半导体制造技术

本实用新型专利技术涉及石英坩埚技术领域，具体的公开了半导体

【技术实现步骤摘要】
半导体、光伏用大直径石英坩埚加工用设备


[0001]本技术涉及石英坩埚
，尤其涉及半导体
、
光伏用大直径石英坩埚加工用设备
。

技术介绍

[0002]石英坩埚是一种以石英砂为主材具有高纯度
、
耐热性强
、
保温性好
、
质量稳定等优点的器皿，常用于半导体
、
光伏行业，大直径石英坩埚与小直径石英坩埚的明显区别在于坩埚的外径大，壁厚厚
。
[0003]在石英坩埚的生产中，常用模具将原材料塑造成一定规格
、
尺寸大小的产品，由于石英坩埚的尺寸增加，所需要熔融的原材料也随之增多，导致电极产生的温度在大尺寸模具内需要更长的时间将模具内的原料融化，融化过程中模具上口的温度流失增加，原料融化不充分，使得大直径石英坩埚的外表面产生不平整的情况，这就需要对石英坩埚的外表面进行打磨，现有的打磨装置是将大直径石英坩埚采用夹持机构进行夹持后，使用打磨盘分区域打磨，这种方式无法同时兼顾整个石英坩埚，并且打磨时灰尘飞散r/>。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
半导体
、
光伏用大直径石英坩埚加工用设备，包括工装架
(1)
和打磨仓
(12),
其特征在于：所述工装架
(1)
为顶部开设有通孔的长方形结构，工装架
(1)
底部中心固定设置有一个电机仓
(2)
，电机仓
(2)
上方设置有打磨仓
(12)
，打磨仓
(12)
两侧设置有起升机构
(121)
，电机仓
(2)
内部设置有第一电机
(3)
，第一电机
(3)
输出轴穿出电机仓
(2)
且输出轴上固定连接有固定机构
(41)
，第一电机
(3)
一侧设置有除尘机构
(101)。2.
根据权利要求1所述的半导体
、
光伏用大直径石英坩埚加工用设备，其特征在于，所述除尘机构
(101)
包括吸风机
(10)
和吸风口
(11)
，电机仓
(2)
内设置有吸风机
(10)
，电机仓
(2)
顶部开设有吸风口
(11)
，吸风机
(10)
管道连接吸风口
(11)。3.
根据权利要求1所述的半导体
、
光伏用大直径石英坩埚加工用设备，其特征在于，所述打磨仓
(12)
为长方形结构，打磨仓
(12)
与通孔相适配，打磨仓
(12)
内壁上均匀覆盖有磨光片
(13)。4.
根据权利要求1所述的半导体
、
光伏用大直径石英坩埚加工用设备，其特征在于，所述电机仓
(2)
顶端四周开设有密封槽
(9)
，密封槽
(9)
与打磨仓...

【专利技术属性】
技术研发人员：高子富，高子豪，高峰，
申请(专利权)人：安徽高昌硅碳科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：