温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种三轴加速度计，包括基底层和敏感结构层，所述敏感结构层包括质量框、X轴检测结构、Y轴检测结构和Z轴检测结构，所述X轴检测结构、Y轴检测结构和Z轴检测结构同层平铺布置在所述质量框内。另外还涉及包括该三轴加速度计的传感设备。本发明将...
该专利属于武汉衡惯科技发展有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉衡惯科技发展有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。