【技术实现步骤摘要】
一种三轴加速度计和电子设备
[0001]本专利技术涉及传感器
,具体地涉及一种三轴加速度计和电子设备
。
技术介绍
[0002]三轴加速度计是
MEMS
惯性测量单元的核心组成部分,可以用来测量三个方向的线性加速度,通过积分的方法得到载体的速率
、
位置等信息,因此,在飞机导航
、
工业监测
、
碰撞监测
、
车身安全等领域得到广泛应用
。
[0003]现有的三轴加速度计主要存在两种结构,第一种结构是将三个独立的单轴加速度计安装在互相垂直的三个方向上,实现三轴测量功能;第二种结构是单片集成的三轴加速度计,如电容式三轴加速度计和压阻式三轴加速度计
。
[0004]第一种结构无法保证三轴之间的安装精度,同时存在体积大
、
成本高的缺点;第二种结构中电容式三轴加速度计,
Z
轴加速度检测灵敏度低,并且易受寄生电容的影响和电磁干扰;第二种结构中压阻式三轴加速度计,
X< ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.
一种三轴加速度计,其特征在于,所述三轴加速度计包括:支撑结构
、
弹性连接件和惯性质量块;所述惯性质量块通过所述弹性连接件与所述支撑结构相连;所述支撑结构设置有
X
轴固定电极和
Y
轴固定电极,所述惯性质量块上设置有
X
轴可动电极和
Y
轴可动电极;所述
X
轴固定电极与
X
轴可动电极形成
X
轴电容,所述
X
轴电容用于检测
X
轴加速度分量;所述
Y
轴固定电极与
Y
轴可动电极形成
Y
轴电容;所述
Y
轴电容用于检测
Y
轴加速度分量;所述弹性连接件上设置有压敏电阻,用于检测
Z
轴加速度分量
。2.
根据权利要求1所述的三轴加速度计,其特征在于,所述
X
轴固定电极为
X
轴固定梳齿,所述
X
轴固定梳齿包括:第一
X
轴固定梳齿和第二
X
轴固定梳齿;所述
X
轴可动电极为
X
轴可动梳齿,所述
X
轴可动梳齿包括:第一
X
轴可动梳齿和第二
X
轴可动梳齿;所述
X
轴电容包括第一
X
轴电容和第二
X
轴电容,所述第一
X
轴电容由所述第一
X
轴固定梳齿和第一
X
轴可动梳齿组成,所述第二
X
轴电容由所述第二
X
轴固定梳齿和第二
X
轴可动梳齿组成;所述第一
X
轴电容和第二
X
轴电容构成一组差分电容
。3.
根据权利要求1所述的三轴加速度计,其特征在于,所述
Y
轴固定电极为
Y
轴固定梳齿,所述
Y
轴固定梳齿包括:第一
Y
轴固定梳齿和第二
Y
轴固定梳齿;所述
Y
轴可动电极为
Y
轴可动梳齿,所述
Y
轴可动梳齿包括:第一...
【专利技术属性】
技术研发人员:方东明,王蔓蓉,姜帅,李佩笑,王浩,孙恒超,季润可,陶毅,闻志国,李良,杜君,王祥,
申请(专利权)人:北京智芯微电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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