液滴喷出装置、电光学装置及其制造方法、电子设备制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够将液滴喷出量的测定结果迅速地反映到功能液滴喷出头的驱动电力上的液滴喷出装置，其具备：针对工件在使喷墨方式的功能液滴喷出头（１７）相对移动的同时从功能液滴喷出头（１７）喷出功能液滴而进行描绘的描绘机构；与描绘机构邻接配设、且根据从功能液滴喷出头（１７）喷出的功能液的重量来测定液滴喷出量的重量测定机构（５１）；和基于从重量测定机构（５１）输入的测定结果而对功能液滴喷出头（１７）的驱动电力进行控制的控制机构（５）。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对于工件通过从喷墨方式的功能液滴喷出头喷出功能液来进行描绘 的液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。
技术介绍
以往，公知有以下液滴喷出装置其具备在使功能液滴喷出头相对移动的同时通 过从功能液滴喷出头喷出功能液来进行描绘的描绘机构(喷出机构)、和与描绘机构邻接 配设的根据从功能液滴喷出头喷出的功能液的重量来测定液滴喷出量的重量测定装置，基 于重量测定装置的测定结果，调整功能液滴喷出头的驱动电力，从而进行描绘(例如，特开 2004-177262 号公报)。但是，在以往的液滴喷出装置中，用户基于测定结果来调整驱动电力。为此，为了 使测定结果反映到驱动电力中，用户用于调整的时间是必需的，从而不能实现迅速的应对。 另外，对用户而言，调整作业较为麻烦。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供一种能够将液滴喷出量的测定结果迅速地反映在功能液 滴喷出头的驱动电力中的液滴喷出装置、电光学装置的制造方法、电光学装置及电子设备。本专利技术的液滴喷出装置，其特征在于，具备描绘机构，对于工件，在使喷墨方式的 功能液滴喷出头相对移动的同时，通过从上述功能液滴喷出头喷出功能液来进行描绘；重 量测定机构，与描绘机构邻接配设，且根据从功能液滴喷出头喷出的功能液的重量来测定 液滴喷出量；和控制机构，基于从重量测定机构输入的测定结果，控制功能液滴喷出头的驱 动电力。根据该结构，并非基于用户而基于从重量测定机构输入的测定结果，控制功能液 滴喷出头的驱动电力。为此，与用户基于测定结果调整驱动电力的结构相比，能够将液滴喷 出量的测定结果迅速地反映到功能液滴喷出头的驱动电力中。此时，优选地，描绘机构具有搭载工件且使该工件沿X轴方向移动的X轴基台； 和搭载功能液滴喷出头且使功能液滴喷出头沿Y轴方向移动的Y轴基台，还具备清净机构， 其在Y轴方向的功能液滴喷出头的移动轨迹上配设且对功能液滴喷出头进行吸引及擦拭， 重量测定机构在功能液滴喷出头的移动轨迹上，被配设在X轴基台和清净机构之间。根据该结构，能够将功能液滴喷出头(的喷嘴)由清净机构进行擦拭之后靠近重 量测定机构。为此，能够有效防止由功能液滴喷出头的喷出不良所引起的重量测定不能进 行或重量测定不良。另外，能够缩短由吸引/擦拭、重量测定及描绘构成的一系列工序的生 产节拍时间(tact time)。此时，优选地，将功能液滴喷出头设置多个，重量测定机构具有接受从任意一个 功能液滴喷出头喷出的功能液的容器；对容器内的功能液的重量进行测定的电子天平；和 在容器的周围配设的用于在从一个功能液滴喷出头对容器进行测定喷出之际接受来自其 他功能液滴喷出头的舍弃喷出的换新盒。根据该结构，由于设置多个功能液滴喷出头，所以虽然在1个功能液滴喷出头进 行测定喷出之际而其他的功能液滴喷出头变为等待该测定喷出的结束，但是能够使该“等 待”状态的功能液滴喷出头进行舍弃喷出。为此，在“等待”状态之间没有喷嘴干燥，并且在 “等待”状态之后能够较好地进行测定喷出，由此可获得适当的测定结果。此时，优选地，多个功能液滴喷出头沿X轴方向排列而构成喷头组，还具备使重量 测定机构沿X轴方向移动的副基台。根据该结构，在具备有多个功能液滴喷出头的情况下，能够使各功能液滴喷出头 顺次靠近重量测定机构的动作易于进行。此时，优选地，还具备在副基台的移动轨迹上配设的、在由电子天平进行重量测定 时用于覆盖容器的上部空间的防风罩。根据该结构，在重量测定时通过由副基台使重量测定机构移动到防风罩之下，使 电子天平不受到气流的影响而能够进行正确的重量测定。本专利技术的电光学装置的制造方法，其特征在于，使用上述的液滴喷出装置，在工件 上形成由功能液构成的成膜部。另外，本专利技术的电光学装置，其特征在于，使用上述的液滴喷出装置，在工件上形 成由功能液构成的成膜部。根据这些结构，通过使用能够将液滴喷出量的测定结果迅速反映到功能液滴喷 出头的驱动电力中的液滴喷出装置，能够高效良好地制造高质量的电光学装置。此外，作 为电光学装置(平板显示器FPD)，可考虑滤色器、液晶显示装置、有机EL装置、PDP装置、 电子发射装置等。此外，电子发射装置是包括所谓的FED(Field Emission Display)或 SED (Surface-conduction Electron-Emitter Display)装置的概念。并且，作为电光学装 置，考虑包含金属布线形成、透镜形成、抗蚀涂层形成及光扩散体形成等的装置。本专利技术的电子设备，其特征在于，搭载有通过上述电光学装置的制造方法制造的 电光学装置或上述的电光学装置。此时，作为电子设备，除搭载有所谓的平板显示器的移动电话机、个人计算机外，各种电气制品也与其相当。附图说明图1是实施方式相关的液滴喷出装置的平面图。图2是液滴喷出装置的侧视图。图3是构成喷头组的功能液滴喷出头的图。图4是重量测定单元的平面图。图5是重量测定单元的正视图。图6是液滴喷出装置的正视示意图。图7是说明液滴喷出装置中的重量测定的一系列动作的图。图8是用于说明基于重量测定装置的测定结果来控制功能液滴喷出头的驱动电力的控制方框图。图9是说明滤色器制造工序的流程图。图10(a) (e)是按制造工序顺序所示的滤色器的示意剖面图。图11是表示使用适用了本专利技术的滤色器的液晶装置的概略结构的主要部分剖面图。图12是表示使用适用了本专利技术的滤色器的第2例液晶装置的概略结构的主要部分剖面图。图13是表示使用适用了本专利技术的滤色器的第3例液晶装置的概略结构的主要部分剖面图。图14是作为有机EL装置的显示装置的主要部分剖面图。图15是说明作为有机EL装置的显示装置的制造工序的流程图。图16是说明无机物提岸层的形成的工序图。图17是说明有机物提岸层的形成的工序图。图18是对空穴注入/输送层形成的过程进行说明的工序图。图19是对空穴注入/输送层形成后的状态进行说明的工序图。图20是对蓝色发光层形成的过程进行说明的工序图。图21是对蓝色发光层形成后的状态进行说明的工序图。图22是对各色发光层形成后的状态进行说明的工序图。图23是对阴极的形成进行说明的工序图。图24是作为等离子体显示装置(PDP装置)的显示装置的主要部分分解立体图。图25是作为电子发射装置(FED装置)的显示装置的主要部分剖面图。图26是显示装置的电子发射部周围的平面图(a)及表示其形成方法的平面图 (b)。图中1-液滴喷出装置，2-描绘装置，3-清净装置，4-重量测定单元，5-控制装 置，Il-X轴基台，12-Y轴基台，16-喷头组，17-功能液滴喷出头，51-重量测定装置，52-副 基台，53-防风罩，61-容器，62-电子天平，63-换新盒Um > ^ ” 7 )，W_基板。具体实施例方式下面，参照附图，对本专利技术的实施方式进行说明。本实施方式的液滴喷出装置在平 板显示器的制造生产线中组装，使用例如导入了特殊油墨或发光性树脂液即功能液的功能 液滴喷出头，形成(由喷墨法进行的印刷)液晶显示装置的滤色器或构成有机EL装置的各 像素的发光元件等。如图1及图2所示，液滴喷出装置1具备搭载有多个功能液滴喷出头17的描绘 装置2 ；沿Y轴方向延伸的清净装置3 ；在描绘装置2和清净装置3之间设置的重量测定单 元4本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种液滴喷出装置，其特征在于，具备：描绘机构，其具有使搭载基板的设置基台沿Ｘ轴方向移动的Ｘ轴基台；支架，其搭载了向上述基板喷出功能液的液滴喷出头；重量测定单元，其测定从上述液滴喷出头喷出的功能液的重量；清净机构；和Ｙ轴基台，其使上述支架沿Ｙ轴方向移动，使描绘机构、重量测定单元以及清净机构间移动，上述重量测定单元在上述Ｙ轴方向上配置在上述Ｘ轴基台和上述清净机构之间。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：小岛健嗣，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]