一种溅射设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种溅射设备，包括壳体和门体，壳体和门体之间限定形成一个腔体，还包括产品放置板，产品放置板位于腔体内，产品放置板上设置有供产品放置的凹槽，产品放置板能在驱动装置驱动下沿腔体上下移动，并能在腔体内沿一个轴线转动

【技术实现步骤摘要】
一种溅射设备


[0001]本技术涉及溅射镀膜加工设备
，尤其涉及一种溅射设备
。

技术介绍

[0002]磁控溅射属于物理气相沉积
(Physical Vapor Deposition
，
PVD)
中的一种，磁控溅射镀膜技术是一种重要的薄膜制备方法，可以在载体上制备金属
、
半导体
、
绝缘体等多材料的薄膜，具有设备简单
、
易于控制
、
镀膜面积大和附着力强的优点
。
磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率
。
[0003]现有的实现磁控溅射的设备相对复杂，镀膜效率低下
。
虽然有加热装置在溅射过程中，对产品进行加热，但现有的加热装置往往结构复杂，加热不均匀，影响溅射效果
。

技术实现思路

[0004]为克服上述缺点，本技术的目的在于提供一种溅射设备，提高产品的溅射效果
。
[0005]为了达到以上目的，本技术采用的技术方案是：一种溅射设备，包括壳体和门体，所述壳体和门体之间限定形成一个腔体，其特征在于：还包括
[0006]产品放置板，所述产品放置板位于腔体内，所述产品放置板上设置有供产品放置的凹槽，所述产品放置板能在驱动装置驱动下沿腔体上下移动，并能在腔体内沿一个轴线转动
。
加热装置，所述加热装置位于产品放置板上方，所述加热装置在产品放置板上的正投影能覆盖整个凹槽，所述加热装置包括上壳体和下壳体，所述上壳体和下壳体可拆卸连接且两者之间限定形成一个加热腔，所述加热腔内设置有加热板，加热板自下而上开设有加热通道，加热通道内嵌设有电加热件
。
[0007]本技术的有益效果在于：一
、
产品放置板在升降过程中，能调节溅射面积，而产品放置板在转动过程中，可以提高溅射的均匀度
。
二
、
加热装置结构简单且紧凑，加热装置覆盖整个产品，对整个产品进行均匀加热，避免产品的部分温度过高，导致溅射形成的镀膜不均匀
。
[0008]进一步来说，所述加热通道同心设置的多个圆环通道，每个所述圆环通道通过一个导通通道连通，所述导通通道沿着经过加热板径向设置
。
所述电加热件沿着圆环通道绕卷形成漩涡形或同心圆形状电路
。
圆环结构，提高整个加热板的加热均匀度
。
[0009]进一步来说，所述加热板的中心处设置有两个不导通但贯穿加热板的通孔，所述电加热件的两端分别从两个通孔穿出
。
便于电加热件与外部的供电装置连接
。
[0010]进一步来说，相邻的所述圆环通道之间的间距相同，让电加热件的布置更加均匀
。
[0011]进一步来说，所述加热板的中心处还插接有一个温度传感器，所述温度传感器通过顶丝与加热板固定
。
温度传感器用于测量加热板的温度，并根据温度传感器采集到的温度，实时调节电加热件的功率，保持加热板的稳定恒定
。
[0012]进一步来说，所述加热板和上壳体之间设置有至少一个隔热板
。
因为加热板仅仅
需要对位于其下方的产品进行加热，对于加热板上方的部分，没有温度要求，因此隔热板将加热板与上方隔离，充分提高加热板的加热效率
。
[0013]进一步来说，所述驱动装置包括升降驱动组件和旋转驱动组件，其中所述升降驱动组件位于腔体外部，所述旋转驱动组件与升降驱动组件连接，并能在所述升降驱动组件驱动下升降
。
所述产品放置板和加热装置均与旋转驱动组件连接，并在所述旋转驱动组件驱动下沿同一个轴线转动
。
[0014]进一步来说，所述升降驱动组件包括第一驱动件
、
丝杆和升降块，所述丝杆竖直设置且在第一驱动件驱动下沿自身轴线转动，所述升降块与丝杆螺纹连接
。
所述旋转驱动组件包括固定在升降块上的第二驱动件，所述第二驱动件驱动一个旋转铁芯转动，所述旋转铁芯穿过壳体且始终有部分位于腔体内，所述产品放置板和加热装置均与旋转铁芯固定连接
。
[0015]进一步来说，所述产品放置板下方设置有至少一个磁控靶，所述磁控靶朝向产品放置板
。
[0016]进一步来说，还包括位于腔体外部的真空抽气装置，所述真空抽气装置能对腔体抽真空
。
附图说明
[0017]图1为本技术实施例的侧视图；
[0018]图2为本技术实施例中驱动装置和加热装置连接状态的剖视图；
[0019]图3为本技术实施例中加热装置的立体结构示意图；
[0020]图4为本技术实施例中加热装置的剖视图；
[0021]图5为本技术实施例中加热板的剖视图
。
[0022]图中：
[0023]11、
壳体；
12、
门体；
[0024]2、
放置板；
[0025]3、
驱动装置；
31、
第一驱动件；
32、
丝杆；
33、
升降块；
34、
第二驱动件；
35、
旋转铁芯；
351、
穿线通道；
[0026]4、
加热装置；
41、
上壳体；
411、
卡槽；
42、
下壳体；
421、
卡块；
43、
加热板；
431、
圆环通道；
432、
导通通道；
44、
温度传感器；
45、
顶丝；
46、
隔热板；
[0027]5、
真空抽气装置
。
具体实施方式
[0028]下面结合附图对本技术的较佳实施例进行详细阐述，以使本技术的优点和特征能更易于被本领域技术人员理解，从而对本技术的保护范围做出更为清楚明确的界定
。
[0029]在本专利技术的实施方式中，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触
。
而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征
。
第一特征在第二特征“之下”、
“
下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征
。
[0030]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本专利技术的实施方式的不同结构
。
为了简化本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种溅射设备，包括壳体和门体，所述壳体和门体之间限定形成一个腔体，其特征在于：还包括产品放置板，所述产品放置板位于腔体内，所述产品放置板上设置有供产品放置的凹槽，所述产品放置板能在驱动装置驱动下沿腔体上下移动，并能在腔体内沿一个轴线转动；加热装置，所述加热装置位于产品放置板上方，所述加热装置在产品放置板上的正投影能覆盖整个凹槽，所述加热装置包括上壳体和下壳体，所述上壳体和下壳体可拆卸连接且两者之间限定形成一个加热腔，所述加热腔内设置有加热板，加热板自下而上开设有加热通道，加热通道内嵌设有电加热件
。2.
根据权利要求1所述的溅射设备，其特征在于：所述加热通道同心设置的多个圆环通道，每个所述圆环通道通过一个导通通道连通，所述导通通道沿着经过加热板径向设置；所述电加热件沿着圆环通道绕卷形成漩涡形或同心圆形状电路
。3.
根据权利要求2所述的溅射设备，其特征在于：所述加热板的中心处设置有两个不导通但贯穿加热板的通孔，所述电加热件的两端分别从两个通孔穿出
。4.
根据权利要求2所述的溅射设备，其特征在于：相邻的所述圆环通道之间的间距相同
。5.
根据权利要求1所述的溅射设备，其特征在于：所述加热板的中心处还插接有一个温度传感器，所述温度传感...

【专利技术属性】
技术研发人员：武俊伟，翁伟嘉，
申请(专利权)人：江苏英联复合集流体有限公司，
类型：新型
国别省市：