一种一体化石英导流筒制造技术

技术编号:35811083 阅读:16 留言:0更新日期:2022-12-03 13:32
本实用新型专利技术公开了一种一体化石英导流筒,属于导流筒技术领域,一种一体化石英导流筒,包括导流筒本体和存放箱,导流筒本体包括有石英内导和石英盖板,石英内导和石英盖板是一体成型结构,石英内导分别设置有上导段、中导段和下导段;本方案一体化技术完美的将石英盖板与石英内导实现了一次成型,解决了由于分体产品空隙而造成的二次污染问题,通过降低了污染源进而大大的净化了拉晶环境,避免污染影响硅棒和硅片的生产品质,极大提高了单晶硅棒的品质。一体化生产石英导流筒的生产时间更短,极大的节省了工厂以及用户的时间成本;同时一体化生产石英导流筒更易实现批量采购,同时通过装卸一体的石英导流筒产品,还可极大提高了工作效率。作效率。作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种一体化石英导流筒


[0001]本技术涉及导流筒
,更具体地说,涉及一种一体化石英导流筒。

技术介绍

[0002]硅是最常见应用最广的半导体材料,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列成晶核,其晶核长成晶面取向相同的晶粒,形成单晶硅。单晶硅作为一种比较活泼的非金属元素晶体,是晶体材料的重要组成部分。石英导流筒是光伏产业设计的单晶硅提炼需要用到的主要配套产品,导流筒作为单晶炉中重要的组成部分,对晶体的生长有很大的影响,其在单晶炉中的主要作用是控制氩气的流向来降低晶棒的温度,形成有利于单晶生长的温度梯度,同时主要用于拉制单晶硅棒时起到净化隔热的作用。
[0003]现有的导流筒产品是呈分体的态势,主要将石英盖板与石英内导衔接在一起,在石英盖板与石英内导的衔接处,始终存在缝隙。即便在初期时产品的缝隙很小,但也会随着产品的使用,所处的环境而变大。在单晶硅棒的拉制过程中,外部环境或用于隔热的其他保温材料(如:碳毡),会随着温度挥发,微米级别的杂质会随着缝隙并伴随着拉制过程中氩气的流动,最终附着在硅液的表面甚至进入硅液中,造成污染影响最终硅棒和硅片的品质。并且现有分体的产品还需要分批采购,增加了客户的时间成本,以及需要分别装卸,对工作效率造成了浪费。
[0004]因此,有必要提供一种一体化石英导流筒解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种一体化石英导流筒以解决上述技术问题。
[0006]为实现上述目的,本技术采用如下的技术方案:
[0007]一种一体化石英导流筒,包括导流筒本体,所述导流筒本体包括有石英内导和石英盖板,所述石英内导和石英盖板是一体成型结构,所述石英内导分别设置有上导段、中导段和下导段,所述中导段和位于上导段和下导段之间,所述上导段、中导段和下导段内部均相互贯通,所述石英盖板的内圈和上导段上端面平滑对接,所述石英盖板的外圈朝着远离石英内导的方向延伸,所述石英盖板的外径大于上导段的外径。
[0008]进一步的,还包括有用于安置导流筒本体的存放箱,所述存放箱内部设有存放腔和传动腔,所述存放腔底部固定连接有多个放置筒和多个中间柱,所述导流筒本体可放置于放置筒内,所述中间柱位于放置筒的中部,每个所述中间柱外壁均安装有三个保护气囊,所述传动腔上壁安装有储存气囊,所述传动腔内设有用于挤压储存气囊的驱动机构。
[0009]进一步的,所述驱动机构包括有转动连接于传动腔左右壁的转轴,所述转轴外壁固定连接有两个第一锥齿轮,所述传动腔的上壁转动连接有转杆,所述转杆下端固定安装有与第一锥齿轮相啮合的第二锥齿轮,所述转杆外壁设有螺纹并螺纹连接有挤压板,所述挤压板位于储存气囊下方。
[0010]进一步的,所述中间柱内部开设有导气腔,所述中间柱外壁开设有多个第三气孔,
所述第三气孔的两端分别连通导气腔和保护气囊,所述中间柱底部开设有第二气孔,所述传动腔上壁开设有连通第三气孔和储存气囊的第一气孔。
[0011]进一步的,所述放置筒上壁安装有下缓冲垫,所述存放箱上壁铰接有存放箱盖板,所述存放箱盖板上螺接有多个螺杆,每个所述螺杆的下端均转动连接有下压板,所述下压板远离螺杆的一端安装有上缓冲垫。
[0012]相比于现有技术,本技术的优点在于:
[0013]本方案一体化技术完美的将石英盖板与石英内导实现了一次成型,解决了由于分体产品空隙而造成的二次污染问题。通过降低了污染源进而大大的净化了拉晶环境,避免污染影响硅棒和硅片的生产品质,极大提高了单晶硅棒的品质。一体化生产石英导流筒的相比现有的分体式相比生产时间更短,极大的节省了工厂以及用户的时间成本;同时一体化生产石英导流筒的采购与现有分体采购相比,大量节省了采集材料的时间成本,更易实现批量采购,进一步达到降低成本的目的;同时通过装卸一体的石英导流筒产品,还可极大提高了工作效率;提高产品的品质。
附图说明
[0014]图1为本技术的导流筒本体结构示意图;
[0015]图2为本技术的导流筒本体的底部视角结构示意图;
[0016]图3为本技术的导流筒本体剖视结构示意图;
[0017]图4为本技术的存放箱局部剖视结构示意图;
[0018]图5为本技术的存放箱内部正视结构结构示意图;
[0019]图6为本技术的中间柱剖视结构示意图;
[0020]图7为本技术的下压板结构示意图。
[0021]图中标号说明:
[0022]1、导流筒本体;2、存放箱;3、石英内导;4、石英盖板;5、上导段;6、中导段;7、下导段;8、存放腔;9、传动腔;10、放置筒;11、中间柱;12、保护气囊;13、储存气囊;14、转轴;15、第一锥齿轮;16、转杆;17、第二锥齿轮;18、挤压板;19、导气腔;20、第三气孔;21、第二气孔;22、第一气孔;23、下缓冲垫;24、存放箱盖板;25、螺杆;26、下压板;27、上缓冲垫。
具体实施方式
[0023]实施例一:
[0024]请参阅图1

4,一种一体化石英导流筒,包括导流筒本体1,导流筒本体1包括有石英内导3和石英盖板4,石英内导3和石英盖板4是一体成型结构,石英内导3分别设置有上导段5、中导段6和下导段7,中导段6和位于上导段5和下导段7之间,上导段5、中导段6和下导段7内部均相互贯通,石英盖板4的内圈和上导段5上端面平滑对接,石英盖板4的外圈朝着远离石英内导3的方向延伸,石英盖板4的外径大于上导段5的外径。本方案一体化技术完美的将石英盖板与石英内导实现了一次成型,解决了由于分体产品空隙而造成的二次污染问题,通过降低了污染源进而大大的净化了拉晶环境,避免污染影响硅棒和硅片的生产品质,提高了单晶硅棒的品质。同时本导流筒本体1可更好的控制氩气的流向来降低晶棒的温度,从而形成有利于单晶生长的温度梯度,在拉制单晶硅棒时更好的起到净化隔热的作用;一
体化生产石英导流筒的相比现有的分体式相比生产时间更短,极大的节省了工厂以及用户的时间成本;同时一体化生产石英导流筒的采购与现有分体采购相比,大量节省了采集材料的时间成本,更易实现批量采购,进一步达到降低成本的目的;同时通过装卸一体的石英导流筒产品,还可极大提高了工作效率;提高产品的品质。
[0025]实施例二:
[0026]请参阅图4

6,在实施例一的基础上,还包括有用于安置导流筒本体1的存放箱2,存放箱2内部设有存放腔8和传动腔9,存放腔8底部固定连接有多个放置筒10和多个中间柱11,导流筒本体1可放置于放置筒10内,中间柱11位于放置筒10的中部,每个中间柱11外壁均安装有三个保护气囊12,传动腔9上壁安装有储存气囊13,传动腔9内设有用于挤压储存气囊13的驱动机构,中间柱11内部开设有导气腔19,中间柱11外壁开设有多个第三气孔20,第三气孔20的两端分别连通导气腔19和保护气囊12,中间柱11底部开设有第二气孔21,传动腔本文档来自技高网
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种一体化石英导流筒,包括导流筒本体,其特征在于:所述导流筒本体包括有石英内导和石英盖板,所述石英内导和石英盖板是一体成型结构,所述石英内导分别设置有上导段、中导段和下导段,所述中导段和位于上导段和下导段之间,所述上导段、中导段和下导段内部均相互贯通,所述石英盖板的内圈和上导段上端面平滑对接,所述石英盖板的外圈朝着远离石英内导的方向延伸,所述石英盖板的外径大于上导段的外径。2.根据权利要求1所述的一种一体化石英导流筒,其特征在于:还包括有用于安置导流筒本体的存放箱,所述存放箱内部设有存放腔和传动腔,所述存放腔底部固定连接有多个放置筒和多个中间柱,所述导流筒本体可放置于放置筒内,所述中间柱位于放置筒的中部,每个所述中间柱外壁均安装有三个保护气囊,所述传动腔上壁安装有储存气囊,所述传动腔内设有用于挤压储存气囊的驱动机构。3.根据权利要求2所述的一种一...

【专利技术属性】
技术研发人员:高峰高子富高子豪
申请(专利权)人:安徽高昌硅碳科技发展有限公司
类型:新型
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1