【技术实现步骤摘要】
半导体功率器件及其制造方法
[0001]本专利技术涉及一种半导体功率器件,且特别是有关于一种半导体功率器件及其制造方法
。
技术介绍
[0002]高压场效应晶体管,也被认知为功率晶体管或半导体功率器件,在半导体领域是众所周知的;其中包括延伸漏极或漂移区的垂直功率晶体管可以承受所施加的高工作电压,并且这种类型的功率晶体管通常用于功率转换应用,例如用于电源
、
电机控制等的
AC/DC
转换器中;这些功率晶体管器件可以在高电压下切换,并在“关闭”状态下具有高反向阻断电压,同时最大限度地减少漏极和源极之间的电流电阻,此在“开启”状态的电阻通常称为比导通电阻
(specific on resistance
,
R
on
)。
[0003]在相同器件面积下,碳化硅
(SiC)MOSFET
由于其优于硅基器件的物理特性而受到高度关注
。
例如,与硅
MOSFET
相比,
SiC MOSFET
表现出更高的反向阻断电压
、
更低的
R
on
和更高的热导率
。
[0004]垂直功率
MOSFET
中的比导通电阻
(R
on
)
是信道
(channel)
电阻
、JFET
电阻
、
漂移区电阻和衬底电阻的组合
。
信 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种半导体功率器件,其特征在于,包括:衬底;漂移层,设置在所述衬底上;数个埋入式掺杂区,设置在所述漂移层中且相互平行,且每个所述埋入式掺杂区与所述漂移层的上表面相距预定距离;数个栅极,设置在所述漂移层的所述上表面上,且每个所述栅极位于每个所述埋入式掺杂区的正上方;栅极绝缘层,设置在所述漂移层和每个所述栅极之间;数个阱区,设置在所述漂移层的所述上表面中,且每个所述阱区位于所述栅极之间,并与所述埋入式掺杂区分开,其中所述阱区和所述埋入式掺杂区电性连接;数个源极区,设置在所述栅极之间的所述数个阱区内;以及数个阱接触区,设置在所述漂移层的所述上表面中,且每个所述阱接触区穿过所述源极区并与所述阱区接触
。2.
根据权利要求1所述的半导体功率器件,其特征在于,还包括设置在所述漂移层中的掺杂区带,以连接所述数个阱区以及所述数个埋入式掺杂区
。3.
根据权利要求2所述的半导体功率器件,其特征在于,所述掺杂区带的延伸方向垂直于所述数个栅极的延伸方向
。4.
根据权利要求3所述的半导体功率器件,其特征在于,所述栅极对称地设置在所述掺杂区带的两侧
。5.
根据权利要求1所述的半导体功率器件,其特征在于,所述数个阱区的导电类型与所述数个埋入式掺杂区的导电类型相同,并与所述数个源极区的导电类型不同
。6.
根据权利要求1所述的半导体功率器件,其特征在于,所述数个阱区的掺杂浓度范围为
5E16/cm3至
1E18/cm3。7.
根据权利要求1所述的半导体功率器件,其特征在于,所述数个埋入式掺杂区的掺杂浓度大于
2E18/cm3。8.
根据权利要求1所述的半导体功率器件,其特征在于,所述数个阱区与所述数个埋入式掺杂区在垂直投影方...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈伟梵,蔡国基,
申请(专利权)人:力拓半导体股份有限公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。