【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种单晶硅生产过程中使用的电磁炉加热装置。
技术介绍
在单晶硅生产过程中需要使用加热板加热硅棒晶托,其存在以下问题1.加热板 价格高,加热效果不均勻,使用一段时间后加热板发生形变,导致损坏。2.散热快,加热板的 升温过程缓慢,从常温状态加热到240摄氏度的可粘接温度需要20分钟左右,生产效率低。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种成本低,使用寿命长,加热均勻并且用 时短,生产效率高的电磁炉加热装置。本技术涉及的电磁炉加热装置,包括工作台,在工作台上安装有可转动支架, 其特殊之处是在可转动支架顶部连接有托盘,在托盘上安装有电磁炉,在托盘背面安装有 操作把手。本技术的有益效果是通过安装在托盘上的电磁炉对硅棒晶托的加热,可以 节约成本,延长使用寿命,加热均勻,散热慢,使硅棒晶托与圆硅棒粘接的更加牢固,加热用 时短,生产效率高。附图说明图1是本技术的结构示意图;图2是图1的右视图;图3是图1的A向放大视图;图4是图1的B部放大图。图中可移动支架1,操作把手2,托盘3,电磁炉4,压条5,工作台6,螺丝7。具体实施方式如图所示,本技术有一个工作台6,在工作台6上安装有可移动支架1,可移动 支架1顶部连接有托盘3,在托盘3上通过压条5及螺栓7安装有电磁炉4,在托盘3背面 安装有操作把手2。平时,将电磁炉4放入控制箱旁边的槽内。工作时,操作工人搬动操作把手2,使电 磁炉4到达工作位置并将硅棒晶托完全覆盖,开始加热,加热完毕后,再反方向搬动操作把 手2,使电磁炉4进入控制箱旁边的槽内。权利要求一种电磁炉加热装置,包括工作台,在工作台上设有可移动支架,其 ...
【技术保护点】
一种电磁炉加热装置,包括工作台,在工作台上设有可移动支架,其特征是:在可移动支架顶部连接有托盘,在托盘上安装有电磁炉,在托盘背面固定有操作把手。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:陈鹏,杨广宇,赵亮,
申请(专利权)人:锦州日鑫硅材料有限公司,
类型:实用新型
国别省市:21[中国|辽宁]
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。