一种除电装置，具备：放电电极，其具有对应对自身施加的直流高电压的极性，生成正或负的离子的按ｎ个为一组被分为两组的２ｎ个放电针，其中ｎ为自然数；高电压产生电路，其在每个一定期间使极性反转地对所述各组的放电针，施加相互逆极性的直流高电压；以及相向电极，其遮挡放出由所述放电电极产生的所述离子的所述放电电极的前方空间，所述高电压产生电路的两个高电压输出端子分别与所述各组的放电针连接，所述两个高压侧输出端子的高压侧公共端子在非接地的状态下与所述相向电极连接。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及除电装置，尤其涉及对带电物体照射正负的离子以便在电性上成为中 性的除电装置。
技术介绍
在半导体或移动电话等的生产线中，为了防止部件带电引起的静电故障，在工作 台或输送带等的附近设置除电装置。该种除电装置通过对带点物体照射正负平衡的空气离 子，使该物体在电性上成为中性，但是当放电针被污染或腐蚀时，正离子或负离子过剩，相 反会存在使除电对象物带电的问题。关于这一点，作为关联技术，已知有以下一种离子生成装置，其在与放电针相邻设 置的相向电极和接地之间设置由可变电阻和二极管构成的并联电路，通过人工调整该可变 电阻，可以调整离开相向电极的正负离子的平衡(专利文献1)。专利文献1特开平8-255669号公报但是，离子平衡偏离的原因不仅是放电针的污染或腐蚀。即使放电针没有被污染 或腐蚀，例如在混入了低V0C气体的干扰氛围下使用除电装置时，已查明有时会产生过多 的正离子，离子平衡崩溃。在此，VOC(Volatile organiccompounds)是指在常温常压下在 大气中容易挥发的有机化合物的总称，包含甲苯、苯、二氯甲烷等在工厂等处经常使用的清 洗剂或溶剂等。因此，通过人工调整离子平衡的上述关联技术的方式，无法针对这样的放电 氛围的变动自动地进行应对。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述关联技术的课题而做出的，其目的在于提供即使放电氛围变 动，也可以通过简单的结构自动地保持均等的离子平衡的除电装置。为了达成上述目的，本专利技术的一方面提供一种除电装置，其具备放电电极，其具 有对应对自身施加的直流高电压的极性，生成正或负的离子的按n个为一组被分为两组的 2n个放电针，其中n为自然数；高电压产生电路，其在每个一定期间使极性反转地对所述各 组的放电针，施加相互逆极性的直流高电压；以及相向电极，其遮挡放出由所述放电电极产 生的所述离子的所述放电电极的前方空间，所述高电压产生电路的两个高电压输出端子分 别与所述各组的放电针连接，所述两个高压侧输出端子的高压侧公共端子在非接地的状态 下与所述相向电极连接。根据上述方面，高电压产生电路的高压侧公共端子在非接地的状态下与相向电极 连接，所以相向电极的电位对应放电氛围的变动适当地变化。即，在不包含另外的气体的通 常氛围下使用本装置时，通过在放电空间中产生正负等量的离子，将相向电极的电位保持 为0V。此时，离开相向电极的离子也取得正负平衡，可以高效能地对除电对象物进行除电。另一方面，例如在由于混入了特定的气体在放电空间中产生了较多的正离子时， 在该放电空间中净(平均)的正电荷增加，通过该正电荷，相向电极的电位被感应至负侧。由于该负电位，在更多的正离子被相向电极捕捉的同时，因为负离子相斥，更多的通过相向 电极。结果，抑制离开相向电极的正离子的增加，并且，负离子的通过增加，如此大体均等地 保持了离开相向电极的正离子和负离子的平衡。相反，在由于混入了特定的气体在放电空间中产生了较多的负离子时，在该放电 空间中净(平均)的负电荷增加，通过该负电荷将相向电极的电位被感应至正侧。由于该正 电位，在更多的负离子被相向电极捕捉的同时，因为正离子相斥，更多的通过相向电极。结 果，抑制离开相向电极的负离子的增加，并且，正离子的通过增加，如此大体均等地保持了 离开相向电极的正离子和负离子的平衡。如此，根据上述的一方面，即使在各种放电氛围下，使用该除电装置，因为通过简 单的结构自动地保持均等的离子平衡，所以可以始终促进除电对象物中的电位的中和，可 以减小除电对象物表面的残留电位。此外，所述除电装置还可以具备串联接在所述高电压生成电路的高压侧公共端 子和接地之间的第一电容器以及第二电容器；以及检测所述第二电容器的端子电压的高电 压异常检测电路。 根据所述结构，高电压异常检测电路通过检测第二电容器的端子电压来检测高压 电路的异常。此时，在正常地进行了高电压电路的放电时，因为在放电空间中同时施加正极 性和负极性的高电压，所以相向电极(即，高电压侧公共端子)的电位保持大体恒定(例 如0V)。但是，在某一组的放电针由于绝缘不良而接地时，因为放电空间仅由另一组的放电 针驱动，所以在相向电极(即，第二电容器的端子之间)出现比较显著的振幅的交变电压。 在本专利技术中，通过监视第二电容器的端子电压，可以确切地检测高压电路。此外，在本专利技术 中，观测第二电容器的端子电压(即，连接监视电路)，为了将高压侧公共端子维持在浮动 状态，串联连接了第一电容器。此外，上述方面的除电装置还具备在所述高压产生电路的高压侧公共端子和所述 相向电极之间串联连接的电容器。根据所述结构，即使由于混入了特定的气体在放电空间中产生的正负离子的平衡 中产生偏移，根据在放电电极和相向电极之间形成的实质的容量以及与该容量串联地插入 的电容器的容量，对与上述偏差相伴的净电荷(电压)的变动进行分压，能够以希望的灵敏 度控制在相向电极中感应的电位的大小。此外，由此，可以通过希望的增益控制离开相向电 极的离子的平衡。此外，所述放电电极具备在矩形平面的对角线上相向配置的至少四个放电针，在 一方的对角线上相向的放电针构成一个组，在另一方对角线上相向的放电针构成另一组。根据该结构，放电电极具备在矩形平面额对角线上相向配置的两组(至少四个) 的放电针，所以在与遮挡前方空间的相向电极之间形成的放电空间中，可以在时间上在空 间上均等地产生正负离子。由此，在不包含另外的气体的通常的氛围下使用本装置时，可 以将相向电极的电位保持为大体0V，另一方面，在混入了另外的气体的干扰氛围下使用本 装置时，会在相向电极的一侧忠实反映(感应)与正离子和负离子的不平衡对应的净电荷 (电位)，可以进行高灵敏度的离子平衡的自动控制。此外，在放出所产生的所述离子的所述放电电极的下游侧，与所述放电电极隔离 开地设置所述相向电极，所述相向电极具有与所述放电电极平行的面，该面上具有多个通风孔，所述相向电极是导电性的电极。根据上述结构，把相向电极做成由在与所述放电电极平行的面上具有多个通风孔 那样的蜂窝状结构或网状结构等所形成的导电性的电极，并且将该通风孔的开口选择为适 当的大小，由此高效地实现保持在放电电极产生稳定的放电的基准电位的电极的功能以及 不会受到放电氛围的干扰的影响，自身均等地调整通过相向电极的离子的功能。此外，所述高电压产生电路可以包含直流电源电路；把从所述直流电源电路输出的直流电压转换为高频电压，并且按每一定期间交互地进行切换来将高频电压输出给双 系统的输出线的输出控制电路；把从所述输出控制电路输出的双系统的高频电压分别升压 至高频高电压，然后进行输出的绝缘型的变压电路；把所述变压电路输出的一方的高频高 电压转换为极性相互不同的两个第一直流高电压，来施加给所述各组的放电针，然后，把所 述变压电路输出的另一方的高频高电压转换为与所述第一直流高电压极性相反的两个第 二直流高电压，来将其施加给所述各组的放电针的极性反转电路。此外，所述输出控制电路的双系统的高频电压的切换频率可以为10至IOOHz的范围。此外，所述多个通风孔可以分别具有三角形、四角形、六角型、菱形、圆形、椭圆中 的一个形状。此外，所述输出控制电路转换后的高频电压可以具有超过可听频率的频率。所述输出控制电路转换后的高频电压具有20本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种除电装置，其特征在于，具备：放电电极，其具有对应对自身施加的直流高电压的极性生成正或负的离子的２ｎ个放电针，该２ｎ个放电针按ｎ个为一组分为两组，其中ｎ为自然数；高电压产生电路，其在每个一定期间使相互逆极性的直流高电压的极性反转，施加给所述各组的放电针；以及相向电极，其遮挡放出由所述放电电极产生的所述离子的所述放电电极的前方空间，所述高电压产生电路的两个高压侧输出端子分别与所述各组的放电针连接，所述两个高压侧输出端子的高压侧公共端子在非接地的状态下与所述相向电极连接。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：津森友则，杉田直记，
申请(专利权)人：绿安全股份有限公司，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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