【技术实现步骤摘要】
一种透明金属网格的图镀制备方法
[0001]本专利技术涉及透明电极材料
,尤其涉及一种透明金属网格的图镀制备方法
。
技术介绍
[0002]在触控屏技术中,透明导电电极材料的发展至关重要
。
当下发展最为成熟的透明导电电极材料主要有
ITO、
纳米银线
、
金属网格
、
纳米压印薄膜等
。
金属网格因具有一体成型
、
导电性能优异
、
稳定性好等优势而备受关注
。
然而,金属网格的发展极大受限于铜膜材料的发展
。
[0003]传统的金属网格制备通常采用黄光减法工艺,因此金属网格线路的厚度决定了铜膜膜材的厚度
。
在触摸屏领域,为确保透明金属网格电极较好的导电性能和稳定性,线路厚度一般保持在1‑2μ
m
左右,故铜膜膜材的厚度需求也在1‑2μ
m
范围内
。
对铜膜膜材的制程工艺进行分析可知,1‑2μ
m
的铜膜膜材通常采用蒸镀或溅镀的方式来实现,而优质的铜膜膜材通常依赖进口
。
[0004]鉴于现有黄光减法工艺严重依赖铜膜材料的劣势,在国产超薄铜模材料上难以采用黄光减法来制作透明导电材料,故透明金属网格的生产就存在铜膜膜材价格高
、
对外依存度高等问题
。
[0005]因此,有必要研发一种透明金属网格的图镀制备方法,从而解决铜膜膜材价格 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种透明金属网格的图镀制备方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤
S1
:提供一透明基材
(1)
,在所述透明基材上形成超薄铜膜
(2)
;步骤
S2
:在所述超薄铜膜上涂覆光阻剂
(3)
;步骤
S3
:制作菲林;步骤
S4
:用所述菲林对所述光阻剂进行曝光显影;步骤
S5
:对所述超薄铜膜进行刻蚀,刻蚀后去除所述光阻剂,制得金属网格
(4)
;步骤
S6
:利用电镀法,将所述金属网格及其边线进行图镀增厚处理;步骤
S7
:检查所述金属网格的厚度均一性及功能
。2.
根据权利要求1所述的透明金属网格的图镀制备方法,其特征在于,所述步骤
S2
中,采用包括但不限于旋涂
、
刮涂
、
压干膜的至少一种手段,将一层光阻剂均匀地涂覆在超薄铜膜上
。3.
根据权利要求2所述的透明金属网格的图镀制备方法,其特征在于,所述光阻剂的厚度为1~
20
μ
m。4.
根据权利要求1所述的透明金属网格的图镀制备方法,其特征在于,所述步骤
S3
中,在菲林制作步骤中,在菲林一侧的边缘位置上设置无效区域;所述步骤
S5
中,所述无效区域使得刻蚀后的金属网格的边缘处产生无效边
(5)
;所述步骤
S6
中,所述无效边用作电镀法的电极夹取点;所述无效边在...
【专利技术属性】
技术研发人员:苏伟,罗智勇,
申请(专利权)人:淄博松柏电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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