杆(23),所述滑杆(23)外设有滑座(24),所述滑座(24)与母板(1)相连接。

2.根据权利要求1所述的一种用于镀膜厚度均匀的镀膜机修正板,其特征在于:所述母板(1)顶部设有安装座(14),且母板(1)底面设有下延长组件。

3.根据权利要求2所述的一种用于镀...

【专利技术属性】
技术研发人员:贾建国
申请(专利权)人:昆山英利悦电子有限公司
类型:新型
国别省市:

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