治具的安装结构及晶圆平坦度测量装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及电子器件加工技术领域，具体公开了一种治具的安装结构及晶圆平坦度测量装置

【技术实现步骤摘要】
治具的安装结构及晶圆平坦度测量装置


[0001]本技术涉及电子器件加工
，尤其涉及一种治具的安装结构及晶圆平坦度测量装置
。

技术介绍

[0002]晶圆平坦度测量装置是一款测量几何参数的设备，平坦度测量装置具有专用的条纹图案分析仪
。
在不需要操作员协助的情况下，通过分析边缘图案和进行数字测量，可确定测量样品的平整度
。
测量的数据可以显示为测量值
、
等高线图
、
鸟瞰视图或横截面图
。
[0003]晶圆平坦度的测量方式是根据晶圆的尺寸以及测量需求确认干涉仪支架上的治具类型是否满足需求，如果不满足，则需要更换治具
。
具体地，例如晶圆的尺寸为4寸或6寸，根据测量需求可以分为真空治具和弯曲治具，选用真空治具可以测量
GBIR(
全局平整度回到理想范围
)、GF3D(
全局平整度前3点偏差
)
或
GFLR(
全局平面度前最小二乘范围
)
，选用弯曲治具可以测量
Bow(
弯曲
)
或
Warp(
翘曲
)。
[0004]现有技术中，治具安装于治具支架上，在更换治具时，将固定治具支架的旋钮下压并旋转
90
°
锁紧，防止在更换治具时，治具支架回弹，上抬把手确定治具支架已经被固定
。
将治具与治具支架连接的固定螺丝逆时针拧松，治具从治具支架的槽内取出来放到指定位置，然后将新的治具放到治具支架的槽内，并将位置调整好，然后通过固定螺丝将治具固定于治具支架上，将固定治具支架的旋钮旋转
90
°
向上拉出，解除锁定
。
[0005]上述中，在更换治具时，需要取下固定螺丝才能取下治具，在安装治具时，还需要通过固定螺丝将治具固定于治具支架上，频繁的拧固定螺丝对治具的损耗会加大，缩短治具的使用寿命
。
且在更换新的治具时还需要重新调整位置，增加了治具更换的时间，此外在更换治具时，操作人员需要根据经验确定治具的安装位置，对操作人员的要求较高
。
[0006]因此，亟需提供一种治具的安装结构及晶圆平坦度测量装置以解决上述技术问题
。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种治具的安装结构及晶圆平坦度测量装置，方便更换和安装治具，降低了对操作人员的操作要求，在拆卸和安装治具时减小了对治具的磨损，延长了治具的使用寿命
。
[0008]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0009]治具的安装结构，包括：
[0010]治具本体，所述治具本体上设有晶圆固定组件，所述晶圆固定组件用于固定晶圆于所述治具本体的一侧，所述治具本体的另一侧设有第一磁吸件；
[0011]底座，所述底座上设有第二磁吸件和与所述第二磁吸件连接的磁化组件，所述磁化组件能磁化所述第二磁吸件使所述第二磁吸件磁吸所述第一磁吸件，或所述磁化组件能使所述第二磁吸件退磁以释放所述第一磁吸件
。
[0012]作为上述的治具的安装结构的一种可选技术方案，所述第二磁吸件包括导磁件，所述导磁件的一端与所述底座连接，所述导磁件的另一端用于与所述第一磁吸件连接；
[0013]所述磁化组件包括设置于所述导磁件上的软铁和不导磁件，及与所述导磁件转动连接的永磁铁，转动所述永磁铁能使所述永磁铁的两个磁极正对所述不导磁件，所述软铁和所述导磁件退磁，或转动所述永磁铁能使所述永磁铁的两个磁极正对所述软铁，所述软铁和所述导磁件被磁化
。
[0014]作为上述的治具的安装结构的一种可选技术方案，所述导磁件内设有空腔，所述软铁为环形形状，所述软铁置于所述空腔内，且所述软铁的外圈与所述导磁件贴合，所述软铁相对的两侧均设有不导磁件，所述不导磁件的一端与所述导磁件连接，另一端与所述软铁连接且延伸至所述软铁的内圈，所述永磁铁转动设置于所述软铁的内圈内
。
[0015]作为上述的治具的安装结构的一种可选技术方案，所述永磁铁连接有转动手柄
。
[0016]作为上述的治具的安装结构的一种可选技术方案，所述第一磁吸件和所述导磁件的材质为金属铁；和
/
或
[0017]所述不导磁件的材质为金属铜
。
[0018]作为上述的治具的安装结构的一种可选技术方案，所述晶圆固定组件包括设置于所述治具本体一侧的密封槽，所述密封槽的槽底设有真空孔，所述密封槽的槽口处用于放置晶圆，所述密封槽的槽壁支撑所述晶圆且能变形，通过所述真空孔能使所述密封槽内处于真空状态且吸附所述晶圆于所述密封槽的槽口处
。
[0019]作为上述的治具的安装结构的一种可选技术方案，所述治具本体的一侧凹设有漏槽，所述漏槽的槽底沿周向设有密封环，所述密封环能变形，所述密封环高于所述漏槽的槽口设置，所述密封环围设的区域为所述密封槽
。
[0020]作为上述的治具的安装结构的一种可选技术方案，所述密封槽的槽口外侧边缘设有定位件，所述定位件用于限定所述晶圆在所述治具本体上的位置
。
[0021]作为上述的治具的安装结构的一种可选技术方案，所述密封槽的槽底设有通气孔，所述通气孔处密封设有顶起件，所述顶起件能被操作朝向所述密封槽内顶起所述晶圆，且使所述密封槽内通入空气
。
[0022]晶圆平坦度测量装置，包括安装平台
、
固定组件及上述中任一项所述的治具的安装结构，所述固定组件设置于所述安装平台上，所述固定组件能解锁或锁定底座于所述安装平台上
。
[0023]本技术的有益效果：
[0024]本技术提供的治具的安装结构，治具本体通过第一磁吸件和第二磁吸件的连接实现治具本体安装于底座上，磁化组件能磁化第二磁吸件以磁吸第一磁吸件，磁化组件能使第二磁吸件退磁以释放第一磁吸件，该固定治具本体的方式代替了现有技术中通过螺栓将治具本体固定于底座上的方式，在拆卸和安装治具本体时减小了对治具的磨损，延长了治具本体的使用寿命；且在更换和安装治具本体时，更容易定位治具本体的位置以进行固定，降低了对操作人员的操作要求，提高了治具本体安装的效率
。
[0025]本技术提供的晶圆平坦度测量装置，方便更换和安装治具，降低了对操作人员的操作要求，在拆卸和安装治具时减小了对治具的磨损，延长了治具的使用寿命
。
能移动，然后调整晶圆平坦度测量装置上的千分尺
102
使底座4移动到指定位置，对固定于治具本体1上的晶圆进行相应的参数的测量
。
[0043]在本实施例中，治具的安装结构包括治具本体1和底座4，治具本体1上设有晶圆固定组件2，晶圆固定组件2用于固定晶圆于治具本体1的一侧，治具本体1的另一侧设有第一磁吸件
3。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
治具的安装结构，其特征在于，包括：治具本体
(1)
，所述治具本体
(1)
上设有晶圆固定组件
(2)
，所述晶圆固定组件
(2)
用于固定晶圆于所述治具本体
(1)
的一侧，所述治具本体
(1)
的另一侧设有第一磁吸件
(3)
；底座
(4)
，所述底座
(4)
上设有第二磁吸件
(5)
和与所述第二磁吸件
(5)
连接的磁化组件
(6)
，所述磁化组件
(6)
能磁化所述第二磁吸件
(5)
使所述第二磁吸件
(5)
磁吸所述第一磁吸件
(3)
，或所述磁化组件
(6)
能使所述第二磁吸件
(5)
退磁以释放所述第一磁吸件
(3)。2.
根据权利要求1所述的治具的安装结构，其特征在于，所述第二磁吸件
(5)
包括导磁件
(51)
，所述导磁件
(51)
的一端与所述底座
(4)
连接，所述导磁件
(51)
的另一端用于与所述第一磁吸件
(3)
连接；所述磁化组件
(6)
包括设置于所述导磁件
(51)
上的软铁
(61)
和不导磁件
(62)
，及与所述导磁件
(51)
转动连接的永磁铁
(63)
，转动所述永磁铁
(63)
能使所述永磁铁
(63)
的两个磁极正对所述不导磁件
(62)
，所述软铁
(61)
和所述导磁件
(51)
退磁，或转动所述永磁铁
(63)
能使所述永磁铁
(63)
的两个磁极正对所述软铁
(61)
，所述软铁
(61)
和所述导磁件
(51)
被磁化
。3.
根据权利要求2所述的治具的安装结构，其特征在于，所述导磁件
(51)
内设有空腔
(52)
，所述软铁
(61)
为环形形状，所述软铁
(61)
置于所述空腔
(52)
内，且所述软铁
(61)
的外圈与所述导磁件
(51)
贴合，所述软铁
(61)
相对的两侧均设有不导磁件
(62)
，所述不导磁件
(62)
的一端与所述导磁件
(51)
连接，另一端与所述软铁
(61)
连接且延伸至所述软铁
(61)
...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨抗帅，孙国峰，罗斌，王晓宇，姚志勇，郭超，母凤文，
申请(专利权)人：青禾晶元晋城半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：