三轴加速度计及传感设备制造技术

本发明专利技术涉及一种三轴加速度计，包括基底层和敏感结构层，所述敏感结构层包括质量框、X轴检测结构、Y轴检测结构和Z轴检测结构，所述X轴检测结构、Y轴检测结构和Z轴检测结构同层平铺布置在所述质量框内。另外还涉及包括该三轴加速度计的传感设备。本发明专利技术将X轴检测结构、Y轴检测结构和Z轴检测结构平铺布置在同一层内，能够节省空间，有利于加速度计的小型化集成制造。造。造。

【技术实现步骤摘要】
三轴加速度计及传感设备


[0001]本专利技术属于传感器
，涉及一种三轴加速度计以及包括该三轴加速度计的传感设备。

技术介绍

[0002]电容式加速度传感器可通过将被测物体的加速度信号转化为电容的变化量来实现加速度信号测量的传感器。一般来讲，电容式加速度计可分为梳齿式和平板电容式，其原理都是通过在受到加速度时可动电极和固定电极之间的间隙改变，进一步导致电容信号发生改变；通过后端读取电路进行C
‑
V转换，实现加速度信号的测量。
[0003]梳齿结构的电容式加速度计具有高稳定性，三轴电容式加速度计一般采用并列排布集成的方式，即测量每个轴的敏感结构单独排布，通过梳齿电容结构测量X、Y轴敏感信号，通过平板电容结构测量Z轴敏感信号。
[0004]MEMS电容式加速度计采用并列排布结构，在制造过程中工艺比较复杂，且每一个敏感结构都需要配有一个读取电路，成本较高，并且在封装电路时也面临排布等问题。
[0005]另外，MEMS电容式加速度计梳齿结构多采用矩形梳齿，其梳齿前端与后端尺寸相同，在加工过程中可能会导致刻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种三轴加速度计，包括基底层和敏感结构层，其特征在于：所述敏感结构层包括质量框、X轴检测结构、Y轴检测结构和Z轴检测结构，所述X轴检测结构、Y轴检测结构和Z轴检测结构同层平铺布置在所述质量框内。2.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于：所述X轴检测结构和所述Y轴检测结构均相邻于所述Z轴检测结构分布。3.如权利要求1或2所述的三轴加速度计，其特征在于：所述X轴检测结构和所述Y轴检测结构均包括呈梳齿配合的可动电极和固定电极，其中，X轴固定电极和Y轴固定电极均设置在所述质量框的内框上，X轴可动电极、Y轴可动电极以及所述Z轴检测结构均设置在所述质量框的框内区域中。4.如权利要求1所述的三轴加速度计，其特征在于：所述Z轴检测结构包括质量块，所述质量块可动地连接在所述基底层的锚点上并且与所述基底层构成为平行极板电容。5....

【专利技术属性】
技术研发人员：黄晟，贾蔓谷，蔡光艳，蔡喜元，魏晓莉，丁铮，
申请(专利权)人：武汉衡惯科技发展有限公司，
类型：发明
国别省市：